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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种光盘生产线溅镀机专用靶材-CN201821042258.8有效
发明人：孙伟华 -专利权人：南京迪纳科材料发展股份有限公司
申请日： 2018-07-03 - 公布日： 2019-03-19 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光盘生产线溅镀机专用靶材，其结构包括靶管、靶杆和靶管凹槽，所述靶管中部设有靶管凹槽，所述靶管两端厚度一致，所述靶管凹槽低于靶管两端高度，所述靶管内部设有靶杆，所述靶杆两端设有螺纹孔，所述靶杆与靶管接触连接，该光盘生产线溅镀机专用靶材在靶材溅射强烈的两端位置放置较厚的靶材，在溅射强度较弱的中间部分放置厚度较薄的靶材，避免溅射强烈区域的靶材过早消耗完毕，从而延长了整个靶材的使用寿命，提高了靶材利用率，增加了更换靶材的时间周期，减少了更换靶材次数，间接减少了劳动量，降低了材料成本和人力成本。
靶材靶管靶杆光盘生产线溅镀机溅射靶材利用率本实用新型材料成本厚度一致接触连接两端位置人力成本时间周期使用寿命螺纹孔消耗

[发明专利]靶材组件-CN201810476911.X有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;余贵阳 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2018-05-17 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种靶材组件，属于机械加工领域。所述靶材组件包括：靶材以及托盘，所述托盘用于承载所述靶材，所述托盘上设置有凹槽，所述凹槽用于放置垫圈，所述垫圈用于使得所述靶材与所述托盘之间形成密封，从而在靶材与托盘之间放置垫圈，使得托盘与靶材之间形成密封，因此，避免了靶材与托盘之间的摩擦而造成靶材划伤及磕伤的问题。
组件

[发明专利]YBCO靶材的制造方法及靶材模具-CN202211700069.6在审
发明人：冯中沛;杨景婷;柳伟;许波;郑鑫;金魁;袁洁;赵忠贤 -专利权人：松山湖材料实验室
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C04B35/45 文献下载
摘要：公开了一种YBCO靶材的制造方法及靶材模具，方法包括：采用固相反应法制备靶材粉料；将靶材粉料放置在靶材模具中后进行热烧结，以获得靶材；其中，所述靶材的致密度大于95％。本申请提供的YBCO靶材的制造方法及靶材模具，通过多次研磨及预烧结降低原材料颗粒度，以及通过放电等离子辅助热压烧结或冷压法制备的靶材，表面光滑、致密度达95％以上。
ybco 制造方法模具

[实用新型]一种靶材组件-CN201420387187.0有效
发明人：李晨光 -专利权人：南昌欧菲光科技有限公司;深圳欧菲光科技股份有限公司;苏州欧菲光科技有限公司
申请日： 2014-07-14 - 公布日： 2015-02-18 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种靶材组件，包括靶材、背板及导磁片，所述靶材与所述背板层叠设置，所述导磁片设置于所述靶材与所述背板之间，且所述导磁片至少部分嵌于所述背板中，所述靶材采用矩形平面靶材。本实用新型的靶材组件通过设置导磁片，使得磁控溅射过程中的磁场分布均匀，靶材的蚀刻速率一致，从而延长矩形平面靶材使用寿命，降低生产成本，提高靶材的使用效率。
一种组件

[实用新型]一种靶材-CN201820762425.X有效
发明人：王云能 -专利权人：米亚索乐装备集成（福建）有限公司
申请日： 2018-05-21 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型是关于一种靶材。该靶材包括：背衬管；形成于背衬管的外表面的靶材体；其中，靶材体包括：两个端段和中间段；其中，所述端段的第一靶材厚度大于所述中间段的第二靶材厚度。该技术方案增加了靶材体的端段的厚度，延长靶材在使用过程中的消耗时长，从而防止靶材体两端先耗光，提高靶材的利用率。
靶材端段背衬管中间段本实用新型时长消耗

[发明专利]靶材及其处理方法-CN201711181361.0在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;赵梓聿 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2017-11-23 - 公布日： 2018-04-06 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及镀膜机技术领域，具体而言，涉及靶材及其处理方法。靶材包括靶材本体，根据靶材溅射时磁场的强弱，在靶材本体上表面向其中心凹陷形成弧面凹槽，以使靶材溅射时靶材原子均匀溅射在基板上，即溅射时靶材原子能够充分向中心聚集，然后靶材原子均匀射向基板，不会因为靶材本体磁场强的地方快速溅射靶材处理方法与现有技术相比具有上述的优势，此处不再赘述。
及其处理方法

[发明专利]靶材组件及其制造方法-CN201811319205.0在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;廖培君 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2018-11-07 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种靶材组件及其制造方法，制造方法包括：提供靶材和背板，所述靶材具有靶材焊接面，所述背板具有背板焊接面；在所述靶材焊接面或所述背板焊接面上形成螺纹；形成所述螺纹后，将所述靶材焊接面与所述背板焊接面相贴合设置形成初始组件；对所述初始组件进行焊接处理，以获得靶材组件。利用所述制造方法形成的所述靶材组件中，所述靶材与所述背板贴合紧密，能够避免在所述靶材焊接面及所述背板焊接面间形成缝隙，有助于提高所述靶材组件的焊接质量。
组件及其制造方法

[发明专利]一种用于靶材钎焊焊缝的清洁方法-CN202210320271.X在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;周友平;廖培君 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-03-29 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于靶材钎焊焊缝的清洁方法，所述清洁方法包括如下步骤：(1)将靶材进行第一清洗处理，得到第一靶材；(2)将步骤(1)得到的所述第一靶材进行真空处理，得到第二靶材；(3)将步骤(2)得到的所述第二靶材进行第二清洗处理，得到第三靶材；(4)将步骤(3)得到的所述第三靶材进行真空干燥处理，得到清洁后的靶材。本发明提供的清洁方法可以有效去除靶材焊缝内的油污和切削液，提高靶材的质量。
一种用于钎焊焊缝清洁方法

[实用新型]靶材组件-CN202121968838.1有效
发明人：山田浩;林智行;广田二郎;中村晃;大岩一彦;姚科科 -专利权人：浙江最成半导体科技有限公司
申请日： 2021-08-20 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种靶材组件，包括：靶材和背板，背板设置于靶材的外围，靶材的溅射面相对于背板的前端表面凸出。本实用新型中的靶材组件及其制作方法，通过将背板设置于靶材的外围，由于背板没有在靶材的背面进行占位，溅射范围的厚度全部由靶材构成，所以间接使得靶材自身可以设置更厚的厚度，延长了靶材自身的使用寿命，因此与以往产品相比，能够将综合功率延长至寿命末期，实现靶材组件的长寿命化。
组件

[发明专利]靶材及设定靶材元素配比方法-CN200910196207.X有效
发明人：卢炯平;杨瑞鹏;孔祥涛;聂佳相 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2009-09-23 - 公布日： 2011-04-20 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：一种靶材及设定靶材元素配比方法，其中设定靶材元素配比方法包括：提供第一靶材，所述第一靶材包括第一元素和第二元素；采用所述第一靶材在衬底上形成薄膜；测量在衬底不同区域的所述薄膜的元素配比数据；根据所述衬底不同区域的所述薄膜的元素配比数据，设定与衬底区域对应的靶材区域的元素配比，形成第二靶材。本发明提供的设定靶材元素配比方法和靶材能够降低靶材中贵重金属的含量，降低靶材的成本，并且能够提高靶材形成的薄膜的元素均一性。
设定元素配比方法

[发明专利]钨钛靶材的制作方法-CN201310217090.5在审
发明人：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;宋佳 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2013-06-03 - 公布日： 2014-12-17 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种钨钛靶材的制作方法，包括，将废弃靶材进行机械破碎，形成颗粒，所述废弃靶材为钨钛靶材；提供用于制作靶材的粉末原料；将所述颗粒及粉末原料混合后放入模具中，进行热压烧结，形成靶材；热压烧结后，冷却，取出靶材。采用本发明提供的靶材的制作方法可以大大提高靶材的利用率，从而避免靶材材料的浪费，节省成本。另外，相对于直接将废弃靶材与粉末原料进行热压烧结的工艺来说，本发明对废弃靶材进行回收时的热压烧结工艺温度低、压强低，从而可以进一步节省工艺成本。
钨钛靶材制作方法

[发明专利]靶材与背板的焊接方法-CN201110329889.4无效
发明人：潘杰;姚力军;王学泽;周友平 -专利权人：余姚康富特电子材料有限公司
申请日： 2011-10-26 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： B23K20/02 文献下载
摘要：一种靶材与背板的焊接方法，包括：提供钛靶材和铝背板；将钛靶材焊接面加工成螺纹状，对铝背板焊接面进行粗糙度加工；在所述铝背板外侧套上第一模具，在所述钛靶材焊接面的相对面覆盖第二模具；采用热压方法将所述钛靶材与铝背板进行焊接形成靶材组件；对所述靶材组件进行热处理。本发明技术方案的靶材与背板的焊接方法，焊接后的钛靶材和铝背板之间的结合强度较高，且实现了钛靶材和铝背板的大面积焊接，降低了生产钛靶材和铝背板的靶材组件的成本。
背板焊接方法

[发明专利]一种预测靶材使用寿命的方法-CN202010300099.2在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;龚润泽 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-04-16 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： G06F30/25 文献下载
摘要：本发明涉及一种预测靶材使用寿命的方法，所述方法包括以下步骤：(1)使用三维扫描的方法，获取靶材溅射前和溅射后的形貌图，采用靶材溅射前和溅射后的形貌图结合制得表面侵蚀曲线，从所述表面侵蚀曲线中得到靶材的原始厚度和靶材的最小剩余厚度；(2)构建所述靶材的最小剩余厚度、溅射功耗和所述靶材的原始厚度的函数关系，通过所述函数关系来预测所述靶材的使用寿命。所述方法能够反映靶材的真实形貌，快速找到靶材表面的实际溅射最深处，准确地得到靶材的最小剩余厚度，使靶材的利用率达到最大；所述方法适应用于各种靶材，应用范围较广。
一种预测使用寿命方法

[发明专利]改善深孔填充均匀性的靶材组件、溅射设备及设计方法-CN202110932079.1在审
发明人：陈东伟;周云;宋维聪 -专利权人：陛通半导体设备（苏州）有限公司
申请日： 2021-08-13 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及改善深孔填充均匀性的靶材组件、溅射设备及设计方法，包括靶材本体，所述靶材本体为溅射面是凹弧面的半球形，所述靶材本体的背面安装于靶材背板上，所述靶材背板另一侧设置有磁性部，所述靶材本体、靶材背板和磁性部同轴设置，且所述靶材背板及磁性部与所述靶材本体的溅射面的形状相匹配。设备还包括箱体和加热器，靶材组件的形状通过设计方法得出。本发明的靶材组件能够提高对基片上深孔填充的均匀性；溅射设备在保证填充均匀性的同时，减小了薄膜的内应力，提高成膜的致密度；设计方法，操作简单，得到的靶材组件填充均匀性好。
改善填充均匀组件溅射设备设计方法

[发明专利]磁控溅射组合装置及设备-CN202311114259.4在审
发明人：何锦华;王兢;梁超;秦福林;梁月 -专利权人：江苏博睿光电股份有限公司;博睿光电(马鞍山)有限公司
申请日： 2023-08-31 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本公开的实施例提供一种磁控溅射组合装置及设备，所述磁控溅射组合装置包括柱状靶材组件和至少一个平面靶材组件；所述柱状靶材组件包括设有中空腔室的旋转靶材以及分设于所述中空腔室内的多个第一磁体；所述平面靶材组件包括两边侧分别设有容置腔室的固定靶材以及设于所述容置腔室内的第二磁体；其中，所述平面靶材组件沿所述柱状靶材组件的周向设置，所述固定靶材的溅射面与所述旋转靶材的溅射面相对应。通过所设置的柱状靶材组件和平面靶材组件的组合利用，能够有效提高靶材利用率以及产品两面镀膜速率。
磁控溅射组合装置设备

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