专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]异型加热器及单晶热场结构-CN201610725182.8有效
  • 邓先亮 - 上海新昇半导体科技有限公司
  • 2016-08-25 - 2020-11-27 - C30B15/14
  • 本发明提供一种异型加热器及单晶热场结构,所述异型加热器适用于为单晶热场结构中的坩埚进行加热,所述异型加热器包括加热器主体,所述加热器主体包括第一部分及位于所述第一部分下方且与所述第一部分相连接的第二部分本发明的异型加热器根据实际温度分布的需要将加热器主体不同位置的厚度设置为不同,可以有效降低加热器材料的损耗;通过设置延伸至坩埚底部的凸部,使用凸部与具有不同厚度的加热器主体组合成一个整体进行加热,可以精确控制单晶热场结构中温度分布
  • 异型加热器单晶提拉炉热场结构
  • [实用新型]一种单晶旋转驱动装置-CN201921222989.5有效
  • 马立强;张世平;闫志祥 - 焦作晶锐光电有限公司
  • 2019-07-31 - 2020-06-09 - C30B15/30
  • 本实用新型公开了一种单晶旋转驱动装置,包括安装板,所述安装板上端固定连接有驱动箱,所述安装板中部竖直贯穿设有转筒,且转筒通过固定轴承与安装板转动连接,所述转筒内插设有拉杆,所述拉杆的下端固定连接有连接体,所述安装板上端面设有用于驱动转筒转动的旋转机构,所述驱动箱的内顶部固定安装有第二电机,所述第二电机输出轴末端固定连接有卷盘,所述卷盘上连接有钢丝绳,所述钢丝绳的自由端固定连接有横杆,所述拉杆的上端贯穿横杆并与其转动连接本实用新型有效保证单晶旋转的平稳,保证成品生产质量。
  • 一种单晶炉提拉旋转驱动装置
  • [发明专利]单晶制造系统及单晶制造方法-CN202080087775.0在审
  • 西岗研一;高梨启一 - 胜高股份有限公司
  • 2020-10-30 - 2022-07-15 - C30B15/22
  • 本发明的课题在于提供一种能够防止校正量的计算错误及设定错误且能够在下一批次反映适当的校正量的单晶制造系统及单晶制造方法。单晶制造系统(1)具备:单晶装置(10),在利用CZ法进行的单晶工序中求出单晶的直径测量值,使用直径校正系数来校正直径测量值,由此,求出单晶的第1直径,根据第1直径控制单晶的直径;直径测量装置(50),在室温下测量单晶装置(10)单晶的直径,求出单晶的第2直径;及数据库服务器(60),从单晶装置(10)及直径测量装置(50)分别获取第1直径及第2直径并管理。
  • 制造系统方法
  • [发明专利]单晶的结构-CN200910030894.8无效
  • 潘燕萍;潘国强 - 潘燕萍;潘国强
  • 2009-04-20 - 2009-10-07 - C30B15/00
  • 本发明涉及利用多晶硅拉出单晶硅的一种装置,具体是一种单晶的结构。该结构上炉体、盖、翻板箱、副内均设置有流通冷却液的夹层,底板上设置有加热装置和支撑装置,加热装置和支撑装置穿入炉体,炉体内设置有保温层和盛放多晶硅材料的容器,该保温层设置在炉体与加热装置之间,容器设置在支撑装置端部,炉体顶端设置有氩气的导流装置,翻板箱内设置有翻板闸门装置,副炉顶部设置有机构,底板底部与翻板箱侧壁均设置有真空抽口,炉体、盖、翻板箱、副炉上均设置有镁棒接口。本发明的有益效果是提高生产效率,降低生产成本,延长了单晶的使用寿命。
  • 单晶炉结构
  • [实用新型]单晶装置-CN200920039691.0无效
  • 潘燕萍;潘国强 - 潘燕萍;潘国强
  • 2009-04-20 - 2010-05-05 - C30B15/00
  • 本实用新型涉及利用多晶硅拉出单晶硅的一种装置,具体是一种单晶装置。该结构上炉体、盖、翻板箱、副内均设置有流通冷却液的夹层,底板上设置有加热装置和支撑装置,加热装置和支撑装置穿入炉体,炉体内设置有保温层和盛放多晶硅材料的容器,该保温层设置在炉体与加热装置之间,容器设置在支撑装置端部,炉体顶端设置有氩气的导流装置,翻板箱内设置有翻板闸门装置,副炉顶部设置有机构,底板底部与翻板箱侧壁均设置有真空抽口,炉体、盖、翻板箱、副炉上均设置有镁棒接口。本实用新型的有益效果是提高生产效率,降低生产成本,延长了单晶的使用寿命。
  • 单晶炉装置
  • [发明专利]人工晶体生长用晶体旋转机构-CN200610041306.7无效
  • 冯金生;李留臣 - 常州华盛天龙机械有限公司
  • 2006-08-14 - 2008-02-20 - C30B35/00
  • 本发明涉及一种人工晶体生长用晶体旋转机构,特别涉及半导体硅单晶生长和锗单晶生长用的晶体旋转机构;包括担负信号传输的电刷环安装在支撑轴承的上部,定心套安装在旋转轴的上部,这样使得旋转轴的旋出部分较长,旋转平稳性差;另外,定心套安装在旋转轴的上部安装更换十分不便;将卷扬提升机构安装在本发明中空心旋转轴的上端,钢丝绳软轴通过空心旋转轴的中心孔,穿过安装在旋转轴下部的定心套的中心孔生长人工晶体;提高人工晶体生长中旋转运动的稳定性、可靠性,并方便安装和维修,可广泛用于各类人工晶体生长设备中的晶体生长运动。
  • 人工晶体生长晶体旋转机构
  • [发明专利]人工晶体生长用晶体旋转机构-CN200610040115.9无效
  • 冯金生;李留臣 - 江苏华盛精细陶瓷科技有限公司
  • 2006-05-08 - 2007-11-14 - C30B15/30
  • 本发明涉及一种人工晶体生长用晶体旋转机构,特别涉及半导体硅单晶生长和锗单晶生长用的晶体旋转机构;包括担负信号传输的电刷环安装在支撑轴承的上部,定心套安装在旋转轴的上部,这样使得旋转轴的旋出部分较长,旋转平稳性差;另外,定心套安装在旋转轴的上部安装更换十分不便;将卷扬提升机构安装在本发明中空心旋转轴的上端,钢丝绳软轴通过空心旋转轴的中心孔,穿过安装在旋转轴下部的定心套的中心孔生长人工晶体;提高人工晶体生长中旋转运动的稳定性、可靠性,并方便安装和维修,可广泛用于各类人工晶体生长设备中的晶体生长运动。
  • 人工晶体生长晶体旋转机构

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