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[实用新型]一种分子束外延中带安全抽气装置的可快速换源的磷炉-CN201820504285.6有效
发明人：蒋建 -专利权人：新磊半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2018-04-10 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： H01L21/203 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种分子束外延中带安全抽气装置的可快速换源的磷炉，磷炉主体通过一根金属管路与分子束外延生长室相连，用于把磷炉主体内的磷束源引入分子束外延生长室，金属管路中装有针阀用以调节磷束流的大小。磷炉主体上串接有第一真空角阀和第二真空角阀。当磷炉主体需要重新装载红磷束源材料时，同时打开第一真空角阀和第二真空角阀给磷炉放气，使磷炉暴露大气。装载束源材料之后，磷炉抽气完毕同时关闭两个角阀，确保阀门关闭后没有泄漏，同时保证磷炉长期使用不产生泄漏。
磷炉分子束外延真空角阀束源安全抽气金属管路生长室泄漏本实用新型阀门关闭重新装载抽气串接放气红磷角阀束流针阀装载暴露引入保证

[发明专利]一种扩散炉磷源供给系统-CN202310748065.3在审
发明人：程亮亮;李枫 -专利权人：徐州中辉光伏科技有限公司
申请日： 2023-06-25 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种扩散炉磷源供给系统，关于太阳能电池制造技术领域，包括扩散炉磷源供给装置，所述扩散炉磷源供给装置包括液态磷源瓶，内部储存有液态三氯氧磷；氮气供给管路包括氮气主管、第一氮气支管和第二氮气支管本发明能够使氮气喷出的水平距离随着液面的降低而增加，以此来确保氮气与液态三氯氧磷的接触时间，使氮气能够携带足量的三氯氧磷，从而使磷源蒸汽中三氯含量稳定，进而保障磷源的均匀供给，通过加热箱加热氮气，利用热氮气与磷源蒸汽混合达到对磷源的预热，避免供给磷源引起扩散炉温度变化，提高电池片的扩散品质。
一种扩散炉磷源供给系统

[发明专利]太阳能电池及其制造方法-CN201911328460.6在审
发明人：吴慧敏;林纲正;陈刚 -专利权人：浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技股份有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司
申请日： 2019-12-20 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：用于制造太阳能电池的方法包括：将硅晶片放置到扩散炉内；控制扩散炉以使得扩散炉内的环境处于第一温度和第一压强；向扩散炉中供应磷源气体和氧气达第一时间段；控制扩散炉以使得扩散炉内的环境处于第一压强和第二温度，第二温度高于第一温度；向扩散炉中供应磷源气体和氧气达第二时间段，以在硅晶片的表面形成磷源层；以及将磷源层中的磷原子扩散到硅晶片中。
太阳能电池及其制造方法

[发明专利]一种利用协助磷源气扩散的固态磷源制备PN结的方法-CN201010568294.X有效
发明人：匡成国;王洪;刘洪;章金生;李质磊;盛雯婷;宋如来;吕铁铮;张凤鸣 -专利权人：天威新能源控股有限公司;保定天威集团有限公司
申请日： 2010-12-01 - 公布日： 2012-06-06 - 主分类号： H01L21/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于制备晶体硅太阳电池PN结的固态磷源。本发明还公开了一种晶体硅太阳电池PN结的制备方法：将预先经过磷源气扩散的硅片即固态磷源固定于石英舟的首部和/或尾部，同时将待扩散的硅片固定于石英舟内，进舟后，在扩散炉内通入磷源气，加热，出舟，即得扩散完成的硅片，其中，将固态磷源重复利用，直到其破碎后废弃。采用本发明固态磷源辅助磷源气扩散制备PN结时，极大地改善了扩散炉管中炉口和炉尾硅片的方块电阻的均匀性，有效提升了每批生产的电池片的电性能。
一种利用协助磷源气扩散固态制备 pn 方法

[实用新型]一种液态磷注入法合成磷化铟的系统-CN202020974671.9有效
发明人：付莉杰;孙聂枫;王书杰;李晓岚;张鑫;张晓丹;史艳磊;邵会民;王阳 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2020-06-02 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： C30B29/40 文献下载
摘要：本实用新型一种液态磷注入法合成磷化铟的系统，属于半导体技术领域，包括基于原位合成法的InP单晶炉、设置在单晶炉内的提拉式籽晶杆、石英磷泡、磷源炉及坩埚，关键在于：所述单晶炉内还设置有冷凝器，冷凝器包括充有冷却液的冷却箱和浸在冷却液内的螺旋管，螺旋管的入口与石英磷泡的口部连通，螺旋管的出口插入坩埚内的铟熔体中，石英磷泡设置在磷源炉内。该系统中，在单晶炉内增设冷凝器并将石英磷泡与冷凝器连接，石英磷泡内的固态磷被磷源炉加热气化，气态磷进入冷凝器冷却为液态磷注入坩埚内的铟溶体中。
一种液态注入合成磷化系统

[发明专利]转炉炼钢方法-CN202180091524.4在审
发明人：横森玲;小笠原太;川畑凉;菊池直树;服部雄大 -专利权人：杰富意钢铁株式会社
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： C21C5/00 文献下载
摘要：本发明提供在容纳于转炉型容器内的冷铁源及铁水的精炼处理中可防止冷铁源的熔解残留、并且增加冷铁源的用量、而且不损害生产性的转炉炼钢方法。上述转炉炼钢方法是进行铁水的脱磷处理，得到脱磷后铁液，对得到的上述脱磷后铁液进行脱碳处理而得到钢液的转炉炼钢方法，其中，在脱磷处理中，在向第一转炉型容器中装入脱磷前铁水之前，向第一转炉型容器中一次性装入满足下述式(1)的量的第一冷铁源，然后，装入脱磷前铁水，进行脱磷处理，将得到的脱磷后铁液出铁至铁水接受容器并保持于该铁水接受容器中，将第二冷铁源一次性装入进行了脱磷处理的第一转炉型容器、或者与第一转炉型容器不同的第二转炉型容器base:Sub>s0≤0.1186T‑134(％Ws0≥0)···(1)，式中，％Ws0为第一冷铁源相对于第一冷铁源与脱磷前铁水装入量之和的比例(％)，T为脱磷前铁水温度(℃)。
转炉炼钢方法

[发明专利]一种改进型磷扩散炉及其排除三氯氧磷的方法-CN201911285157.2在审
发明人：孙锦国;戴亮亮;柯雨馨;梁兴芳 -专利权人：阳光中科（福建）能源股份有限公司
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： C30B31/04 文献下载
摘要：本发明涉及太阳能电池片的制造领域，尤其是涉及的是一种改进型磷扩散炉，包括：扩散炉炉体、气源装置、尾气收集装置，所述扩散炉炉体的头部设置有炉门，所述扩散炉炉体的内部设置有炉管，所述气源装置与扩散炉炉体连通且为扩散炉炉体提供气源，所述尾气收集装置与扩散炉炉体连通，以收集扩散炉炉体内的尾气，所述气源装置以不同气体流速的多个气路为扩散炉炉体提供气源。本发明结构简单，有效地避免了三氯氧磷热分解过程中的中间产物对扩散炉的腐蚀及炉管尾的堵塞，大大延长了扩散炉的使用寿命。
一种改进型扩散及其排除三氯氧磷方法

[发明专利]利用承载气体进行磷化物原位注入合成的方法-CN201711298581.1有效
发明人：孙聂枫;王书杰;刘惠生;孙同年 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2017-12-08 - 公布日： 2019-08-02 - 主分类号： C01B25/08 文献下载
摘要：涉及半导体晶体的合成方法，步骤A、通过承载气体进气管向炉体内通入惰性保护气体；步骤B、对炉体内的坩埚进行加热使坩埚内预合成的原料熔化；步骤C、通过承载气体进气管向炉体内通入加热后的惰性保护气体；步骤D、将装载有红磷的磷源炉向下移动直至磷源炉上的注入管没入熔体中；步骤E、磷源炉对红磷进行加热并产生磷气体，磷气体与惰性保护气体混合后通过注入管注入到熔体中，磷气体与熔体反应生成磷化物；步骤F、合成完毕后关闭各装置。本发明通过在合成过程中，通过承载气体进气管通入惰性保护气体使得磷气体平稳的注入熔体，防止挥发元素气体被完全吸收后熔体倒吸入磷源炉。
惰性保护气体磷气体磷源熔体承载进气管磷化物合成加热体内注入管红磷坩埚半导体晶体合成过程挥发元素熔体反应向下移动原料熔化预合成倒吸装载吸收

[发明专利]一种改善太阳能电池磷扩散均匀性的方法-CN201010508102.6有效
发明人：党继东;黄清;辛国军;章灵军 -专利权人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯(中国)投资有限公司
申请日： 2010-10-15 - 公布日： 2011-04-06 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种改善太阳能电池磷扩散均匀性的方法，其步骤包括：(1)将硅片放于扩散炉中，炉内各区温度均升至700～780℃，炉内环境为均匀的氮气气氛，氮气流量8L/min～30L/min；(2)待温度稳定后，同时通入携磷源气体0.8L/min～2L/min，及干氧0.4L/min～2.5L/min，且保证炉内气体环境均匀，扩散10～40分钟；(3)停止通入携磷源气体源和干氧，同步均匀提升炉内各区温度，升温速率本发明通过均匀的炉内气体及一致的炉内温度，使电池片制备中的磷扩散均匀性得到提高，一定程度上提升了太阳能电池的转换效率。
一种改善太阳能电池扩散均匀方法

[发明专利]一种通过改变多晶硅片磷源成分提高扩散质量的方法-CN201310302145.2无效
发明人：马桂艳 -专利权人：英利能源（中国）有限公司
申请日： 2013-07-18 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： H01L21/228 文献下载
摘要：本发明公开了一种通过改变多晶硅片磷源成分提高扩散质量的方法，涉及半导体器件的制作方法技术领域。包括以下步骤：（1）在三氯氧磷中加入三氯化磷作为磷源；（2）氧化：将制好绒面的多晶硅片放置在扩散炉内通入氧气；（3）沉积：在扩散炉内通入携带有磷源和氧气的混合气体；（4）扩散：扩散炉保持一定温度，使沉积的磷向硅片内部进行扩散
一种通过改变多晶硅片成分提高扩散质量方法

[发明专利]一种硅片自动涂源生产线-CN201710879417.3有效
发明人：董文一;魏文博;钟瑜;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;甄辉;齐风;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种硅片自动涂源生产线，包括涂硼装置、第一烘干炉、涂磷装置、第二烘干炉和洒粉单元，涂硼装置与第一烘干炉之间、第一烘干炉与涂磷装置之间、涂磷装置与第二烘干炉之间、第二烘干炉与洒粉单元之间均设有第一转运机械手，第一烘干炉的下游一端设有硅片翻转机构。该硅片自动涂源生产线自动化程度高，硅片涂源的多个过程自动进行，无需配备大量专人人工操作，失误率低，涂敷效率高，涂料均匀，产品合格率高。
一种硅片自动生产线

[实用新型]一种硅片自动涂源生产线-CN201721239474.7有效
发明人：董文一;魏文博;钟瑜;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;甄辉;齐风;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 -专利权人：天津环鑫科技发展有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种硅片自动涂源生产线，包括涂硼装置、第一烘干炉、涂磷装置、第二烘干炉和洒粉单元，涂硼装置与第一烘干炉之间、第一烘干炉与涂磷装置之间、涂磷装置与第二烘干炉之间、第二烘干炉与洒粉单元之间均设有第一转运机械手，第一烘干炉的下游一端设有硅片翻转机构。该硅片自动涂源生产线自动化程度高，硅片涂源的多个过程自动进行，无需配备大量专人人工操作，失误率低，涂敷效率高，涂料均匀，产品合格率高。
一种硅片自动生产线

[实用新型]一种改进型磷扩散炉-CN201922245564.2有效
发明人：孙锦国;戴亮亮;柯雨馨;梁兴芳 -专利权人：阳光中科（福建）能源股份有限公司
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： C30B31/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及太阳能电池片的制造领域，尤其是涉及的是一种改进型磷扩散炉，包括：扩散炉炉体、气源装置、尾气收集装置，所述扩散炉炉体的头部设置有炉门，所述扩散炉炉体的内部设置有炉管，所述气源装置与扩散炉炉体连通且为扩散炉炉体提供气源，所述尾气收集装置与扩散炉炉体连通，以收集扩散炉炉体内的尾气，所述气源装置以不同气体流速的多个气路为扩散炉炉体提供气源。本实用新型结构简单，有效地避免了三氯氧磷热分解过程中的中间产物对扩散炉的腐蚀及炉管尾的堵塞，大大延长了扩散炉的使用寿命。
一种改进型扩散

[实用新型]多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路-CN201220041639.0有效
发明人：宋令枝;吴胜勇;吕加先;张涌 -专利权人：苏州盛康光伏科技有限公司
申请日： 2012-02-09 - 公布日： 2012-11-07 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路，其特征在于所述进气管路包括进气主管路（1），所述进气主管路（1）的前端与管式扩散炉（2）的进气端连接，所述进气主管路（1）的后端连接有氧气进气管路（3）和大氮进气管路（4），所述进气主管路（1）的中间通过磷源管路（5）连接有磷源瓶（6），所述磷源瓶（6）上连接有小氮进气管路（7）。本实用新型多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路，大氮进气管路设置于磷源管路的后端，大氮可以迅速将磷源带入管式扩散炉的炉管，从而提高了磷源利用率。
多晶太阳能电池硅片扩散用进气管路

[发明专利]用固态磷裂解源炉分子束外延磷化铟材料的方法-CN200510126237.5无效
发明人：李路;刘峰奇;周华兵;梁凌燕;吕小晶 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2005-11-30 - 公布日： 2007-06-13 - 主分类号： C30B25/02 文献下载
摘要：本发明涉及分子束外延磷裂解炉技术领域，特别是一种用固态磷裂解源炉分子束外延磷化铟材料的方法。方法包括：步骤1：在分子束外延系统中，将衬底加热器旋转至测束流位置并将裂解区升温；步骤2：裂解区降温并将红磷区升温；步骤3：关闭裂解阀阀门进行转化后对红磷区降温；步骤4：将磷源炉裂解区温度设定在生长材料时所使用的温度值；步骤5：按转化时间与转化而成的白磷量经验公式，计算磷源的耗尽时间。
固态裂解分子外延磷化材料方法

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