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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种新型单晶炉-CN201621055949.2有效
发明人：王永辉 -专利权人：保定爱廸新能源股份有限公司;英利能源（中国）有限公司
申请日： 2016-09-15 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种新型单晶炉，包括单晶炉体和石墨坩埚，所述单晶炉体由主炉室和设置在主炉室上部的副炉室组成，主炉室的内腔中的固定设置有加热装置和保温层，所述副炉室的内腔与主炉室的内腔相连通，所述石墨坩埚的数量为三个，三个石墨坩埚均匀固定设置在主炉室的内腔的上部空间中，所述加热装置环绕三个石墨坩埚的外围设置，所述保温层环绕加热装置的外围设置，所述副炉室的数量为三个，三个副炉室分别对应设置在三个石墨坩埚的上方，三个副炉室的上端均设置有提拉机构，所述提拉机构均连接有位于副炉室内的提拉绳，所述提拉绳的下端伸入到主炉室内的石墨坩埚的上部。该单晶炉结构简单、生产效率高、能源消极小。
一种新型单晶炉

[发明专利]一种硅单晶提拉炉-CN201710138801.8在审
发明人：惠梦君;徐向众 -专利权人：无锡市蓝德光电科技有限公司
申请日： 2017-03-09 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅单晶提拉炉，其包括坩埚、加热器和旋转支撑组件，所述坩埚内设置有硅熔体，所述坩埚配套设置有用于对其加热的加热器，所述旋转支撑组件连接于所述坩埚上为坩埚提供支撑和旋转驱动，所述坩埚的旋转方向与所述硅单晶棒的旋转方向相反上述硅单晶提拉炉于坩埚底部中心设置一个冷点，与硅熔体中心处的反向对流进行热交换，以给固液界面降温，从而加快结晶速度，增加晶棒拉速，使提拉炉等径平均拉速可以达到每分钟2毫米，工艺时间缩短一半，总生产周期缩短
一种硅单晶提拉炉

[发明专利]一种用于制造单晶硅棒的拉晶炉、方法及单晶硅棒-CN202111165968.6有效
发明人：张婉婉;文英熙 -专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： C30B15/04 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种用于制造单晶硅棒的拉晶炉、方法及单晶硅棒，所述拉晶炉包括：提拉机构，所述提拉机构构造成利用掺氮硅熔体通过直拉法拉制单晶硅棒；第一热处理器，所述第一热处理器用于在使所述单晶硅棒中的BMD消融的第一热处理温度下对所述单晶硅棒进行热处理；设置在所述第一热处理器上方的第二热处理器，所述第二热处理器用于在促使所述单晶硅棒中形成BMD的第二热处理温度下对所述单晶硅棒进行热处理；其中，所述提拉机构还构造成使所述单晶硅棒沿着拉晶方向移动而处于尾部节段被所述第一热处理器并且头部节段被所述第二热处理器热处理的位置处
一种用于制造单晶硅拉晶炉方法

[发明专利]一种大尺寸紫外级氟化钙单晶的生长方法及装置-CN201110055752.4无效
发明人：柳祝平;黄小卫 -专利权人：元亮科技有限公司
申请日： 2011-03-09 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： C30B29/12 文献下载
摘要：一种大尺寸紫外级氟化钙单晶的生长方法及其装置，将提拉法(CZ)、坩埚下降法、泡生法和温梯法(TGT)各优点结合在一起，采用顶部籽晶中心可调提拉结构、双加热纯金属发热体、双控温加热系统，创造一个可动态调节温度梯度和温场中心的特殊高温真空晶体炉，通过装炉、抽高真空、升温化料、洗籽晶、提拉法下种、提拉法“缩径工艺”、提拉法“放肩工艺”、泡生法“等径工艺”、TGT法等径生长(控径技术为CZ称重)、CZ法收尾&脱坩埚、退火，生长出大尺寸高品质紫外级氟化钙单晶
一种尺寸紫外氟化钙生长方法装置

[发明专利]硅熔体连续加注的直拉硅单晶生长炉及其方法-CN201110407848.2无效
发明人：曾泽斌 -专利权人：曾泽斌
申请日： 2011-12-09 - 公布日： 2012-04-18 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅熔体连续加注的直拉硅单晶生长炉及其方法。由提拉头、副炉室、隔离阀、炉体、上部保温罩、加热器、坩埚升降旋转机构、石墨坩埚、坩埚、钢丝绳、夹头等组成单晶提拉部分，由小炉筒、加料仓，隔离阀、加料和称重装置、连续熔化管，隔热体、加热器、熔体温度稳定管等构成熔体连续加注部分，实现多晶硅的连续熔化和硅单晶的连续生长。本发明能将相邻两次打开单晶炉的间隔时间延长到30天以上，能有效降低坩埚的尺寸、降低直拉硅单晶生长方法的能耗，提高了生产效率，也能有效降低直拉硅单晶生长方法的氧含量。
硅熔体连续加注直拉硅单晶生长及其方法

[发明专利]单晶硅拉晶控制方法及装置、单晶硅拉晶炉-CN202210749785.7在审
发明人：毛勤虎 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种单晶硅拉晶控制方法及装置、单晶硅拉晶炉，属于半导体技术领域。单晶硅拉晶控制装置包括：电源模块，电源模块的一端与坩埚轴连接，另一端与籽晶提拉结构连接，用于提供电信号以在籽晶提拉结构固定的晶体与石英坩埚内的硅溶液接触时，在坩埚轴、石英坩埚、石墨坩埚、硅溶液、晶体和籽晶提拉结构之间形成电流回路；测量模块，用于实时测量电流回路中的实际电流值；控制模块，用于根据晶体尾部的目标直径确定目标电流值，将实际电流值与目标电流值比较，根据比较结果控制籽晶提拉结构的晶体提拉速度和/或加热器的功率。本发明能够对单晶硅尾部的直径进行控制。
单晶硅控制方法装置拉晶炉

[发明专利]一种单晶棒的生产工艺及设备-CN202211541972.2在审
发明人：张向东;章斌;王林 -专利权人：衢州晶哲电子材料有限公司
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： C30B27/02 文献下载
摘要：本发明属于技术领域，尤其涉及一种单晶棒的生产工艺及设备，单晶炉包括第一炉室、第二炉室和隔离组件，第一炉室用于将硅料融化成硅液，第一炉室上设置有第一炉口；第二炉室，第二炉室包括工作位和卸料位，第二炉室通过卸料机构在工作位和卸料位之间切换，第二炉室上设置有第二炉口；隔离组件隔离组件具有隔热结构；籽晶提拉旋转机构，籽晶提拉旋转机构设置在第二炉室上方，籽晶提拉旋转机构包括籽晶夹具；单晶炉上还设置有引导机构，引导机构用于引导第二炉室复位至工作位本发明通过引导机构使第二炉室在工作位和卸料位切换时平稳且快速的对接或分离，也能降低引导机构零部件之间的磨损，节约成本，节省加工时间，提高工作效率。
一种单晶棒生产工艺设备

[实用新型]一种硅单晶提拉炉-CN201720225940.X有效
发明人：惠梦君;徐向众 -专利权人：无锡市蓝德光电科技有限公司
申请日： 2017-03-09 - 公布日： 2017-11-07 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅单晶提拉炉，其包括坩埚、加热器和旋转支撑组件，所述坩埚内设置有硅熔体，所述坩埚配套设置有用于对其加热的加热器，所述旋转支撑组件连接于所述坩埚上为坩埚提供支撑和旋转驱动，所述坩埚的旋转方向与所述硅单晶棒的旋转方向相反上述硅单晶提拉炉于坩埚底部中心设置一个冷点，与硅熔体中心处的反向对流进行热交换，以给固液界面降温，从而加快结晶速度，增加晶棒拉速，使提拉炉等径平均拉速可以达到每分钟2毫米，工艺时间缩短一半，总生产周期缩短
一种硅单晶提拉炉

[发明专利]单晶提拉方法和单晶提拉装置-CN202080077251.3在审
发明人：成松真吾 -专利权人：环球晶圆日本股份有限公司
申请日： 2020-10-20 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： C30B27/02 文献下载
摘要：本发明提供单晶提拉方法和单晶提拉装置，所述单晶提拉方法是在通过直拉法从硅熔融液中提拉硅单晶时，在肩部形成后、且在产品部前半形成中，向硅熔融液中高效地添加掺杂剂而不会产生有位错化，可得到低电阻率的单晶。所述方法具备以下工序：形成惰性气体流(G)的工序，该惰性气体流在配置成包围在炉内培育的硅单晶(C)的隔热板(7)的内侧从上方朝向硅熔液面(M1)流动，同时沿着上述硅熔液面放射状地扩展，向上述坩埚外排气；在上述炉内使掺杂剂变成气态的工序；将已变成气态的掺杂剂排放到上述隔热板的内侧的工序；以及使上述已变成气态的掺杂剂搭乘上述惰性气体流而流动的工序。
单晶提拉方法装置

[发明专利]单晶提拉装置及单晶提拉方法-CN202080033333.8在审
发明人：高野清隆;矢岛涉;菅原孝世;鎌田洋之;太田友彦 -专利权人：信越半导体株式会社
申请日： 2020-03-19 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明是一种单晶提拉装置，具备：提拉炉，其配置有加热器和坩埚并具有中心轴；以及磁场产生装置，其具有超导线圈，磁场产生装置具有四个超导线圈，在由包含X轴和提拉炉的中心轴的剖面划分的两个区域的每一个中，各两个超导线圈配置为相对于剖面线对称由此，提供一种在单晶提拉装置的解体·安装时不需要使磁场产生装置移动，能够降低培育的单晶中的氧浓度，并且能够抑制培育的单晶中的生长条纹的单晶提拉装置。
单晶提拉装置方法

[发明专利]调节机构及单晶炉-CN202211308148.2在审
发明人：曹建伟;朱亮;傅林坚;叶钢飞;阮文星;张小东 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种调节机构及单晶炉，调节机构用于单晶炉，单晶炉包括坩埚及沿竖直方向延伸的籽晶轴，调节机构包括第一架体、第二架体及提拉装置；第一架体相对于坩埚固定，第二架体沿水平方向可活动地设置于第一架体，提拉装置设置于第二架体，提拉装置用于沿竖直方向升降籽晶轴；其中，第二架体相对于第一架体活动时，提拉装置能够带动籽晶轴相对于坩埚沿水平方向活动。当第二架体相对于第一架体在水平方向上活动时，第二架体能够带动提拉装置及籽晶轴相对于第一架体及坩埚在水平方向上活动，以使得籽晶轴的轴线相对于坩埚的轴线在水平方向上发生偏移，用户能够根据需要选择籽晶轴与坩埚之间合适的位置来验证或提升长晶效果
调节机构单晶炉

[实用新型]一种单晶硅炉炉盖-CN201820405541.6有效
发明人：罗乾;陈健;陈立民;韩永龙;文淑梅 -专利权人：阳光能源（青海）有限公司
申请日： 2018-03-26 - 公布日： 2018-11-20 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公布了一种单晶硅炉炉盖，包括炉盖、密封炉盖的下炉体、设置在炉盖上的配电箱以及设置在炉盖上的提拉机构，提拉机构上设置有提拉头，提拉头伸入炉盖内；所述的炉盖由内壳和外壳构成；外壳上设置有搅拌电机和水管接头提供一种单晶硅炉炉盖，解决现有炉盖冷却效率低、容易炸炉的问题，该炉盖具有冷却效率高、结晶后的晶体成品率高、节约冷却水、防止炉盖气蚀的优点。
炉盖内壳隔板单晶硅炉搅拌电机冷却效率提拉机构旋转叶轮冷却水旋转轴容腔伸入提拉本实用新型循环出液口密封炉盖水管接头相对设置循环通道成品率配电箱下炉体上端气蚀下端炸炉冷却节约

[发明专利]一种单晶炉液体连续加料装置-CN202111300662.7在审
发明人：张忠涛;曹玉宝;尹嘉琦;李万朋;王建波 -专利权人：连城凯克斯科技有限公司
申请日： 2021-11-04 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： C30B15/12 文献下载
摘要：本发明属于单晶硅制备技术领域，具体的说是一种单晶炉液体连续加料装置，包括拉晶炉、熔料炉、拉晶坩埚和熔料坩埚；所述熔料坩埚外侧安装有加热器；所述熔料炉顶部安装有提渣装置；所述拉晶炉与熔料炉之间设有支撑管；所述支撑管内部安装有上料管；所述拉晶炉与熔料炉之间连通有气压平衡管路，气压平衡管路上安装有控制阀；将硅料送入熔料坩埚中，加热器将硅料熔化，关闭控制阀，给熔料炉内部加压，利用压差效应，将熔料坩埚中的熔料通过上料管导入拉晶坩埚中，完成一次上料，进而打开控制阀，调节压差，保护设备，再向熔料坩埚中投入硅料，拉晶和熔料同时进行，无需再在拉晶炉内熔料，大量节省时间，更方便提渣，提高单晶炉工作效率。
一种单晶炉液体连续加料装置

[发明专利]一种带有水冷套的热屏组件及单晶提拉炉热场结构-CN201710357457.1在审
发明人：邓先亮 -专利权人：上海新昇半导体科技有限公司
申请日： 2017-05-19 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本发明提供一种带有水冷套的热屏组件及单晶提拉炉热场结构，所述带有水冷套的热屏组件包括热屏，及位于所述热屏内壁表面的水冷套。通过本发明所述的带有水冷套的热屏组件及单晶提拉炉热场结构，解决了采用现有技术进行大面积高温镀层时加工难度大、成本高的问题。
热屏水冷套单晶提拉炉热场结构内壁表面组件包括镀层加工

[实用新型]一种单晶炉提拉头的吊装工具-CN201922280550.4有效
发明人：杨延生;韩永龙;宋生宏;高玉顺 -专利权人：阳光能源（青海）有限公司
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： B66C1/22 文献下载
摘要：本实用新型提供一种单晶炉提拉头的吊装工具。所述单晶炉提拉头的吊装工具包括：连接块，所述连接块的一侧开设有夹紧槽，所述连接块的底部开设有螺纹孔，所述螺纹孔的顶部与所述夹紧槽的内部连通；螺钉，所述螺钉螺纹连接于所述连接块的底部，所述螺钉的底端设置有螺母套本实用新型提供的单晶炉提拉头的吊装工具，不仅安装简单，操作方便和容易调节，而且吊装比较平衡，容易安装，位置可以自由调节，不损坏电器件。
一种单晶炉提拉头吊装工具

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