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[实用新型]一种用于离子镀枪装置的弧源头-CN201320090856.3有效
发明人：郎文昌 -专利权人：温州职业技术学院
申请日： 2013-02-28 - 公布日： 2013-07-17 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：包括靶材、靶材底座，靶材底部设有外螺纹，靶材通过底部外螺纹安装在靶材底座的靶材安装柱环套上，靶材底部与靶材底座冷却铜板紧密接触；靶材底座中设置有靶材底座冷却通道隔板，靶材底座冷却通道隔板将靶材底座中的空腔分成靶材底座冷却水上通道和靶材底座冷却水下通道，靶材底座冷却通道隔板中间的圆孔通过靶材底座冷却水进水管与冷却水进水管道连通。本实用新型靶材底座的结构紧凑简易，美观大方，节省空间，便于工业生产操作，用以改善传统电弧离子镀弧源结构复杂、适应性差、难以实现特殊镀膜需求、操作复杂、靶材更换难度大、位置可调性差的缺点。
一种用于离子镀装置源头

[发明专利]一种阴极电弧靶冷却装置-CN201410124974.0在审
发明人：田灿鑫;韩滨;付德君 -专利权人：宜昌后皇真空科技有限公司
申请日： 2014-03-31 - 公布日： 2015-09-30 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：一种阴极电弧靶冷却装置包括靶座、靶材、及设在靶座内部的多条冷却水道，靶材嵌在靶座表面上；所述靶材与所述冷却水道被铜板隔开，铜板使冷却水道与靶材分属不同的独立空间，靶材与铜板相接触；所述冷却水道内通过液体时，铜板受液体压力向靶材凸出。本发明的优点在于，利用铜片良好的传导性导热，同时利用铜片将靶材与冷却水道隔开，其设备的冷却效果好，又不影响真空设备及生产效率。
一种阴极电弧冷却装置

[实用新型]一种阴极电弧靶冷却装置-CN201420150138.5有效
发明人：田灿鑫;韩滨;付德君 -专利权人：宜昌后皇真空科技有限公司
申请日： 2014-03-31 - 公布日： 2014-08-06 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：一种阴极电弧靶冷却装置包括靶座、靶材、及设在靶座内部的多条冷却水道，靶材嵌在靶座表面上；所述靶材与所述冷却水道被铜板隔开，铜板使冷却水道与靶材分属不同的独立空间，靶材与铜板相接触；所述冷却水道内通过液体时，铜板受液体压力向靶材凸出。本实用新型的优点在于，利用铜片良好的传导性导热，同时利用铜片将靶材与冷却水道隔开，其设备的冷却效果好，又不影响真空设备及生产效率。
一种阴极电弧冷却装置

[实用新型]一种直条靶材装夹机构-CN202020925908.4有效
发明人：王俊锋;王锋;袁明 -专利权人：广东鼎泰机器人科技有限公司
申请日： 2020-05-27 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及靶材供料技术领域，尤其公开了一种直条靶材装夹机构，包括用于承载直条靶材的载架、设置于载架并用于加热蒸发直条靶材的加热单元、用于冷却载架所承载的直条靶材的冷却单元、设置于载架并作用于直条靶材蒸发后的靶材离子的磁铁；实际使用时，将直条靶材设置在载架上，加热单元将载具承载的直条靶材加热蒸发成靶材离子进行供料，借助冷却单元冷却直条靶材，避免直条靶材温度过高而炸裂；直条靶材蒸发后的靶材离子在磁铁的磁场中受洛伦兹力完成自动筛选，提升靶材物料的供料良率。
一种直条靶材装夹机构

[实用新型]一种靶材冷却装置-CN201721851177.8有效
发明人：刘文卿;严佐毅;张龙;张丽 -专利权人：安徽金美新材料科技有限公司
申请日： 2017-12-26 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型属于溅射靶材领域，具体来说涉及一种靶材冷却装置，包括靶材、靶材余料，所述靶材与所述靶材余料为一整体，所述靶材余料上设置有若干冷媒通道；本实用新型简易方便，能够在不增加成本的基础上直接对靶材进行冷却，大大降低靶材温度，提高传热效率，并且能够更加均匀的冷却靶材，提高沉积薄膜的性能。
靶材余料本实用新型靶材冷却冷却沉积薄膜传热效率溅射靶材冷媒通道对靶简易

[发明专利]磁控溅射设备-CN201510898407.5有效
发明人：武学伟 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2015-12-08 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供的磁控溅射设备，其包括工艺腔室、靶材、靶材背板、磁控管和冷却腔室，其中，冷却腔室位于工艺腔室上方，靶材背板设置在冷却腔室与工艺腔室之间，用以使二者相互隔离，通过向冷却腔室内通入冷却媒介，来冷却靶材背板；靶材设置在靶材背板的下表面上，磁控管设置在冷却腔室内，在靶材背板的上表面覆盖有导热绝缘件，用以将靶材背板与冷却腔室及其内部的冷却媒介电绝缘。本发明提供的磁控溅射设备，其无需使用去离子水冷却靶材，从而不仅可以简化水路系统的结构，而且还可以不存在通入到靶材的溅射能量会耗散到磁控管及其驱动机构上的问题，从而可以提高工艺的稳定性。
靶材背板冷却腔室靶材磁控溅射设备工艺腔室磁控管冷却媒介冷却腔冷却导热绝缘件室内驱动机构去离子水水路系统电绝缘上表面下表面耗散溅射隔离覆盖

[实用新型]一种靶材断电控制装置-CN201120529033.7有效
发明人：张建 -专利权人：佛山市中南罗森玻璃有限公司
申请日： 2011-12-16 - 公布日： 2012-09-05 - 主分类号： G05B19/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种靶材断电控制装置，包括靶材溅射室，靶材、冷却水进水管、冷却水出水管、检测装置、控制装置和冷却水供给装置；冷却水进水管和冷却水出水管分别与在靶材溅射室连接，冷却水进水管与检测装置连接，检测装置与冷却水供给装置连接，所述检测装置还与控制装置连接，控制装置与靶材连接。采用本实用新型可在冷却装置出现故障不能对靶材进行实时冷却的时候，自动控制靶材停止工作，保护靶材，避免出现高电压高电流环境对靶材造成损坏，节省维修成本，保证产品的生产周期，降低生产成本。
一种断电控制装置

[实用新型]靶材冷却装置-CN201822066979.9有效
发明人：何文;薛超;吴龙江;林宗贤 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-12-10 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：该实用新型涉及一种靶材冷却装置，包括：密封盖，安装至靶材基板，用于在所述靶材基板表面形成密闭空间；流体泵，连通至所述密闭空间，用于向所述密闭空间内泵入流体，或抽出所述密闭空间内的流体，以冷却所述靶材。本实用新型的靶材冷却装置在靶材基板表面形成了密闭空间，并使用一流体泵连通至所述密闭空间，往密闭空间内通入流体或泵出流体，使用流体对靶材进行冷却。进一步的，还设置有与所述靶材基板的表面相接触的水袋，通过水袋中盛装的水的较大比热容，也能对靶材起到一定的冷却作用。使用该靶材冷却装置，能够避免使用水冷方式对靶材进行冷却时对靶材、磁铁和管路的影响，能够优化物理气相沉积机台的生产效能。
密闭空间靶材靶材冷却流体对靶冷却基板表面基板水袋连通物理气相沉积机台本实用新型泵入流体冷却作用流体泵密封盖磁铁体泵抽出盛装优化生产

[发明专利]靶材冷却水排空装置-CN202110485265.5有效
发明人：田孟顺;刘宏茂 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2021-04-30 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： B66F7/06 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种靶材冷却水排空装置，靶材冷却水排空装置包括靶材承载部、靶材升降部和靶材固定部，靶材承载部包括相对设置的第一端和第二端；靶材升降部位于在靶材承载部的第一端；靶材固定部位于所述靶材升降部上方其中，通过在靶材承载部的一端设置了靶材升降部，通过靶材升降部可以将靶材的固定端抬高到一定高度。这样就可以使靶材内部的冷却水从靶材的密封端流出。本申请实施例采用机械装置替代纯人力作业，从而实现半自动化作业，不仅可以在更换靶材作业的过程中高效的排出靶材内部的冷却水，减少设备的保养时间，还可以保证作业人员的安全。
冷却水排空装置

[实用新型]一种可提高靶材利用率的靶座-CN201520217063.2有效
发明人：刘林;檀玉珩 -专利权人：山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2015-04-13 - 公布日： 2015-08-12 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种可提高靶材利用率的靶座。一种可提高靶材利用率的靶座，包括：靶材；导电膜层，位于靶材下方；靶材背板，其上表面设置导电膜层；靶材冷却层，设于靶材背板下方；靶材磁场层，设于靶材冷却层下方；靶材基座，设于靶材磁场层下方；陶瓷组件，包括陶瓷组件正极、陶瓷组件负极和陶瓷密封焊接件，所述陶瓷组件正极和陶瓷组件负极贯穿靶材背板、靶材冷却层、靶材磁场层、靶材基座设置，所述导电膜层和靶材背板通过陶瓷密封焊接件连接。本一种可提高靶材利用率的靶座，可提高该靶材的使用寿命，当该靶材使用寿命耗尽的时候，靶材上所剩的材料也不是太多，从而避免了靶材材料的浪费，节约了成本，实现靶材利用的最大值。
一种提高利用率

[实用新型]提高靶材利用率及涂层质量的装置-CN201820234720.8有效
发明人：傅铭桓 -专利权人：广州巴达精密刀具有限公司
申请日： 2018-02-09 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了提高靶材利用率及涂层质量的装置，包括磁铁装夹模块，靶材固定模块和冷却模块；其中：所述磁铁装夹模块包括磁铁安装夹、磁铁和磁铁安装框，所述磁铁安装于所述磁铁安装夹内部；所述靶材固定模块包括靶材固定部件和靶材；所述靶材固定部件环绕所述靶材设置并对所述靶材进行固定；所述冷却模块包括冷却水进水管和冷却水出水管，用于冷却所述靶材。本实用新型以最低的成本方式解决了靶材利用率低的问题，减少材料的浪费，采用了不同规格的圆形铜板改变了靶材的装夹位置和将磁铁安装夹向外旋转扭动改变磁铁的位置，使得每一次消耗过后的靶材表面都能够最大限度地处于理想的磁场环境中工作
靶材磁铁安装磁铁靶材利用率本实用新型固定部件固定模块冷却模块装夹冷却水出水管冷却水进水管磁铁安装框靶材表面成本方式磁场环境减少材料圆形铜板装夹位置扭动冷却环绕消耗

[发明专利]一种结构紧凑的特种多功能离子镀枪-CN201210430934.X有效
发明人：郎文昌 -专利权人：温州职业技术学院
申请日： 2012-11-02 - 公布日： 2013-03-06 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明靶材安装在靶材底座上，通过靶材底座冷却铜板间接冷却；靶材底座内部通过冷却通道隔板形成上下冷却水通道；靶材底座安装在细长型的靶材底柱上，电磁线圈围套在靶材底座后的靶材底柱周围；靶材底柱底部安装冷却水通道底座，与冷却水管相连接；电源接头端子安装在靶材底柱上；离子镀枪底盘通过绝缘套与靶材底柱安装，离子镀枪装置通过离子镀枪底盘的安装孔与真空室连接安装。本发明用以改善传统电弧离子镀弧源结构复杂、适应性差、功能单一、难以实现特殊镀膜需求、操作复杂、靶材更换难度大、位置可调性差、等离子体空缺区域大的缺点。
一种结构紧凑特种多功能离子镀

[发明专利]靶材加工方法-CN201710486091.8在审
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;鲍伟江 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2017-06-23 - 公布日： 2019-01-01 - 主分类号： B23Q11/00 文献下载
摘要：一种靶材加工方法，包括：提供靶材和刀具，所述刀具用于切削所述靶材；提供冷却液，当所述刀具切削所述靶材时，使所述冷却液喷向所述靶材的切削部位；所述冷却液的喷射压力控制在100Kg/cm^{2靶材的过程中，当靶材表面产生切屑时，具有较高喷射压力的冷却液能够将切屑冲断，使切屑不会堆积在靶材的表面，避免损伤靶材表面或损坏刀具。同时，较高喷射压力的冷却液还能够快速冷却切屑，使切屑因温度降低而硬化，从而使切削更容易发生断裂。}
靶材切屑冷却液切削刀具高喷射压力靶材表面靶材加工刀具切削快速冷却冷却液喷喷射压力切削部位温度降低冲断堆积断裂损伤硬化

[实用新型]一种新型靶材-CN202123270547.8有效
发明人：臧世伟 -专利权人：重庆金美新材料科技有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种新型靶材，包括靶材本体和用于固定该靶材本体的支撑座，所述靶材本体设于真空腔体内部的冷却辊旁侧，所述靶材本体为弧形结构，该弧形结构的所述靶材本体的内凹面朝向所述冷却辊。本实用新型的靶材本体采用弧形结构，内凹弧面朝向冷却辊，在磁控溅射的过程中，靶材本体上面的物质在氩气离子的轰击下，能够垂直地层积到冷却辊上的薄膜膜面处，防止溅射到薄膜以外的地方，造成靶材浪费，增加额外成本
一种新型

[发明专利]一种平面靶材的制备方法-CN202211159806.6在审
发明人：张蛟;徐国军;刘丽红;蒋明伟 -专利权人：安徽狄拉克新材料科技有限公司;宣城先进光伏技术有限公司
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及靶材加工技术领域，具体涉及一种平面靶材的制备方法，包括：对背板进行粗化处理；背板上喷涂打底层；将背板安装到靶材生长冷却导柱上；将材料加热得到靶材熔液，并将靶材熔液浇注到坩埚内；当背板温度达到200℃时，将靶材生长冷却导柱缓慢下降，打底层接触到靶材熔液液面后停止下降；当背板温度达到低于材料熔点10℃时，靶材生长冷导柱向上拉伸，靶坯重量达到目标重量后，得到靶坯；冷却液持续给背板降温，当背板温度降低至300℃后缓慢降低冷却液温度，背板温度降至50℃以下后取出靶材，将靶材冷却至室温后进行机加工，本发明通过本方法制备的靶材利用率高，可承受高功率密度磁控溅射，靶材密度高接近理论密度。
一种平面制备方法

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