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[发明专利]一种基于可纺性材料的微纳结构直写方法-CN201910023044.9在审
发明人：章城;廖宁波;吴明格 -专利权人：温州大学
申请日： 2019-01-10 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提出了一种基于可纺性材料的微纳结构直写方法，包括利用可纺性材料通过纺丝技术制作的微纳固态丝条；第一步，将基底加热达到或接近微纳固态丝条的熔点；第二步，将微纳固态丝条在移动装置的控制下运动到基底表面，使微纳固态丝条的尖端在加热状态下融化并粘附在基底表面；第三步，微纳固态丝条在移动装置的控制下略微上抬拉丝形成微纳固态丝条熔体并根据直写路径移动微纳固态丝条，直写完成后移动装置带动微纳固态丝条离开基底表面本发明采用的直写方式为利用微纳丝条在加热基底上熔融并粘附在基底，而微纳丝条则利用可纺性材料的通过纺丝技术制作而成。
固态丝直写基底表面移动装置可纺性技术制作纺丝基底丝条粘附熔点材料通过基底加热加热装置加热状态路径移动微纳结构拉丝熔融熔体上抬加热冷却融化

[发明专利]一种静电直写的微纳光相变纤维及其制备方法和应用-CN202110768649.8有效
发明人：刘志海;杨兴华;高帅;温兴月;滕平平 -专利权人：哈尔滨工程大学
申请日： 2021-07-07 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： D01F9/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种静电直写的微纳光相变纤维及其制备方法和应用，属于相变材料制备技术领域。本发明首先将有机前驱体溶于溶剂制成前驱体溶液，再采用静电直写的方法将前驱体溶液直写成为微纳光相变纤维的前驱体，最后经过加热分解、煅烧等后处理制成微纳光相变纤维。本发明提供的制备工艺成本低廉，能够制备空间一维延伸的光相变纤维，且可以按照需求控制微纳光相变纤维的形状。本发明制得的微纳光相变纤维可用于光逻辑、光开关、光调制等，有望在光学、微电子、传感等多个领域开展应用。
一种静电微纳光相变纤维及其制备方法应用

[发明专利]利用微纳光纤进行直写光刻的方法-CN200810163137.3无效
发明人：田丰;白剑;杨国光;徐建峰;梁宜勇 -专利权人：浙江大学
申请日： 2008-12-18 - 公布日： 2009-05-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种微纳光纤直写光刻的方法，该方法首先用蓝光单模光纤制备微纳光纤；然后在基片上涂敷一层光刻胶并将此基片固定在六维电控工作台上，通过双显微镜观察法使微纳光纤与基片对准后；给蓝光单模光纤通光，控制放置基片的六维电控工作台移动，使微纳光纤在基片上曝光出所需要的图形，显影、定影、后烘。本发明利用微纳光纤进行直写光刻的方法可以获得突破衍射极限的加工分辨率，弥补了传统激光直写的一大缺憾；方法简单，成本低廉，便于普及推广。
利用光纤进行光刻方法

[发明专利]一种控制飞秒激光诱导晶硅表面微纳结构形态的方法-CN201310209667.8有效
发明人：姜澜;韩伟娜;李晓炜;徐乐;袁艳萍 -专利权人：中自高科(苏州)光电有限公司
申请日： 2013-05-31 - 公布日： 2014-12-17 - 主分类号： B23K26/36 文献下载
摘要：本发明涉及一种控制飞秒激光诱导晶硅表面微纳结构形态的方法，该方法在单点飞秒激光诱导晶硅表面周期性微纳结构几何形态控制的基础上，通过对飞秒激光线偏振方向与激光直写方向进行控制，实现了对直写线宽的调控，当激光直写方向与线偏振方向平行时得到最小线宽表面周期性微纳结构，当激光直写方向与线偏振方向垂直时得到最大线宽表面周期性微纳结构。本发明的有益效果为：本发明通过简单的基于激光偏振态的调节及飞秒激光脉冲序列的应用，能够精确控制飞秒激光诱导晶硅表面周期结构的几何形态，从而为飞秒激光直写诱导大面积周期结构的产生提供了精确的可控参数，适用于飞秒激光直写精确诱导大面积表面周期结构的制造
一种控制激光诱导表面结构形态方法

[发明专利]一种基于空间电势限域的3D微纳结构直写系统-CN202210704210.3在审
发明人：杨光红;杨锋;黄晓伟;田宝丽;贾彩虹;王洪哲;程轲;程纲 -专利权人：河南大学
申请日： 2022-06-21 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： H01J37/302 文献下载
摘要：本发明涉及微纳米技术领域，特别是涉及一种基于空间电势限域的3D微纳结构直写系统，包括：模型构建模块，基于待构筑微纳结构的形态和特点，构建3D结构模型，并生成数字控制信号及直写过程中电子束的驻留时间和扫描速率对数字控制信号进行数模转换和放大，得到模拟控制信号；工作台模块，用于承载待写材料，并调整待写材料的角度；电子束模块，用于发射电子束并聚焦在待写材料的上方，并控制电子束的焦点按照设定路径进行扫描，对待写材料进行直写，得到待构筑微纳结构；束闸模块，进行打开和关闭，以控制电子束是否聚焦在待写材料的上方。本发明能够灵活便捷、低成本地实现微纳结构及纳米器件的直写构筑，材料普适性宽。
一种基于空间电势结构系统

[发明专利]激光直写微纳图形结构的方法-CN201010217742.1无效
发明人：顿爱欢;魏劲松;干福熹 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2010-07-02 - 公布日： 2010-12-15 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种激光直写微纳图形结构的方法，包括以下步骤：玻璃基片清洗、玻璃基片和溅射靶材安装、磁控溅射仪抽真空、下层介质膜层的溅射、相变材料膜层的溅射、上层介质膜层的溅射后获得激光直写薄膜和激光直写微纳图形。
激光直写微纳图形结构方法

[发明专利]一种基于激光直写的微纳区域液晶定向的方法及其系统-CN201410108057.3有效
发明人：张心正;许京军;李威;伊瑞娜;崔伟;石彬;王振华;吴强;孔勇发 -专利权人：南开大学
申请日： 2014-03-19 - 公布日： 2014-08-20 - 主分类号： G02F1/1337 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于激光直写的微纳区域液晶定向方法及其系统。本方法利用通过激光直写系统构建微纳结构；微纳结构区域内的液晶分子实现自定向；液晶的定向源于构成微纳结构的聚合物条带侧壁上的精细结构；所述微纳区域的尺寸从微米量级一直到超衍射极限的纳米量级。本发明方法及系统操作简单，不需要使用机械或光诱导的方式在基板上形成定向诱导膜，能在微纳区域内实现液晶的自定向，定向方向可微区域调控，有利于基于液晶器件的小型化和复杂三维液晶结构的定向，可广泛的推广应用。
一种基于激光区域液晶定向方法及其系统

[发明专利]激光直写薄膜和激光直写微纳图形的方法-CN201010215237.3无效
发明人：顿爱欢;魏劲松;干福熹 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2010-06-30 - 公布日： 2010-11-24 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种激光直写薄膜和激光直写微纳图形的方法，该激光直写薄膜是利用磁控溅射仪在玻璃基片上依次溅射的第一介质层、金属氧化物层和第二介质层而构成，所述的激光直写微纳图形的方法是采用绿光激光器对在高精度二维移动平台上的激光直写薄膜进行激光直写本发明所制备的激光直写薄膜具有薄膜和基底之间附着力强、参数可控性好、薄膜致密度高、重复性高等优点。采用绿光激光器直写亚微米级图形结构有望用于太阳能电池，液晶显示等领域。
激光薄膜直写微纳图形方法

[发明专利]一种基于激光直写的金属氧化物微纳结构、其制备和应用-CN202011076055.2在审
发明人：罗为;熊伟;毛天立;龙婧;王莹琛;刘欢 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2020-10-10 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明属于激光应用技术领域，更具体地，涉及一种基于飞秒激光直写的金属氧化物微纳结构、其制备和应用。本发明首先将金属氧化物前驱体与溶剂混合制备得到金属氧化物前驱体溶胶凝胶，接着将该溶胶凝胶涂覆于衬底表面得到凝胶薄膜，进行飞秒激光直写，利用飞秒激光高峰值功率产生的能量使金属氧化物前驱体发生反应生成金属氧化物微纳结构本发明通过飞秒激光直写技术直接实现金属氧化物微纳结构的制备，由于飞秒激光峰值功率高，可直接烧结出金属氧化物，不需要其他处理，方便快捷。适用于任意亲疏水基底，可实现高精度、跨尺度、高定向的任意金属氧化物微纳结构的制备。
一种基于激光金属氧化物结构制备应用

[发明专利]多光束并行激光直写装置及其直写方法-CN201210112339.1无效
发明人：朱锋;周常河;麻健勇 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2012-04-17 - 公布日： 2012-08-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种多光束并行激光直写装置及其直写方法，本发明将达曼光栅分光器件结合双光子吸收具有稳定性好、分辨率高的特点，易于制作周期性微纳结构材料，可以上百倍地提高加工效率，本发明非常适用于大面积周期性微纳光学结构的加工和工业生产
光束并行激光装置及其方法

[发明专利]一种基于近场电纺直写技术的微纳三维打印机-CN201310310502.X有效
发明人：王晗;李敏浩;陈新;陈新度;秦磊 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2013-07-23 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： B41J3/407 文献下载
摘要：本发明是一种基于近场电纺直写技术的微纳三维打印机。由打印机构主体，高压电源，驱动电源,运动控制器，CCD高速图像采集系统，计算机以及辅助电场控制器组成。本发明微纳三维打印机通过四自由度平台以及Z方向自由度的喷头来选择需要的相对位置进行成型加工，通过高压静电场使导电液滴发生高速喷射，通过CCD高速图像传感器对带电液滴进行跟踪反馈，通过辅助电场对带电液滴进行控制本发明所提供基于近场电纺直写技术的微纳三维打印机可以利用静电纺丝直写技术通过辅助电场控制液滴的位置可以实现在微纳级别的三维快速成型。
一种基于近场电纺直写技术三维打印机

[发明专利]电纺直写闭环控制方法-CN201710620100.8在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：肖佳楠
申请日： 2017-07-26 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： D01D5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种电纺直写闭环控制方法，能够提高直写射流稳定性、微纳结构均匀性和沉积精度。利用视觉检测技术根据射流行为以及微纳结构形貌位置做出实时判断并分别进行控制，对两者分别采取施加电压调节和运动平台速度位置调节的方式进行调控，避免了相互干扰，能够保持长时间的稳定喷射，实现图案化沉积。
直写闭环控制微纳结构电纺沉积视觉检测技术射流稳定性射流行为施加电压实时判断速度位置形貌位置运动平台均匀性图案化喷射调控

[发明专利]一种用于微纳加工的光刻胶材料、其制备和应用-CN202110097299.7在审
发明人：熊伟;刘敬伟;邓春三;张文广;喻克望;焦玢璋;刘耘呈;邓磊敏 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2021-01-25 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： G03F7/027 文献下载
摘要：本发明属于微纳加工技术领域，更具体地，涉及一种用于微纳加工的光刻胶材料、其制备和应用。其将金属‑有机框架材料通过有机酸溶解于光敏树脂单体中，配合光引发剂共同组成光刻胶材料，然后利用超快激光直写系统增材制造三维微纳结构，显影晾干后经高温煅烧得到三维微纳结构的金属氧化物。本发明提出的一种金属氧化物三维微纳结构的增材制造方法，具有光刻胶简单易制备、适用于超快激光直写系统、分辨率高、成型效果好以及可加工任意复杂三维结构的优势。该发明制备的三维微纳结构金属氧化物有望在光子晶体、结构色、超材料、三维传感器以及三维集成电路等领域取得重大应用。
一种用于加工光刻材料制备应用

[发明专利]基于功能材料微纳三维复杂结构的原位反应直写制造方法-CN201710710338.X有效
发明人：蒋维涛;刘红忠;韩捷;尹磊;陈邦道;史永胜 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2017-08-18 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：基于功能材料微纳三维复杂结构的原位反应直写制造方法，先使用电脑建模软件绘制微纳尺度的三维结构或零件实体模型，设计结构化模板与基板之间的移动路径、速度，并编写控制移动的数控代码；然后在接受平台中注入母液，创造液态的制造环境，母液将参与后续的原位反应以实现原位直写制造；再通过3d制造出微纳尺度的三维结构或零件实体；将微纳尺度的三维结构或零件实体从母液构成的环境中取出，得到具有复杂微纳三维结构或零件实体；或将母液固化，使得微纳尺度的三维结构或零件实体内嵌在固化后的材料中，形成具有一定内部结构的功能材料；本发明极大提高三维微纳制造的精度和分辨率，加快制造的效率，具有工艺简单、成本低、制造周期短等优点。
零件实体三维结构母液功能材料原位反应尺度直写制造三维复杂结构固化建模软件控制移动设计结构数控代码移动路径制造环境制造周期分辨率基板内嵌取出绘制电脑

[发明专利]一种基于激光直写技术原位构建复合柔性微纳器件的方法-CN201910804001.4有效
发明人：吴苏州;杨高洁;李晓云 -专利权人：深圳市晶莱新材料科技有限公司
申请日： 2019-08-28 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： B29C64/153 文献下载
摘要：本发明涉及微纳器件技术和激光微制造领域，主要涉及一种基于激光直写技术原位构建复合柔性微纳器件的方法。其是根据不同荧光分子被激发电子跃迁所需的脉冲激光强度不同的原理，利用双光子激光直写技术在柔性材料中原位构建复合微纳器件的不同结构域的一种新方法，分别用两种带不同活性基团的荧光团溶液处理水凝胶，根据设计的微图案，分别通过高、低能量的双光子脉冲激光激发从而聚合在水凝胶基底；随后用两种可分别与上述基团结合的纳米材料处理微图案，从而特异性地选区结合在不同区域，再经脱水缩小后，从而形成微纳尺度的复合器件结构。本发明的方法可一步构建复合柔性微纳器件，工艺简单、形成效率高、加工精细度高、应用前景广。
一种基于激光技术原位构建复合柔性器件方法

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