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[实用新型]一种晶体生长炉提拉头软轴稳定定位装置-CN201320699178.0有效
发明人：蒋国庆 -专利权人：江苏华盛天龙光电设备股份有限公司
申请日： 2013-11-06 - 公布日： 2014-04-09 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种晶体生长炉提拉头软轴稳定定位装置，定位装置包括卡左定位块和右定位块，左弧形凹槽和右弧形凹槽相互拼合成用于穿置软轴的中心通孔，左槽口内穿置有左销轴，左销轴上套接有左导向轮，左导向轮上环形开设有左导向槽，左导向轮的右侧端面穿出左弧形凹槽的内侧面，右槽口内穿置有右销轴，右销轴上套接有右导向轮，右导向轮上环形开设有右导向槽，右导向轮的左侧端面穿出右弧形凹槽的内侧面，软轴穿过中心通孔并且分别与左导向轮和右导向轮端面相切所述的一种晶体生长炉提拉头软轴稳定定位装置，采用此种设计的定位装置，能够使提拉头转速提高到每分钟25转，满足N型单晶，电子级单晶要求，稳定性能好。
一种晶体生长炉提拉头软轴稳定定位装置

[发明专利]一种单晶炉二次加料方法-CN201210574829.3无效
发明人：李留臣;冯金生 -专利权人：江苏华盛天龙光电设备股份有限公司
申请日： 2012-12-26 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种单晶炉二次加料方法，当完成第一根硅单晶棒生长后，在主炉室中的坩埚内剩余一部分多晶硅熔液，将第一根硅单晶棒提拉至副炉室中后，关闭隔离阀，通过提升机构将副炉室提升后旋转开，取出第一根硅单晶棒，而后通过机械抓手将棒状多晶硅原料吊挂在钢丝软轴上，再将副炉室旋转安放至主炉室顶部，打开隔离阀，通过籽晶升降机构下放钢丝软轴，钢丝软轴下端的机械抓手将棒状多晶硅原料缓慢地送入坩埚中，启动加热系统使棒状多晶硅原料熔化，顺利地将多晶硅原料加入坩埚中，实现二次加料，以满足第二根硅单晶棒的生长。
一种单晶炉二次加料方法

[实用新型]软轴单晶硅炉-CN200620117811.0无效
发明人：张志新;王军;安桂正 -专利权人：北京东方科运晶体技术有限公司
申请日： 2006-05-29 - 公布日： 2007-06-20 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本实用新型属于一种软轴单晶硅炉，采用硅籽晶提升结构的旋转和提拉为软轴，软轴为钢丝绳，穿过箱体的传动轴内的花键轴上设有绕丝轮，绕丝轮和轴接在箱体内的压套轮相交，与两轮相交点对应箱体的压盖上设有带阻尼套的进线口，钢丝绳一端接在绕丝轮上，另一端穿过带阻尼套的进线口连接位于主炉室内的重锤，电机通过减速箱带动传动轴转动。本实用新型能用简单的结构实现旋转提拉稳定性好，降低设备高度，达到理想的使用效果。
单晶硅

[实用新型]新型单晶炉热屏升降装置-CN201220151517.7有效
发明人：吴学军;周凯平 -专利权人：宁夏日晶新能源装备股份有限公司
申请日： 2012-04-12 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：一种新型单晶炉热屏升降装置，新型单晶炉热屏升降装置的提拉装置的转轴、压片、滑轮设置在底座、端盖与压盖相配合组成收容空间内，磁流体设置在端盖的侧壁上且与端盖连通，转轴一端从磁流体伸出后与联轴器-B连接，另一端通过设置在压盖上的轴承装入压盖两个压轮、挡条相互配合安装在底座上，钨丝绳装在滑轮上，用压片压紧，钨丝绳从两个压轮间穿过，挡条固定在底座上，挡住压轮的另一端，保证钨丝绳不脱离滑轮的槽；钨丝绳另一端连接挂钩；联轴器-B的另一端与软轴连接，如此对单晶炉的导流筒进行提升、下降操作时，可以保证提拉装置稳定的进行升降操作，保证在软轴变形情况发生时不降低传动效率。
新型单晶炉热屏升降装置

[实用新型]一种单晶炉导流筒及提升装置-CN202122007322.7有效
发明人：史慧敏;贾海洋;周宏邦;张强;王淼;王立刚;娄中士 -专利权人：内蒙古中环领先半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2021-08-25 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种单晶炉导流筒及提升装置，包括导流筒和设置于导流筒上方的炉盖；所述导流筒用于单晶炉热场的保温隔热，所述炉盖用于阻隔热气的散出，以及还包括：软轴和设置于所述软轴上端的提升机构，所述提升机构用于牵拉所述软轴，所述软轴用于提拉导流筒，以及所述导流筒的上表面设有提升盖板，所述提升盖板用于连接所述软轴。本实用新型的有益效果是：使用导流筒提升软轴代替传统的导流筒提升杆，不再需要对导流筒提升盖板打孔，也无需在保温盖上开设定位孔，避免了提升过程中位置不对准导致的导流筒定位错误，同时也避免了导流筒提升杆限重后对热场件的挤压，防止热场件损坏，软轴在导流筒限重后自然弯曲，不会对晶体生长造成影响。
一种单晶炉导流提升装置

[发明专利]拉晶炉软轴清理装置、拉晶炉及其软轴清理方法-CN202111622581.9有效
发明人：屈强 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟设备技术有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本公开提供一种拉晶炉软轴清理装置、拉晶炉及其软轴清理方法，所述拉晶炉软轴清理装置包括：设置于拉晶炉的副室内腔的支撑固定组件；及设置于所述副室内腔的吹扫组件，所述吹扫组件通过所述支撑固定组件固定于所述副室内腔；其中所述吹扫组件包括：吹风头，其吹风口朝向拉晶炉的籽晶提拉软轴的外表面，用于吹扫所述籽晶提拉软轴的外表面；送风管，与所述吹风头连通；及供风部件，与所述送风管连通。本公开实施例提供的拉晶炉软轴清理装置、拉晶炉及其软轴清理方法，可无需拆装软轴，对拉晶炉软轴进行自动吹扫，避免了软轴拆解产生的影响精度、寿命及二次污染的问题，且可提升生产效率。
拉晶炉软轴清理装置拉晶炉及其方法

[发明专利]一种周期单脉冲控制单晶炉软轴提拉系统非周期摆动方法-CN202011586245.9有效
发明人：任海鹏;周子璇;李洁 -专利权人：西安理工大学
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种周期单脉冲控制单晶炉软轴提拉系统非周期摆动方法，步骤包括：步骤1、构建晶体生长软轴提拉系统的动力学模型；步骤2、构建周期单脉冲控制器；外部唯一可以操作的变量是晶转速度Ω，选择脉冲控制能够减少对平均转速的影响本发明的方法，可以抑制软轴系统在晶体生长中出现的非周期运动，使摆动处于周期状态；无需状态反馈，控制器设置简单，控制间歇加入，对转速扰动小，控制器能效高。
一种周期脉冲控制单晶炉软轴提拉系统摆动方法

[实用新型]一种双提拉腔单晶炉结构-CN201220728065.4有效
发明人：李留臣;冯金生;程绪高;蒋国庆;陈小兔;李伯军;胡章宏 -专利权人：江苏华盛天龙光电设备股份有限公司
申请日： 2012-12-26 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双提拉腔单晶炉结构，包括在基座内设置有坩埚驱动机构，在基座上方设置有单晶炉室，单晶炉室内壁设置有加热系统，加热系统轴心设置有坩埚，坩埚向下与坩埚驱动机构连接，坩埚中用于生长单晶棒，在基座上的单晶炉室旁边设置有立柱，立柱上同时设置有主提拉腔及辅助提拉腔。本实用新型装置，两个提拉腔与单晶炉主体进行交替配合使用，一个提拉腔进行单晶生长使用时，另一个提拉腔作为加料使用；提高了单晶炉的生产效率，降低了能源消耗。
一种双提拉腔单晶炉结构

[发明专利]硬轴重载硅单晶提拉装置-CN202010970479.7在审
发明人：王学卫;李占贤;李方;曹玉宝;尹嘉琦 -专利权人：连城凯克斯科技有限公司
申请日： 2020-09-15 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种硬轴重载硅单晶提拉装置，包括支撑结构、单晶体承重外硬轴且其底部安装有单晶体卡爪、籽晶承重内硬轴且其底部安装有籽晶卡头、用于驱动所述单晶体承重外硬轴转动的旋转驱动装置、用于驱动所述单晶体承重外硬轴升降的外硬轴升降装置和用于驱动所述籽晶承重内硬轴升降的内硬轴升降装置本发明实现了内硬轴和外硬轴的同步旋转运动、外硬轴的单独升降运动和内硬轴的单独升降运动，具有较强的强度和刚度，能够承载500Kg以上重量的单晶体，弥补软轴提拉装置承载能力不足、避免软轴提拉装置中的软轴摆动和单摆共振现象
重载硅单晶提拉装置

[实用新型]硬轴重载硅单晶提拉装置-CN202022025601.1有效
发明人：王学卫;李占贤;李方;曹玉宝;尹嘉琦 -专利权人：连城凯克斯科技有限公司
申请日： 2020-09-15 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种硬轴重载硅单晶提拉装置，包括支撑结构、单晶体承重外硬轴且其底部安装有单晶体卡爪、籽晶承重内硬轴且其底部安装有籽晶卡头、用于驱动所述单晶体承重外硬轴转动的旋转驱动装置、用于驱动所述单晶体承重外硬轴升降的外硬轴升降装置和用于驱动所述籽晶承重内硬轴升降的内硬轴升降装置本实用新型实现了内硬轴和外硬轴的同步旋转运动、外硬轴的单独升降运动和内硬轴的单独升降运动，具有较强的强度和刚度，能够承载500Kg以上重量的单晶体，弥补软轴提拉装置承载能力不足、避免软轴提拉装置中的软轴摆动和单摆共振现象
重载硅单晶提拉装置

[实用新型]一种用于单晶晶体提升的软轴-CN201420725126.0有效
发明人：刘军波 -专利权人：宁晋晶兴电子材料有限公司
申请日： 2014-11-27 - 公布日： 2015-04-15 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于单晶晶体提升的软轴，包括多根钢丝拉绳，所述钢丝拉绳由七根同向并行旋钮而成的细钢丝绳组成，所述软轴由外向内依次设置有外层、内层和中芯，所述中芯为一根钢丝拉绳，所述内层包括为包裹在中芯外周的多根旋向与细钢丝绳旋向相反缠绕而成的钢丝拉绳本实用新型提拉强度大、耐高温、不易反弹、价格低廉、不旋转、伸长率低、不易老化、易焊接、易维修，适用于单晶炉提拉连接晶体时使用，节约了生产成本。
一种用于晶体提升

[发明专利]一种单晶炉提拉头质心动平衡机构-CN202011226826.1在审
发明人：龙连春;张昊;吴奇 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2020-11-06 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种单晶炉提拉头质心平衡机构，包括单晶炉提拉头，所述提拉头机构内设有缠绕钨丝绳用的移动滚轮，移动滚轮对面设有位置传感器；质心平衡机构安装在提拉头薄板侧面；质心平衡机构通过电控系统控制；直线导轨模组上设有位置传感器本发明在单晶炉提拉头上安装质心动平衡机构，对由移动滚轮运动造成的提拉头质心位置偏移进行实时调整，保持单晶炉提拉头质心位置不发生变化，从而提高单晶炉工作时钨丝绳的稳定性，提高生产的单晶的品质。
一种单晶炉提拉头质心动平衡机构

[发明专利]一种单晶提拉炉热场结构-CN201710356903.7在审
发明人：邓先亮 -专利权人：上海新昇半导体科技有限公司
申请日： 2017-05-19 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本发明提供一种单晶提拉炉热场结构，所述单晶提拉炉热场结构包括：炉体；位于所述炉体内的坩埚；位于所述坩埚侧面的第一加热器；位于所述坩埚底部的第二加热器；以及位于所述坩埚内熔体上方的第三加热器。通过本发明所述的单晶提拉炉热场结构，解决了现有单晶提拉炉热场结构制备的硅单晶存在质量不均匀的问题。
单晶提拉炉热场结构坩埚加热器第一加热器不均匀硅单晶内熔体炉体制备体内侧面

[实用新型]一种晶体生长用提拉组件和晶体生长用提拉装置-CN202220208890.5有效
发明人：朱杰;闫树良;武少杰;倪志刚 -专利权人：苏州轻装工力机电有限公司
申请日： 2022-01-25 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本申请涉及晶体生长设备领域，具体而言，涉及一种晶体生长用提拉组件和晶体生长用提拉装置。晶体生长用提拉组件包括软轴、副炉室以及进气管，软轴可自由地穿梭于副炉室内，副炉室用于容纳晶体棒；副炉室设置有进气孔，进气孔于副炉室内壁上开口的朝向为软轴的轴向；进气孔于副炉室内壁上的截面面积大于进气孔于副炉室外壁上的截面面积；进气管与副炉室通过进气孔连通。通过在副炉室内壁上设置开口朝向为软轴的轴向的进气孔，且进气孔于副炉室内壁上的截面面积大于进气孔于副炉室外壁上的截面面积；极大程度上降低进入副炉室后气体的湍流程度，降低气体对软轴的扰动，从而避免晶体棒在提拉过程中因晃动而影响品质
一种晶体生长用提拉组件装置

[发明专利]一种纯化硅的方法-CN200710196564.7无效
发明人：罗应明 -专利权人：晶湛（南昌）科技有限公司
申请日： 2007-11-29 - 公布日： 2008-08-13 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：一种纯化硅的方法，其特征在于，将硅原料加料入单晶炉中熔融后进行提拉来提纯得到太阳能级单晶棒，其中利用单晶炉抽真空设施隔离空气，在提拉晶体硅的过程中全程抽真空，和提拉晶体硅的速度是常规的单晶提拉速度的1.5本发明的优点是：充分利用传统工艺设备单晶炉加以改造，就能达到大幅度降低能耗和提升产能；其工艺步骤少，操作简单，适用于任何型式的单晶炉。
一种纯化方法