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[发明专利]一种喷雾式晶圆附磷工艺-CN201610754888.7在审
发明人：顾延桃;葛宜威;王毅 -专利权人：扬州杰盈汽车芯片有限公司
申请日： 2016-08-26 - 公布日： 2017-09-08 - 主分类号： H01L21/228 文献下载
摘要：一种喷雾式晶圆附磷工艺。提供了一种将液态源雾化的方式在晶圆表面附着磷源，其兼有液态源的低成本性，也有效地改善了常规液态源难以控制磷源在晶圆表面均匀分布的现状，具有显著的实用效应的喷雾式晶圆附磷工艺。包括磷源配制、晶圆附磷、磷源烘干、装舟贮存；其中，磷源配制将磷酸二氢铵、磷酸、无水乙醇、水按照比例配比；磷源喷洒将待喷磷晶圆装入磷源喷洒专用盘，用喷枪将配置好的磷源以雾状的形态均匀喷洒到晶圆表面；磷源烘干本发明相比于固、气磷源，每片的物料成本节约相当客观，且对设备需求较低；相比于常见的液态磷源，此法作业效率高，节省较多的人力成本。
一种喷雾式晶圆附磷工艺

[实用新型]一种磷扩散系统及其气路装置-CN202220726691.3有效
发明人：周建科;顾生刚;时宝;陈刚 -专利权人：天津爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司
申请日： 2022-03-28 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种磷扩散系统的气路装置，包括输气装置、第一磷源、第二磷源和扩散装置；所述第一磷源通过第一管道与所述输气输入装置连接，且所述第一管道伸入磷源液面下方；所述第一磷源通过第二管道与所述第二磷源连接；所述第二管道上设有第一开关；所述第一磷源通过第三管道与所述扩散装置连接，且所述第三管道于磷源液面的上方。本实用新型通过增设副磷源，为主磷源在工作过程中补充磷源溶液，消除磷源余量对扩散方阻的影响，且换源过程中扩散装置可正常运行。
一种扩散系统及其装置

[发明专利]电池片扩散工艺的磷源传输装置以及包含其的温度控制系统-CN202111180211.4在审
发明人：李进;安百俊;韩耀璋;张佃平;石星宇;徐尊豪;韩博 -专利权人：宁夏大学
申请日： 2021-10-11 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： F16L53/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种电池片扩散工艺的磷源传输装置以及包含其的温度控制系统，涉及太阳能电池技术领域。上述电池片扩散工艺的磷源传输装置包括磷源携源管、热气流进气管、热气流出气管和隔热包覆材料；所述隔热包覆材料包覆磷源携源管、热气流进气管和热气流出气管，形成磷源传输管路；其中，所述热气流进气管和热气流出气管通过调整热气流的流量，进而调节磷源携源管中磷源的温度。上述磷源传输装置通过热气流进气管和热气流出气管的设置可以有效调节磷源携源管中磷源的温度，进而对硅片表面的温度进行控制。
电池扩散工艺传输装置以及包含温度控制系统

[实用新型]电池片扩散工艺的磷源传输装置以及包含其的温度控制系统-CN202122445198.2有效
发明人：李进;安百俊;韩耀璋;张佃平;石星宇;徐尊豪;韩博 -专利权人：宁夏大学
申请日： 2021-10-11 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： F16L53/32 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种电池片扩散工艺的磷源传输装置以及包含其的温度控制系统，涉及太阳能电池技术领域。上述电池片扩散工艺的磷源传输装置包括磷源携源管、热气流进气管、热气流出气管和隔热包覆材料；所述隔热包覆材料包覆磷源携源管、热气流进气管和热气流出气管，形成磷源传输管路；其中，所述热气流进气管和热气流出气管通过调整热气流的流量，进而调节磷源携源管中磷源的温度。上述磷源传输装置通过热气流进气管和热气流出气管的设置可以有效调节磷源携源管中磷源的温度，进而对硅片表面的温度进行控制。
电池扩散工艺传输装置以及包含温度控制系统

[实用新型]一种磷源集中供源柜-CN202222738722.X有效
发明人：黄立福;唐盈 -专利权人：广东福雪莱电气有限公司
申请日： 2022-10-18 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： F17C13/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及磷源供源技术领域，具体涉及一种磷源集中供源柜，包括主体柜、控制系统、温度调节组件、称重组件、补液组件、泄漏监测组件和应急处理组件，主体柜内测设有冷气循环区和磷源放置区，补液组件连通磷源容器内侧低端和磷源使用端，本实用新型结构简单，设计合理，通过在主体柜内设置磷源放置区，可以放置更大容量的磷源容器，为外部多个使用端小磷源容器供源，极大的减少磷源容器更换次数，增加使用便利性，同时在磷源放置区设置称重组件，可以实现精准的补液控制
一种集中供源柜

[发明专利]一种扩散炉磷源供给系统-CN202310748065.3在审
发明人：程亮亮;李枫 -专利权人：徐州中辉光伏科技有限公司
申请日： 2023-06-25 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种扩散炉磷源供给系统，关于太阳能电池制造技术领域，包括扩散炉磷源供给装置，所述扩散炉磷源供给装置包括液态磷源瓶，内部储存有液态三氯氧磷；氮气供给管路包括氮气主管、第一氮气支管和第二氮气支管本发明能够使氮气喷出的水平距离随着液面的降低而增加，以此来确保氮气与液态三氯氧磷的接触时间，使氮气能够携带足量的三氯氧磷，从而使磷源蒸汽中三氯含量稳定，进而保障磷源的均匀供给，通过加热箱加热氮气，利用热氮气与磷源蒸汽混合达到对磷源的预热，避免供给磷源引起扩散炉温度变化，提高电池片的扩散品质。
一种扩散炉磷源供给系统

[发明专利]精准原子配对悬浮合成磷酸钙粉体方法-CN202210653847.4在审
发明人：卢霄;卢建熙;罗欣;王佳莹;姚邺 -专利权人：卢霄;卢建熙
申请日： 2022-06-09 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： C01B25/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种精准原子配对悬浮合成磷酸钙粉体方法，包括：标定钙源体和磷源体的纯度；根据所述钙源体理论钙原子数量和所述磷源体理论磷原子数量以及目标粉体的理论钙原子数量与理论磷原子数量，计算所述钙源体与所述磷源体的理论用量比，并结合标定的所述纯度计算所述钙源体与所述磷源体的实际用量；根据所述钙源体与所述磷源体的实际用量，配制钙源体溶液和磷源体溶液；将所述钙源体溶液和所述磷源体溶液通过搅拌混合悬浮化学反应，以得到乳白色混悬液
精准原子配对悬浮合成磷酸钙方法

[发明专利]一种太阳能电池晶体硅片磷扩散方法-CN201710537036.7在审
发明人：杨自芬 -专利权人：合肥市大卓电力有限责任公司
申请日： 2017-07-04 - 公布日： 2017-11-07 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池晶体硅片磷扩散方法，包括以下步骤1)将待处理的晶体硅片置于扩散炉中，升温通入携磷源氮气、干氧和大氮进行恒定源扩散；2)停止通入携磷源氮气，升温通入干氧和大氮进行推进；3)通入携磷源氮气及干氧，进行低温扩散；4)停止通入携磷源氮气，恒温推进；5)升温通入携磷源氮气和干氧进行恒定源扩散；6)停止通入携磷源氮气，进行有氧限定源扩散；7)降温通入携磷源氮气、干氧及大氮，进行降温扩散；8)降温出舟即可该种磷扩散方法简单易行，应用广泛，采用该种方法能有效提高硅片光电转换效率，改善太阳电池的电性能，适于推广应用。
一种太阳能电池晶体硅片扩散方法

[发明专利]一种流域外源磷负荷测算方法-CN201710349532.X在审
发明人：袁增伟;潘笑;张优;刘雪薇;庄裕杰 -专利权人：南京大学
申请日： 2017-05-17 - 公布日： 2017-09-01 - 主分类号： G06F19/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种流域外源磷负荷测算方法，涉及污染负荷测算领域，该流域外源磷负荷测算方法包括步骤一，将流域内污染源分为三类；步骤二，分别建立与三类水污染源一一对应的磷负荷核算模型；步骤三，采集核算模型所需数据；步骤四，根据步骤二建立的磷负荷核算模型和步骤三采集的数据，分别计算出三类水污染源磷负荷排放量，将三类水污染源磷负荷排放量求和，即为流域污染源磷负荷排放量；步骤五，流域入河外源磷负荷测算。与现有技术相比，本发明提供的流域外源磷负荷测算方法，根据污染源种类的不同，将区域内的污染源分为了三类，避免了核算过程中的重复计算，为流域外源磷负荷测算提供清晰明确的方法和步骤。
一种流域外源磷负荷测算方法

[实用新型]一种半导体磷化物注入合成系统-CN202023142510.2有效
发明人：孙聂枫;王书杰;刘惠生;孙同年 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： B01J4/00 文献下载
摘要：一种半导体磷化物注入合成系统，属于半导体磷化物的制备技术领域，包括炉体、设置在炉体上方的屏蔽承载箱、设置在屏蔽承载箱内的磷源承载器、设置在磷源承载器下方的注入管以及配套设置在炉体内底部的坩埚，所述磷源承载器包括磷源承载器主体和磷源承载器上盖、设置在磷源承载器主体内底部的发热体基座、设置在发热体基座上的发热体；在保温层和屏蔽承载箱内壁之间设置感应线圈。通过对磷源承载器结构本身进行改进，可提高合成系统受热均匀，提高的稳定性，可使得整个合成系统进行定量合成，降低了磷源承载器爆炸的危险。
一种半导体磷化注入合成系统

[发明专利]磷酸锰锂二次结构及其制备方法-CN201811061826.3在审
发明人：刘少军;刘小明;段婉璐 -专利权人：江苏合志新能源材料技术有限公司
申请日： 2018-09-12 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： C01B25/45 文献下载
摘要：本发明公开了一种磷酸锰锂二次结构的制备方法，包括以下步骤：分别提供+2价锰源溶液、锂源溶液及磷源溶液，所述+2价锰源溶液、锂源溶液及磷源溶液分别为+2价锰源化合物、锂源化合物及磷源化合物在有机溶剂中溶解得到；将所述+2价锰源溶液、所述锂源溶液及所述磷源溶液混合形成混合溶液，所述+2价锰源化合物与所述磷源化合物中的+2价锰元素：磷的摩尔比为1：(2.5～4.5)；以及将所述混合溶液在溶剂热反应釜中加热进行溶剂热反应
二次结构磷酸锰锂磷源溶液锂源溶液锰源磷源化合物锰源化合物混合溶液制备溶剂热反应釜溶剂热反应锂源化合物有机溶剂锰元素摩尔比加热溶解

[发明专利]磷酸铁锂二次结构及其制备方法-CN201811062171.1在审
发明人：刘少军;刘小明;段婉璐 -专利权人：江苏合志新能源材料技术有限公司
申请日： 2018-09-12 - 公布日： 2019-01-11 - 主分类号： C01B25/45 文献下载
摘要：本发明公开了一种磷酸铁锂二次结构的制备方法，包括以下步骤：分别提供+2价铁源溶液、锂源溶液及磷源溶液，所述+2价铁源溶液、锂源溶液及磷源溶液分别为+2价铁源化合物、锂源化合物及磷源化合物在有机溶剂中溶解得到；将所述+2价铁源溶液、所述锂源溶液及所述磷源溶液混合形成混合溶液，所述+2价铁源化合物与所述磷源化合物中的+2价铁元素：磷的摩尔比为1：(2.5～4.5)；以及将所述混合溶液在溶剂热反应釜中加热进行溶剂热反应
二次结构磷酸铁锂磷源溶液铁源溶液锂源溶液磷源化合物铁源化合物混合溶液制备溶剂热反应釜溶剂热反应锂源化合物有机溶剂摩尔比铁元素加热溶解

[实用新型]一种扩散石英源瓶-CN201720584082.8有效
发明人：严健;晏文春;刘志强;费正洪;党继东 -专利权人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
申请日： 2017-05-24 - 公布日： 2018-03-16 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种扩散石英源瓶，属于太阳能技术领域，其包括储存磷源的源瓶本体，所述源瓶本体的顶部连接有进气管和出气管，所述源瓶本体内设置有液位检测机构；所述进气管伸入磷源液面的下方，所述出气管置于所述磷源液面的上方；所述源瓶内设有伸入所述磷源液面下方的气囊，所述气囊连接有供气机构；及控制器，所述控制器分别与所述供气机构和所述液位检测机构电连接。本实用新型通过液位检测机构将检测到的变化的液位信号传送给控制器，控制器控制供气机构为气囊供气使得源瓶本体的液面始终保持原始液位，这样在保证了气体携磷量不变的情况下，同时保证了磷源的有效利用，避免了磷源浪费的情况，增加了磷源扩散的稳定性。
一种扩散石英

[发明专利]一种提高大豆对磷源利用率的混合物及应用-CN201610971363.9在审
发明人：谷思玉;张会慧;李鑫;朱玉伟;张一鹤;于雪薇;杨艳;郭兴军;李悦;蔡越桐;何鑫 -专利权人：东北农业大学
申请日： 2016-10-31 - 公布日： 2017-03-22 - 主分类号： C05B21/00 文献下载
摘要：一种提高大豆对磷源利用率的混合物及应用方法属于农艺技术；所述混合物由含磷量相同的有机磷源植酸钙和无机磷源磷矿粉配伍混合组成，将所述混合物应用于提高种植大豆对难溶性磷源的利用率，使用方法是将混合物散施于土壤中；本发明提高了土壤中有效磷量以及大豆对磷源的利用率，保证和促进了大豆作物生长、发育和新陈代谢的生物过程。
一种提高大豆利用率混合物应用

[发明专利]锂过渡金属磷酸盐二次结构及其制备方法-CN201811062463.5在审
发明人：刘少军;刘小明;段婉璐 -专利权人：江苏合志新能源材料技术有限公司
申请日： 2018-09-12 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： C01B25/45 文献下载
摘要：本发明公开了一种锂过渡金属磷酸盐二次结构的制备方法，包括以下步骤：分别提供+2价过渡金属源溶液、锂源溶液及磷源溶液，所述+2价过渡金属源溶液、锂源溶液及磷源溶液分别为+2价过渡金属源化合物、锂源化合物及磷源化合物在有机溶剂中溶解得到；将所述+2价过渡金属源溶液、所述锂源溶液及所述磷源溶液混合形成混合溶液，所述+2价过渡金属源化合物与所述磷源化合物中的+2价过渡金属元素：磷的摩尔比为1：(2.5～4.5)；以及将所述混合溶液在溶剂热反应釜中加热进行溶剂热反应
过渡金属源锂过渡金属磷酸盐二次结构磷源溶液锂源溶液磷源化合物混合溶液制备过渡金属元素溶剂热反应釜溶剂热反应锂源化合物有机溶剂摩尔比加热溶解

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