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[发明专利]一种白光干涉仪快速准焦方法-CN202310227216.0在审
发明人：李寅睿;梁宜勇 -专利权人：浙江大学
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G01B9/02055 文献下载
摘要：本发明公开一种白光干涉仪快速准焦方法，包括：粗准焦，步进电机沿靠近样品的正方向按第一精度步长移动，每次移动采集一张图片，根据能量梯度函数算法计算每张图片的清晰度，并记录最大清晰度值；细准焦，步进电机沿正方向按第二精度步长移动，根据能量梯度函数算法和改进的EAV点锐度算法记录每张图片清晰度及其最大值对应的位置；精准焦，压电陶瓷驱动器沿反方向按第三精度步长移动，根据改进的EAV点锐度算法记录每张图片清晰度及其最大值，经判断后确定准焦位置。本发明利用步进电机和压电陶瓷驱动器实现分级准焦，并补偿步进电机回退的误差；用能量梯度函数和改进的EAV点锐度算法评价图像的清晰度，实现快速、高精度、大搜索范围的自动准焦。
一种白光干涉仪快速方法

[发明专利]基于白光干涉及SPGD的亚毫米沟槽结构的测量方法-CN202110916532.X有效
发明人：张可欣;梁宜勇;李国忠 -专利权人：浙江大学
申请日： 2021-08-11 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于白光干涉及SPGD的亚毫米沟槽结构的测量方法。包括：搭建白光干涉系统，利用白光干涉系统测量待测沟槽样品的结构，相机探测采集待测沟槽样品的等光程干涉图；进行灰度处理后获得沟槽灰度干涉图，计算沟槽灰度干涉图的对比度和高频信息量；随机生成多项式系数，利用SPGD算法对多项式系数进行迭代优化后，获得优化后的多项式系数；控制变形镜对光路光程进行补偿，移动变形镜或待测沟槽样品，相机采集获得一组光程补偿后的沟槽干涉图及每张沟槽干涉图对应的编号；使用重心法进行图像重建，获得待测沟槽样品的三维结构重建图。本发明实现对亚毫米级别高深宽比结构沟槽进行形貌检测，探测结构的深度可达到毫米级别。
基于白光涉及 spgd 毫米沟槽结构测量方法

[发明专利]一种基于白光干涉的微纳深沟槽结构快速测量方法-CN202110710393.5有效
发明人：张可欣;梁宜勇;李国忠 -专利权人：浙江大学
申请日： 2021-06-25 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于白光干涉的微纳深沟槽结构快速测量方法。本发明包括：搭建白光干涉系统，利用白光干涉系统测量沟槽的结构，CCD相机采集获得多组沟槽干涉图及各组中每张沟槽干涉图对应的编号；对沟槽样品的各组沟槽干涉图进行处理后，获得各组沟槽干涉图的最大对比度与局部结构三维重建图；提取各组沟槽干涉图对应的局部结构三维重建图中的分界面重建图；将所有组沟槽干涉图对应的分界面重建图进行拼接后获得沟槽样品的三维结构重建图，根据三维结构重建图测量沟槽样品的深度和宽度。本发明光路更为简洁，方法能对亚毫米级别的沟槽结构进行探测，宽度达到几百微米，深度达到几毫米，测量速度得到很大提升。
一种基于白光干涉深沟结构快速测量方法

[发明专利]一种涡旋光远场超分辨重复光刻方法-CN201911220743.9有效
发明人： 梁宜勇 -专利权人：浙江大学
申请日： 2019-12-03 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种涡旋光远场超分辨重复光刻方法，该方法利用涡旋光聚焦产生的暗中空光场，远场光刻出非独立线条，再通过基于正光刻胶的多次曝光获得高密度超分辨图形。本发明方法展示的超分辨光刻具有可加工图形自由、工作距离大、可高速安全加工等特点。
一种涡旋光远场超分辨重复光刻方法

[发明专利]一种光场调控光刻中的涡旋光剪切干涉调焦方法-CN201710944259.5有效
发明人： 梁宜勇;李雄风;詹世超;朱蓓蓓;墨洪磊 -专利权人：浙江大学
申请日： 2017-10-12 - 公布日： 2019-09-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种光场调控光刻中的涡旋光剪切干涉调焦方法，它利用涡旋光的光场特性实现约束曝光，利用涡旋光的干涉特性实现调焦。从基片表面反射并经物镜透射的涡旋光束，在光学平行平板上进行剪切干涉。干涉图案当准焦时呈现对称性，当离焦时为非对称分叉图案，并且在正负离焦状态下其分叉图案正好相反，利用图案可实现调焦检测。本发明的调焦方法简单紧凑，涡旋光束一物两用，干涉调焦检测有很高的灵敏度，且干涉图案不受光源稳定性和光斑均匀性等影响。
一种调控光刻中的涡旋剪切干涉调焦方法

[实用新型]一种基于光轴光线的激光打标机自动对焦装置-CN201820371362.5有效
发明人： 梁宜勇 -专利权人：浙江大学
申请日： 2018-03-19 - 公布日： 2018-10-12 - 主分类号： B23K26/046 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于光轴光线的激光打标机自动对焦装置，通过追踪激光打标机的经过物镜光轴的细光束在物体上的投影点在面阵探测器像面上的位置，来实现对焦功能。从激光打标机内部发出并经物镜光轴出射的细光束，照射在标刻对象表面并形成投影光斑，一个与物镜有固定位置关系的面阵探测器，对该投影光斑成像并得到该光斑像和预存位置的偏差，通过电动位移装置改变物镜和标刻对象的轴向距离并使此偏差为零，从而实现自动对焦。本实用新型有较高的调焦灵敏度和精度，检测系统安装自由度高，调焦过程中被跟踪的目标点不横向移动，结合电动位移装置实现无需人工判读或干预的自动对焦，能适应多种形态的标刻对象。
激光打标机标刻电动位移装置自动对焦装置本实用新型面阵探测器投影光斑物镜光轴自动对焦细光束调焦光轴物镜固定位置关系安装自由度对象表面检测系统人工判读预存位置轴向距离光斑像灵敏度目标点投影点出射对焦成像照射追踪干预跟踪

[发明专利]一种基于光轴光线的激光打标机自动对焦方法及对焦装置-CN201810224719.1在审
发明人： 梁宜勇 -专利权人：浙江大学
申请日： 2018-03-19 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： B23K26/046 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于光轴光线的激光打标机自动对焦方法及对焦装置，通过追踪激光打标机的经过物镜光轴的细光束在物体上的投影点在面阵探测器像面上的位置，来实现对焦功能。从激光打标机内部发出并经物镜光轴出射的细光束，照射在标刻对象表面并形成投影光斑，一个与物镜有固定位置关系的面阵探测器，对该投影光斑成像并得到该光斑像和预存位置的偏差，通过电动位移装置改变物镜和标刻对象的轴向距离并使此偏差为零，从而实现自动对焦。本发明有较高的调焦灵敏度和精度，检测系统安装自由度高，调焦过程中被跟踪的目标点不横向移动，结合电动位移装置实现无需人工判读或干预的自动对焦，能适应多种形态的标刻对象。
激光打标机自动对焦标刻电动位移装置面阵探测器对焦装置投影光斑物镜光轴细光束调焦光轴物镜固定位置关系安装自由度对象表面检测系统人工判读预存位置轴向距离光斑像灵敏度目标点投影点出射对焦成像照射追踪干预跟踪

[发明专利]曲面胶厚检测装置及曲面胶厚逐点检测方法-CN200910154354.0无效
发明人：张春晖;梁宜勇;陈龙江;罗剑波 -专利权人：浙江大学
申请日： 2009-11-30 - 公布日： 2010-05-05 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种曲面胶厚检测装置及曲面胶厚逐点检测方法。该曲面胶厚检测装置包括激光发射器、导轨、分光棱镜、第一光功率计、第二光功率计和透镜，分光棱镜设置于导轨上，激光发射器发出的光线照射在分光棱镜上，经过分光棱镜后的透射光线照射在第一光功率计上，经过分光棱镜后的反射光线照射在透镜上，经过透镜的光线沿被检样品的胶层曲面球心方向入射，光线在被检胶层曲面反射后沿入射光路返回，依次经过透镜和分光棱镜后照射在第二光功率计上。本发明可实现无损地对曲面基底上的光刻胶厚度及分布进行逐点测量。
曲面检测装置胶厚逐点方法

[发明专利]曲面胶厚全场检测装置及其检测方法-CN200910101116.3无效
发明人： 梁宜勇;张春晖;陈龙江;罗剑波 -专利权人：浙江大学
申请日： 2009-07-23 - 公布日： 2009-12-09 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种曲面胶厚全场检测装置及其检测方法。该检测装置包括可调谐激光器、透镜、分光棱镜、透镜和光电探测面阵CCD，可调谐激光器的出射光线经过透镜后经过分光棱镜反射向透镜，光线经过透镜后在被检表面反射，在被检表面反射后的光线沿原光路返回，依次经过透镜和分光棱镜，照射在光电探测面阵CCD上。根据光电探测面阵CCD5上得到的反射光能量比变化值计算得出胶层厚度分布；依据测量原理求出胶层反射比，从而计算得到胶层厚度分布。本发明可无损地测得曲面基底的光刻胶全场厚度分布，适用于用光刻方法加工曲面基底微结构时的胶厚检测，也适用于其它曲面基底的膜厚测量。
曲面全场检测装置及其方法

[发明专利]无导向光纤法布里-珀罗干涉传感器-CN200810163176.3无效
发明人：田丰;白剑;杨国光;徐建峰;梁宜勇 -专利权人：浙江大学
申请日： 2008-12-18 - 公布日： 2009-08-19 - 主分类号： G01D5/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种无导向光纤法布里-珀罗干涉传感器，它主要由白光光源、2×2光纤耦合器、压电陶瓷、光谱仪和计算机组成。2×2光纤耦合器一侧的两根光纤分别连接白光光源和光谱仪，另一侧的两根光纤中，一根缠成若干圆环，另一根光纤的端部切平形成光纤端面，靠近光纤端面处固定在压电陶瓷上。所述光谱仪和计算机之间通过USB接口相连。所述光纤端面在压电陶瓷的控制下靠近被测物体的表面，光纤端面和被测物体的表面之间形成法布里-珀罗谐振腔。由于光纤端面和被测物表面之间没有任何连接，二者可以做横向相对运动，这就使得本发明具有非常广泛的应用。
导向光纤法布里干涉传感器

[发明专利]在ITO导电玻璃的电极上焊接电外引线的方法-CN200810163010.1无效
发明人：顾征;凌俐;梁宜勇;顾智企 -专利权人：浙江大学
申请日： 2008-12-02 - 公布日： 2009-05-27 - 主分类号： H01R43/02 文献下载
摘要：一种在ITO导电玻璃的电极上焊接电外引线的方法，包含：配制非结晶型的低熔点玻璃粉、配制焊接用银浆浆料、银浆涂覆和还原以及焊接外引线等工序步骤，本发明方法进行导电玻璃电极与外电路的焊连接，焊接电阻小，为欧姆接触；焊接点有相当大的抗拉强度和剪切强度；可对小宽度和小间距ITO导电玻璃电极进行高可靠焊接，焊接方法简单、操作易行、快捷。
ito 导电玻璃电极焊接外引方法

[发明专利]利用微纳光纤进行直写光刻的方法-CN200810163137.3无效
发明人：田丰;白剑;杨国光;徐建峰;梁宜勇 -专利权人：浙江大学
申请日： 2008-12-18 - 公布日： 2009-05-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种微纳光纤直写光刻的方法，该方法首先用蓝光单模光纤制备微纳光纤；然后在基片上涂敷一层光刻胶并将此基片固定在六维电控工作台上，通过双显微镜观察法使微纳光纤与基片对准后；给蓝光单模光纤通光，控制放置基片的六维电控工作台移动，使微纳光纤在基片上曝光出所需要的图形，显影、定影、后烘。本发明利用微纳光纤进行直写光刻的方法可以获得突破衍射极限的加工分辨率，弥补了传统激光直写的一大缺憾；方法简单，成本低廉，便于普及推广。
利用光纤进行光刻方法

[发明专利]用于制备纳米碳管大面积垂直取向的高压电场处理装置-CN200810060547.5无效
发明人：顾征;梁宜勇;夏姣真;顾智企 -专利权人：浙江大学
申请日： 2008-03-27 - 公布日： 2008-09-03 - 主分类号： C01B31/02 文献下载
摘要：一种用于制备纳米碳管垂直取向的高压电场处理装置，由直流可调高压电源1、电压表10、阳极金属板3、阴极金属板7、红外线灯5和基座8组成，可调高压电源1经导线2连接阳极金属板3和阴极金属板7，阳极金属板3和阴极金属板5的两块极板水平平行放置，间距2～5CM之间可调，金属极板的面积大于或等于印刷有纳米碳管层的基板6面积。本发明的高压电场处理装置，可以在大面积基板上获得纳米碳管垂直取向，处理装置简单，操作方法方便。
用于制备纳米大面积垂直取向高压电场处理装置

[实用新型]药片数片机缺粒检测仪-CN200620105735.1无效
发明人： 梁宜勇;孙戎;顾智企 -专利权人： 梁宜勇
申请日： 2006-07-18 - 公布日： 2007-11-07 - 主分类号： B65B57/10 文献下载
摘要：一种药片数片机缺粒检测仪，由检测头和控制器构成，其特征是所述检测头由滑轨、上滑块、下滑块和外框架组成。上滑块固定在下滑块之上，滑轨穿过下滑块并固定于外框架，上滑块两端安装有照明单元和接收单元，照明单元发出平行光束照射数片机装药模板检测面上，接收单元接收其反射光，经光电转换将电信号送入控制器，控制器根据缺粒与否和缺粒数控制发送踢瓶信号和补粒信号。检测仪操作调整方便，可用于不同规格的数片模板、片剂的缺粒检测。仪器智能化，能自行判断有否缺粒及缺粒数，检测率高，结构简单，成本低廉。
药片数片机缺粒检测

[发明专利]一种高精度的恒姿态曲面调焦装置及其方法-CN200710068771.4无效
发明人： 梁宜勇;罗剑波;田丰;陈龙江;杨国光 -专利权人：浙江大学
申请日： 2007-05-24 - 公布日： 2007-10-31 - 主分类号： G02B7/28 文献下载
摘要：本发明是一套曲面调焦装置和调焦方法。本发明调焦装置由分束器、光刻物镜、普通物镜、针孔、调焦探测器等组成。其最大特点是在曲面调焦中可以保持曲面基底和光刻物镜两者姿态不变，而能实现高精度调焦。本发明调焦方法是通过对相位误差信号进行跟踪调节，使光刻物镜实时处于准焦状态。其最大特点是调焦可靠、有效，调焦精度高。该装置和方法结构简单，成本低，调焦精度达到亚微米，使其很适用于曲面激光光刻中的调焦，或其它对曲面进行精确调焦的场合，也适用于物体表面三维微形貌的高精度检测等领域。
一种高精度姿态曲面调焦装置及其方法

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