[发明专利]半导体封装件及其制造方法无效

专利信息
申请号: 201110284114.X 申请日: 2011-09-22
公开(公告)号: CN102324407A 公开(公告)日: 2012-01-18
发明(设计)人: 陈光雄;王圣民;冯相铭;李育颖;郑秉昀;孙余青 申请(专利权)人: 日月光半导体制造股份有限公司
主分类号: H01L23/36 分类号: H01L23/36;H01L23/48;H01L21/58;H01L21/60
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 陆勍
地址: 中国台湾高雄市*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 半导体 封装 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种半导体封装件,包括:

一基板,具有一外侧面;

一芯片,设于该基板上;以及

一散热结构,设于该基板上,且包括一第一连续侧部,该第一连续侧部环绕一容置空间且具有一凹陷外侧面,该芯片位于该容置空间内,该第一连续侧部的该凹陷外侧面与该基板的该外侧面间隔一距离。

2.如权利要求1所述的半导体封装件,其中该凹陷外侧面面向该基板。

3.如权利要求2所述的半导体封装件,其中该第一连续侧部更具有一边缘外侧面,该边缘外侧面延伸至该凹陷外侧面,该边缘外侧面与该基板的该外侧面对齐。

4.如权利要求1所述的半导体封装件,其中该第一连续侧部的该凹陷外侧面曲面。

5.如权利要求1所述的半导体封装件,其中该第一连续侧部更具有相对该凹陷外侧面的一内侧面,该内侧面一曲面。

6.如权利要求1所述的半导体封装件,其中该容置空间一贯孔,该芯片从该贯孔露出,该散热结构具有相对的一第一面与一第二面,该散热结构以该第二面设于该基板上,且该芯片未突出超过该散热结构的该第一面。

7.如权利要求1所述的半导体封装件,其中该散热结构直接设于该基板上。

8.如权利要求1所述的半导体封装件,更包括:

一第一结合元件,设于该基板与该散热结构之间,以结合该第一结合元件与该基板。

9.如权利要求1所述的半导体封装件,其中该散热结构更包括:

一上盖部,连接于该第一连续侧部且覆盖该芯片。

10.如权利要求9所述的半导体封装件,更包括:

一第二结合元件,设于该上盖部与该芯片之间,以结合该上盖部与该芯片。

11.如权利要求9所述的半导体封装件,其中该散热结构包括:

一第二连续侧部,连接于该第一连续侧部,该第二连续侧部平行于该上盖部。

12.如权利要求11所述的半导体封装件,更包括:

一第三结合元件,设于该第二连续侧部与该基板之间,以结合该第二连续侧部与该基板。

13.如权利要求1所述的半导体封装件,其中该散热结构的材质铝。

14.一种半导体封装件的制造方法,包括:

提供一散热板;

形成一介电保护层覆盖该散热板上;

形成一图案化线路层于该介电保护层中,其中该介电保护层及该图案化线路层形成一基板,该图案化线路层经由该介电保护层延伸至该散热板;

移除该散热板的一部分,其中该散热板形成一散热结构,其中该散热结构包括一第一连续侧部,该第一连续侧部围绕一容置空间且具有一凹陷外侧面,该图案化线路层从该容置空间露出;

设置一芯片于该容置空间内,其中该芯片电性连接至该图案化线路层;以及

形成一切割狭缝经过该基板,其中该基板形成一外侧面,该第一连续侧部的该凹陷外侧面与该基板的该外侧面间隔一距离。

15.如权利要求14所述的制造方法,其中于移除该散热板的该部分的该步骤以化学蚀刻完成。

16.一种半导体封装件的制造方法,包括:

提供一散热板;

移除该散热板的一部分,使该散热板形成一散热结构,其中该散热结构包括一第一连续侧部,该第一连续侧部围绕一容置空间且具有一凹陷部,该凹陷部具有一凹陷外侧面;

设置该散热结构于一基板上,其中该凹陷部面向该基板且该基板从该容置空间露出;

形成一预切割狭缝,其中该预切割狭缝延伸至该凹陷部;

设置一芯片于该容置空间内,其中该芯片电性连接于该基板;以及

形成一切割狭缝经过该基板,其中该基板形成一外侧面,该凹陷部的该凹陷外侧面与该基板的该外侧面间隔一距离。

17.如权利要求16所述的制造方法,其中于移除该散热板的该部分的该步骤中包括:

以激光加工方式,形成该容置空间于该散热板;以及

以化学蚀刻方式,形成该凹陷部于该散热板。

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