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[实用新型]一种平面靶材-CN201920409388.9有效
发明人：沈登涛;曾一鑫 -专利权人：信元光电有限公司
申请日： 2019-03-28 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种平面靶材，包括背板、设于所述背板上的靶材组和设于所述靶材组上的压条，所述靶材组通过所述压条可拆卸固定于所述背板上；所述靶材组包括多个成多列多行布置的子靶材，所述子靶材的行数为二的倍数且使得靶材组对应于所述背板中线形成上下对称的布置本实用新型提供的平面靶材通过设置由成多列多行布置且能替换位置的子靶材组成的靶材组，且靶材组可拆卸固定于所述背板上，子靶材的行数为二的倍数且使得靶材组对应于所述背板中线形成上下对称的布置，从而因磁场强度原因造成不同位置上的子靶材消耗不同时，可以将子靶材位置进行替换，从而有效提高了利用率，降低了生产成本。
靶材背板压条本实用新型可拆卸固定多列多行平面靶材上下对称行数靶材位置靶材组成强度原因替换位置磁场生产成本替换消耗

[发明专利]靶材组件的制作方法-CN200910261152.6有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;陈勇军;刘庆 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2009-12-28 - 公布日： 2010-06-02 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种靶材组件的制作方法，包括：提供靶材，所述靶材为铬或铬合金；利用电镀工艺，在靶材的焊接面上形成镍金属镀层；对铬或铬合金靶材和铜或铜合金背板进行钎焊，将铬或铬合金靶材焊接至铜或铜合金背板形成靶材组件。本发明能够通过在靶材的焊接面形成金属镀层，增强靶材与背板焊接后的结合强度，制作出符合要求的靶材组件。
组件制作方法

[实用新型]一种靶材-CN201920393122.X有效
发明人：臧龙杰 -专利权人：昆山世高新材料科技有限公司
申请日： 2019-03-27 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供一种靶材，包括靶材；所述靶材下端面设置有铜网，所述铜网位于硅胶内，所述铜网与硅胶平面大小相同，所述铜网不与靶材连接的一侧设置有靶材背板，所述铜网与靶材以及靶材背板均为贴合连接，所述靶材、铜网以及靶材背板均通过硅胶粘合本实用新型一种靶材，结构简便，能使硅胶完全导电，并且导电效果好。
靶材铜网靶材背板硅胶本实用新型导电效果硅胶平面贴合连接下端面粘合导电

[实用新型]组合选型式供应装置-CN202221662348.3有效
发明人：赵军;顾勇华;杨贺 -专利权人：维克多精密工业技术（苏州）有限责任公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型组合选型式供应装置，包括靶材供应模块，靶材供应模块包括分别供应Cr靶材、TI靶材、AL靶材的三个靶材供应管道；靶材供应模块对应设置有选型模块，选型模块包括分别对应三个靶材供应管道的管道开闭对应体；靶材供应模块对应设置有用于驱动管道开闭对应体进行三个靶材供应管道其中之一关闭的管道开闭驱动模块。
组合选型供应装置

[实用新型]一种靶材冷却装置-CN201721851177.8有效
发明人：刘文卿;严佐毅;张龙;张丽 -专利权人：安徽金美新材料科技有限公司
申请日： 2017-12-26 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型属于溅射靶材领域，具体来说涉及一种靶材冷却装置，包括靶材、靶材余料，所述靶材与所述靶材余料为一整体，所述靶材余料上设置有若干冷媒通道；本实用新型简易方便，能够在不增加成本的基础上直接对靶材进行冷却，大大降低靶材温度，提高传热效率，并且能够更加均匀的冷却靶材，提高沉积薄膜的性能。
靶材余料本实用新型靶材冷却冷却沉积薄膜传热效率溅射靶材冷媒通道对靶简易

[实用新型]一种板状靶材装夹机构-CN202020930323.1有效
发明人：王俊锋;王锋;袁明 -专利权人：广东鼎泰机器人科技有限公司
申请日： 2020-05-27 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及靶材装夹供料技术领域，尤其公开了一种板状靶材装夹机构，包括载架、设置于载架的加热单元及磁铁、用于冷却载架所承载的板状靶材的冷却单元，载架设有与板状靶材配合使用的锥形孔，锥形孔靠近板状靶材一端的孔径小于锥形孔远离板状靶材一端的孔径，加热单元用于加热蒸发载架所承载的板状靶材，磁铁作用于板状靶材蒸发后经由锥形孔移出的靶材离子；实际使用时，将板状靶材设置在载架上，加热单元将载具承载的板状靶材加热蒸发成靶材离子经由锥形孔移出供料，借助冷却单元冷却板状靶材，避免板状靶材温度过高而炸裂；板状靶材蒸发后的靶材离子在磁铁的磁场中受洛伦兹力完成自动筛选，提升靶材物料的供料良率。
一种板状靶材装夹机构

[发明专利]一种靶材、靶材制备方法及装置-CN201810489753.1在审
发明人：王云能 -专利权人：米亚索乐装备集成（福建）有限公司
申请日： 2018-05-21 - 公布日： 2018-08-21 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明是关于一种靶材、靶材制备方法及装置。该靶材包括：背衬管；形成于背衬管的外表面的靶材体；其中，靶材体包括：两个端段和中间段；其中，所述端段的第一靶材厚度大于所述中间段的第二靶材厚度。该技术方案增加了靶材体的端段的厚度，延长靶材在使用过程中的消耗时长，从而防止靶材体两端先耗光，提高靶材的利用率。
靶材端段制备方法及装置背衬管中间段时长消耗

[发明专利]一种靶材的加工方法-CN201110028684.2有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;陈玉蓉 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2011-01-26 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： B23P13/00 文献下载
摘要：一种靶材的加工方法，所述方法包括：提供靶材坯料；对所述靶材坯料按目标靶材的形状进行下料，所述目标靶材为多个分割靶材装配组成的靶材；对下料后的靶材坯料进行机械加工，得到半成品靶材；将所述半成品靶材利用线切割进行分割，得到分割靶材。
一种加工方法

[实用新型]一种长寿命溅射靶材组件-CN202020968641.7有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;边逸军;曹欢欢 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-06-01 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种长寿命溅射靶材组件，所述长寿命靶材组件包括阶梯状靶材与环形背板；所述阶梯状靶材包括靶材基板以及凸出于靶材基板溅射面的凸块，靶材基板的中心与凸块的中心同心；所述靶材基板的侧壁与环形背板的内壁连接本实用新型通过选用环状背板，并将靶材选择为阶梯状靶材，在增加靶材厚度的同时能够使靶材组件的整体厚度保持不变，而且能够保证背板的冷却效果。本实用新型提供的长寿命靶材组件的结构简单，便于加工生产，成本较低。
一种寿命溅射组件

[发明专利]自动换靶装置的使用方法-CN201710607841.2有效
发明人：张荣生 -专利权人：利辛县诚创科技中介服务有限公司
申请日： 2017-07-24 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种自动换靶装置，应用于电子束蒸发镀膜设备，包括以下步骤：(1)实时推进靶材：当蒸镀工艺在进行时，推进机构根据第二感应器的数据由控制单元控制实时自动的通过第二伺服电机带动推进平台将靶容器内的靶材根据蒸镀工艺的消耗量实时向上推进；(2)自动换靶材：由第三伺服电机带动靶材盘旋转，将靶材盘上另一个有靶材的第二靶材腔转动到靶容器的正下方与靶容器的圆柱形空腔精确地相重合，推进平台则上移至第二靶材腔的靶材的正下方托住靶材，然后卡门打开，推进平台则继续上移将靶材推进至靶容器内且与靶容器内的靶材紧密结合，推进机构则停止；(3)向靶材盘内推入替换靶材。
自动装置使用方法

[发明专利]靶材冷却装置及方法-CN200910188494.X有效
发明人：刘岩 -专利权人：无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司
申请日： 2009-12-03 - 公布日： 2011-06-08 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种靶材冷却装置，包括靶和靶座，所述靶包括相互连接的凸起部和靶材，所述靶座设有凹槽，所述靶与靶座套接，靶的凸起部收容在靶座的凹槽中，所述靶材与靶座贴合。通过调整靶材凸起部的高度与/或调整靶座凹槽的深度，使靶材和靶座无缝接触，进而达到靶材充分冷却，使得靶材的工作效率提高，进而提高了半导体器件的产量，从而提高了整体的经济效益。
冷却装置方法

[发明专利]一种具有多元靶材的溅镀靶-CN200710142083.8无效
发明人：彭光中 -专利权人：钰衡科技股份有限公司
申请日： 2007-08-22 - 公布日： 2009-02-25 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明关于一种具有多元靶材的溅镀靶(Sputtering Targets)，该溅镀靶应用于薄膜太阳能电池制程的真空溅镀机，其包括：一基座靶与复数种靶材，而该复数种靶材排列、黏结于该基座靶的表面；当真空镀膜制程中需混溅镀多元靶材时，藉由本发明溅镀靶的设计，不须多元靶材预先制成混合物靶材的前置作业，即可形成多元靶材混溅镀，更可让使用后剩余的靶材易于个别回收，提高靶材使用的经济性。
一种具有多元溅镀靶

[发明专利]磁控溅射设备-CN202110952656.3有效
发明人：匡友元 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2021-08-19 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本申请提供一种磁控溅射设备，其包括旋转靶、第一转动机构以及第二转动机构。旋转靶包括第一靶材和第二靶材。第一靶材与第二靶材在第一方向上排列设置，第一靶材位于旋转靶的端部。第一转动机构连接于第一靶材。第二转动机构连接于第二靶材。根据本申请的磁控溅射设备，将位于旋转靶端部的子靶材与位于旋转靶的中间的子靶材分别连接于不同的转动机构，在溅射过程中，可以调节第一靶材的线速度大于第二靶材的线速度，减小非侵蚀区。
磁控溅射设备

[实用新型]一种可提高靶材利用率的平面靶-CN201821119039.5有效
发明人：郭喜明;张浩;王英智;王开亮 -专利权人：沈阳乐贝真空技术有限公司
申请日： 2018-07-16 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种可提高靶材利用率的平面靶，解决现有掺金镀膜技术存在的靶材利用率低，加工成本高，原材料浪费严重的问题。包括磁控靶体，其特征在于：磁控靶体上设置的偏心卡槽内设置有永磁体；磁控靶体偏心卡槽的开口侧、永磁体的前方，设置有分体组装式的溅射靶材；溅射靶材由中部靶材构成，中部靶材的上端设置有上端靶材，中部靶材的下端设置有下端靶材，上端靶材和下端靶材通过靶材固定框与中部靶材连为一体；分体组装式溅射靶材的前侧设置有固定压框。其设计合理，结构紧凑，利用偏心式布置的永磁体和分体组装式结构的溅射靶材，有效提高了溅射靶材的利用率，显著降低掺金镀膜的成本。
靶材溅射靶材靶材利用率磁控靶永磁体上端下端分体组装式偏心卡槽平面靶掺金分体组装式结构镀膜技术固定压框固定框开口侧偏心式镀膜加工

[实用新型]一种靶材贴合装置-CN201921762148.3有效
发明人：何建进;陈江伟;何凌男 -专利权人：苏州精美科光电材料有限公司
申请日： 2019-10-21 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种靶材贴合装置，包括底座，底座上安装加热板，加热板上放置靶拖，靶拖上放置靶材，靶材和靶拖相接处的一面均涂有易熔金属涂层，靶材和靶拖的侧壁间卡接定位框，加热板的一侧的底座上安装固定架，固定架顶部通过螺纹结构套接压紧螺柱，压紧螺柱的底部贯穿固定架并卡接压紧板，压紧板紧密压在靶材上。通过定位框包裹靶拖和靶材外壁，从而将靶拖和靶材外壁对齐定位，将定位后的靶拖和靶材放置到压紧板底部的加热板上，通过压紧螺柱带动压紧板压紧靶材，从而使得靶材和靶拖固定，通过加热板加热靶拖，使得易熔金属涂层融化，定位框对靶材和靶拖相接处的缝隙极性封堵，避免融化的金属外溢，则金属液凝固后将靶材和靶拖牢固贴合。
一种贴合装置