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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种靶材溅射装置-CN202120154816.5有效
发明人：温质康;乔小平;苏智昱 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2021-01-20 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种靶材溅射装置，包括：阴极背板、磁铁、靶材结构和导线；所述导线螺旋绕设于所述磁铁上，所述磁铁于所述阴极背板内往复运动；所述靶材结构置于所述阴极背板一侧；所述靶材结构包括靶材背板和靶材，所述靶材固定于所述靶材背板上；且所述靶材远离所述靶材背板的一侧上设置有凸起结构。上述技术方案，通过所述导线螺旋绕设于所述磁铁上，解决磁控溅射机台中溅射所述靶材利用率低的问题，弥补磁控溅射过程中磁场分布不均匀的缺陷，同时提高所述靶材的利用率，减少机台开腔换靶频率，进而提高设备稼动率。
一种溅射装置

[发明专利]拼接靶材焊接方法-CN201710486838.X在审
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;仝连海;罗明浩 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2017-06-23 - 公布日： 2019-01-01 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种拼接靶材焊接方法，包括：提供背板和至少两块靶材籽块，以及多个耐热隔板；所述耐热隔板的厚度在靶材籽块之间的缝隙的期望宽度范围内；将所述靶材籽块和耐热隔板交错放置，靶材籽块的侧面贴合耐热隔板的板面，形成拼接式靶材；利用焊接工艺焊接所述拼接式靶材和背板，以形成背板式拼接靶材；去除耐热隔板。获得的大尺寸靶材的相邻靶材籽块的缝隙宽度为耐热隔板的厚度大小，即为期望宽度大小，借助耐热隔板能够有效的控制相邻靶材籽块的缝隙大小，容易操作。
靶材耐热隔板焊接拼接靶材拼接式背板焊接工艺大尺寸靶材板式拼接交错放置期望板面去除贴合侧面

[发明专利]靶材加工吹气装置以及机械加工设备-CN201510519544.3在审
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;沈国继 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2015-08-21 - 公布日： 2017-03-01 - 主分类号： B23Q11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种靶材加工吹气装置以及机械加工设备，所述靶材加工吹气装置包括吹气喷头，设置于所述机床上，用于对靶材表面进行吹气以去除靶材表面上因机械加工产生的切屑；供气装置，用于自动并持续向所述吹气喷头提供吹气气体在靶材机械加工过程中，通过所述靶材加工吹气装置，对靶材表面进行自动并持续性地吹气并利用吹气气体的压力达到断屑，从而可以及时去除靶材表面上因机械加工产生的切屑，避免在靶材表面有切屑残留或堆积，进而提高了靶材的良率和靶材的加工效率
加工吹气装置以及机械设备

[发明专利]靶材组件的焊接方法-CN200910261153.0无效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;鲍伟江;刘庆 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2009-12-28 - 公布日： 2010-06-23 - 主分类号： B23K1/08 文献下载
摘要：一种靶材组件的焊接方法，包括：提供铬靶材坯料、背板和钎料；对所述铬靶材坯料进行预热，将钎料均匀涂布在铬靶材坯料的结合面，使得钎料在铬靶材坯料的结合面充分浸润，去除铬靶材坯料的结合面上多余的钎料；对所述背板的结合面进行打磨处理，并进行预热，将钎料均匀涂布在背板的结合面，超声波处理添加钎料的背板；对铬靶材坯料和背板进行钎焊，将铬靶材坯料焊接至背板形成靶材组件；冷却靶材组件。本发明能够增强铬靶材坯料与背板在钎焊后的结合强度，符合产品品质要求。
组件焊接方法

[实用新型]靶材组件-CN201320616531.4有效
发明人：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;宋佳 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2013-09-30 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：种靶材组件，应用于磁控溅射，包括：靶材和背板，所述靶材和背板无间隙贴合；所述靶材由靶材坯料拼接而成，至少有两个靶材坯料的厚度不同，所述靶材包括与背板贴合的第一贴合面、与第一贴合面相对的第一表面，所述第一表面为平面；所述背板包括与所述靶材贴合的第二贴合面，与所述第二贴和面相对的第二表面，所述第二表面为平面，所述第一表面与第二表面平行。采用本实用新型的靶材组件，在制作靶材组件的过程中，可以节省靶材坯料的原料。
组件

[实用新型]一种新型靶材压条-CN201420565478.4有效
发明人：周冬;胡尚智;汪涛;张加友;刘占伟 -专利权人：山东淄博汉能光伏有限公司
申请日： 2014-09-28 - 公布日： 2015-02-04 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型靶材压条，安装于绝缘底座上用于压紧靶材，设所述新型靶材压条上安装后位于外侧且与所述绝缘底座相对的表面为外表面，设所述新型靶材压条上安装后靠近所述靶材的侧面为第一侧面，所述新型靶材压条的外表面与第一侧面之间直接连接且为直角本实用新型将传统靶材压条的斜面去掉，改为直角，形成本新型靶材压条，从而消除了靶材压条与靶材之间的台阶，可有效防止在磁控溅射靶材过程中产生导电碎屑导致短路，溅射系统在靶材的使用寿命周期内一直能稳定工作。
一种新型压条

[发明专利]硅靶材结构及其制造方法以及硅靶材组件的制造方法-CN201610561654.0在审
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;章晨 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2016-07-14 - 公布日： 2018-01-23 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种硅靶材结构及其制造方法以及硅靶材组件的制造方法，硅靶材结构的制造方法包括，提供硅靶材，所述硅靶材具有焊接面；采用化学镀工艺，在所述硅靶材焊接面上形成铜镀层。本发明利用化学镀工艺，稳定的在硅靶材焊接面上形成铜镀层，所述铜镀层与常用焊料或背板具有很好的浸润性，从而显著的改善硅靶材与其他材料的焊接性能，使得硅靶材可以与背板实现可靠的结合，以满足硅靶材组件长期稳定使用的需求
硅靶材结构及其制造方法以及组件

[发明专利]靶材制备方法、装置和靶材-CN201910584845.2在审
发明人：王云能;徐国军;张蛟;阮华清 -专利权人：领凡新能源科技（北京）有限公司
申请日： 2019-07-01 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种靶材制备方法、装置和靶材，涉及靶材制备领域，能够制备出中间薄两端厚的骨性靶材，从而解决靶材有效利用率低的问题。所述靶材制备方法，包括：采用热喷涂方式，在旋转的背衬管上喷涂靶材层，所述喷枪在所述背衬管的端部区域的喷涂量大于所述喷枪在所述背衬管的中间区域的喷涂量；对形成的靶材层的进行机械加工，使靶材各部分的靶材层厚度大体上与其在溅射时的消耗速度成正比
制备方法装置

[发明专利]一种石墨靶材的钎焊方法-CN202211538797.1在审
发明人：姚力军;潘杰;周友平;吴东青;杨赛赛 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-12-01 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： B23K3/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种石墨靶材的钎焊方法，所述钎焊方法包括如下步骤：(1)石墨靶材的焊接面镀金属膜，得到镀膜靶材；(2)浸润背板的焊接面以及步骤(1)所述镀膜靶材的焊接面，得到浸润背板与浸润靶材；(3)扣合步骤(2)所得浸润背板与浸润靶材，自然冷却，实现石墨靶材的钎焊。本发明通过在石墨靶材的焊接面设置金属膜，克服了钎焊焊料对石墨靶材的浸润不佳的问题；而且还能够降低钎焊的温度，有效避免了石墨靶材在钎焊过程中开裂的问题。
一种石墨钎焊方法

[发明专利]拼接靶材形成方法-CN200910212187.0有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;陈勇军;刘庆 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2009-11-11 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：一种拼接靶材形成方法，包括：提供焊接材料，所述焊接材料包括：两块或者两块以上的靶材坯料籽块和背板；将两块或者两块以上的靶材坯料籽块进行拼接，形成靶材坯料；在靶材坯料的焊接面采用高温胶带密封靶材坯料籽块拼接处的缝隙；在所述背板的焊接面添加钎料；对所述添加钎料的背板和具有高温胶带的靶材坯料的焊接面进行焊接，形成靶材。本发明提供的拼接靶材形成方法能够降低大尺寸靶材的制造成本。
拼接形成方法

[发明专利]一种废旧旋转靶材回收、修复和再加工的方法-CN201610220120.1有效
发明人：肖世文 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2016-04-11 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种废旧旋转靶材回收、修复和再加工的方法，用于解决废旧旋转靶材回收、修复和再喷涂的技术问题，包括以下步骤：废旧旋转靶材的包装回收；旋转靶材的缺陷检查；旋转靶材的缺陷加工；确定旋转靶材余量；根据确定的旋转靶材余量进行喷涂修复本发明的有益效果在于，回收废旧旋转靶材重新修复，省略了基管加工、喷砂、喷中间层等前期工序，节约了成本，实现了靶材循环使用；解决了缺陷靶材的修复难题，不必整管报废，提高了生产效率。
一种废旧旋转回收修复再加方法

[发明专利]回收靶材的方法-CN201510243417.5有效
发明人：吴景晖;姚力军;宋彦明;张卫嘉 -专利权人：宁波创润新材料有限公司
申请日： 2015-05-13 - 公布日： 2018-11-27 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种回收靶材的方法，包括：提供至少两块材料相同的待回收靶材；对所述待回收靶材进行第一机械加工，使所述待回收靶材表面光滑；将所述第一机械加工后的待回收靶材进行堆叠，形成待回收靶材堆叠层；将所述待回收靶材堆叠层进行第一锻造；对所述锻造后的待回收靶材堆叠层进行第一退火处理。采用本发明的方法能够降低真空溅镀后的靶材的回收成本且能够提高真空溅镀后的靶材的回收纯度。
回收方法

[实用新型]一种靶材箱-CN201921096690.X有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;呼雷 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2019-07-12 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： B65D25/10 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种靶材箱，所述的靶材箱包括箱体，所述的箱体内部设置至少一个翻转装置，所述的翻转装置用于固定靶材一端并带动靶材绕固定点呈扇形翻转。本实用新型在常规的靶材箱上加以改进，设置了翻转装置，在吊装靶材的同时实现了靶材的竖直翻转，省去了将靶材吊装到转移车上，再在转移车上将靶材竖直吊装的过程，节省了吊装时间和人力物力，也降低了吊装过程对靶材的损伤风险
一种靶材箱

[发明专利]长寿命LCD靶材组件及其形成方法-CN201810007949.2在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;赵子毅 -专利权人：合肥江丰电子材料有限公司
申请日： 2018-01-04 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： H01L21/285 文献下载
摘要：一种长寿命LCD靶材组件及其形成方法，其中LCD靶材组件包括：背板；固定于所述背板表面的靶材结构，所述靶材结构包括第一面，所述靶材结构的第一面平坦并与背板表面贴合，所述靶材结构包括第一溅射区和分别位于第一溅射区两侧的第二溅射区，所述第二溅射区靶材结构的厚度大于第一溅射区靶材结构的厚度。所述靶材组件的使用寿命较长。
靶材结构溅射区靶材组件背板表面长寿命使用寿命背板贴合平坦

[发明专利]靶材组件形成方法-CN201811060867.0在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;寿奉粮 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2018-09-12 - 公布日： 2020-03-20 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种靶材组件形成方法，包括：提供靶材，所述靶材具有靶材焊接面；提供背板，所述背板具有背板焊接面；将所述靶材焊接面镀镍，形成镍镀层；在所述镍镀层与所述背板焊接面之间放置钎料，对所述靶材以及所述背板进行焊接，形成靶材组件。由于所述钎料能够在所述镍镀层上充分的浸润和铺展，因而所述靶材与所述背板焊接的更为牢固，有利于提高形成的所述靶材组件的焊接质量。
组件形成方法

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