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[发明专利]自动蚀刻减薄装置-CN201110081582.7有效
发明人：蔡良照;郑志智;何基强 -专利权人：信利半导体有限公司
申请日： 2011-03-31 - 公布日： 2011-06-29 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本发明公开一种自动蚀刻减薄装置，包括：减薄处理器，具有自动入料分配台、蚀刻机、自动出料台，所述蚀刻机具有至少一个减薄处理位，所述自动入料分配台将物料自动输送至设定的减薄处理位，所述减薄处理位对物料进行减薄处理，所述自动出料台将经过减薄处理的物料输送至出料位；检测台，支撑并输送经减薄处理器处理的物料；后处理器，包括入料运输台、处理机、出料运输台，对检测台输送来的物料进行清洗、喷淋、烘干处理。本发明的自动蚀刻减薄装置能够极大程度地减少操作人员直接操作，在蚀刻过程减少操作人员搬运的动作，降低操作人员的劳动强度。
自动蚀刻装置

[发明专利]一种玻璃减薄设备及使用方法-CN201910336677.5在审
发明人：韦建晶 -专利权人：合肥伟仕泰克电子材料有限公司
申请日： 2019-04-24 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本发明公开一种玻璃减薄设备及使用方法，包括蚀刻区用于对竖直容纳在玻璃加工治具中的多个玻璃进行减薄处理；冲洗区用于玻璃加工治具上的玻璃进行减薄前清洁和减薄后清洁；转换区用于待减薄处理的玻璃加工治具加载到冲洗区中，并将减薄处理后的玻璃加工治具从冲洗区卸载到外部；制动组件用于实现将玻璃加工治具从转换区经冲洗区向蚀刻区的减薄前移动，以及从蚀刻区经冲洗区向转换区的减薄后移动；冲洗区设置于转换区和蚀刻区之间；本发明中所述玻璃减薄生产线采用喷淋减薄的方式对竖直容纳在玻璃加工治具中的玻璃进行减薄处理，可实现单次多片玻璃减薄，同时避免浸泡式减薄法中反应产物粘附在玻璃上造成不良品的问题。
减薄玻璃加工冲洗区治具玻璃减薄处理蚀刻区转换区减薄设备竖直容纳制动组件清洁不良品浸泡式移动多片加载喷淋卸载粘附外部

[实用新型]一种玻璃减薄设备-CN201920571606.9有效
发明人：袁树明 -专利权人：合肥伟仕泰克电子材料有限公司
申请日： 2019-04-24 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种玻璃减薄设备，包括蚀刻区用于对竖直容纳在玻璃加工治具中的多个玻璃进行减薄处理；冲洗区用于玻璃加工治具上的玻璃进行减薄前清洁和减薄后清洁；转换区用于待减薄处理的玻璃加工治具加载到冲洗区中，并将减薄处理后的玻璃加工治具从冲洗区卸载到外部；制动组件用于实现将玻璃加工治具从转换区经冲洗区向蚀刻区的减薄前移动，以及从蚀刻区经冲洗区向转换区的减薄后移动；冲洗区设置于转换区和蚀刻区之间；本实用新型中所述玻璃减薄生产线采用喷淋减薄的方式对竖直容纳在玻璃加工治具中的玻璃进行减薄处理，可实现单次多片玻璃减薄，同时避免浸泡式减薄法中反应产物粘附在玻璃上造成不良品的问题。
减薄玻璃加工冲洗区治具玻璃减薄处理蚀刻区转换区本实用新型竖直容纳减薄设备制动组件清洁不良品浸泡式移动多片加载喷淋卸载粘附外部

[发明专利]一种晶圆片减薄方法、装置和卸片夹具-CN202011003935.7在审
发明人：王广阳;熊帅 -专利权人：武汉电信器件有限公司
申请日： 2020-09-22 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种晶圆片减薄方法、装置和卸片夹具，将多个待减薄晶圆片与基板进行键合处理，得到多个键合后晶圆片；对所述多个键合后晶圆片进行一次减薄处理，得到多个一次减薄后晶圆片；对所述多个一次减薄后晶圆片进行二次减薄处理，得到多个待解键合晶圆片；对所述多个待解键合晶圆片进行解键合处理，得到多个减薄后的晶圆片；对所述多个待解键合晶圆片进行解键合处理，得到多个减薄后的晶圆片。这样，在第一设备对晶圆片进行减薄后，再利用第二设备对晶圆片进行减薄，能够去除一次减薄过程中所造成的放射纹和损伤层，有效避免了后续进行更加复杂的加工处理，从而降低了晶圆片减薄的加工成本，同时提高了晶圆片减薄的加工效率
一种晶圆片减薄方法装置夹具

[发明专利]一种晶圆的减薄处理方法、装置、设备及介质-CN202310186917.4在审
发明人：陈为生 -专利权人：赛美特科技有限公司
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本申请提供了一种晶圆的减薄处理方法、装置、设备及介质，其中，该方法包括：获取待处理晶圆的厚度、与待处理晶圆对应的第一目标厚度值以及第一减薄处理补偿量；根据待处理晶圆的厚度、与待处理晶圆对应的第一目标厚度值以及第一减薄处理补偿量，生成第一机台文件；控制所述减薄机器根据所述第一机台文件对待处理晶圆进行减薄处理，得到目标晶圆；对目标晶圆的厚度进行测量，并根据目标晶圆的厚度和第一目标厚度值对第一减薄处理补偿量进行更新。本申请通过实时对待处理晶圆厚度的检测和第一减薄处理补偿量的更新，达到实时对补偿量进行更新，提升晶圆减薄的精确度的效果。
一种处理方法装置设备介质

[发明专利]一种玻璃减薄预处理液、玻璃减薄预处理及玻璃减薄的方法-CN202110924755.0在审
发明人：李章辉;王洁 -专利权人：重庆永信科技有限公司
申请日： 2021-08-12 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种玻璃减薄预处理液、玻璃减薄预处理及玻璃减薄的方法，所述玻璃减薄预处理液中包括质量分数为1～40％的金属氢氧化物溶液、质量分数为0.1～5％的硅酸盐溶液、水，经本发明所述的玻璃减薄预处理液预处理之后的玻璃，再经减薄处理后其表观良好，良率为86.0±2.0％，凹点、划伤等表面缺陷比例为12.0±2.0％，板厚CPK≥1.35，板厚差值≤7μm。
一种玻璃预处理方法

[发明专利]一种芯片厚度减薄的方法-CN202110436052.3在审
发明人：贺晓辉;李迈克;石磊;陈耿 -专利权人：重庆工程职业技术学院
申请日： 2021-04-22 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种芯片厚度减薄的方法，涉及半导体技术领域，提供一载板及一待处理芯片，载板上开设有尺寸大于所述待处理芯片的凹槽；将待处理芯片放入凹槽的中心位置，并使待处理芯片的正面与凹槽底面贴合；将石蜡熔化形成溶体，然后注入待处理芯片四周的凹槽中，冷却凝固；采用背面轨道式腐蚀机利用腐蚀溶液对所述待处理芯片的背面进行腐蚀，得到减薄芯片；然后用非极性溶剂将石蜡溶解，再用去离子水冲洗，将减薄芯片表面的水迹吹干即可。本发明减薄过程简单稳定，减薄后待处理芯片表面光滑平整，能够避免机械减薄对待处理芯片的冲击，使芯片减薄过程不会破碎现象，减薄打磨过程中不会产生硅粉末，能够提高芯片减薄加工效率和质量。
一种芯片厚度方法

[发明专利]一种玻璃减薄生产线及使用方法-CN201910336747.7在审
发明人：韦建晶 -专利权人：合肥伟仕泰克电子材料有限公司
申请日： 2019-04-24 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本发明公开一种玻璃减薄生产线及使用方法，包括转换区、冲洗区和蚀刻区，所述冲洗区和所述蚀刻区的两端均设置在所述转换区上，所述转换区上设置有进料端和出料端；竖直容纳在玻璃减薄治具中的多个玻璃通过所述进料端被加载到所述转换区中，在所述冲洗区中进行减薄前清洁并且在所述蚀刻区中经历减薄处理，经减薄处理后的玻璃可再次经所述转换区进入所述冲洗区以经历减薄后清洁并且通过所述转换区的所述出料端被卸载到外部；本发明中所述玻璃减薄生产线采用喷淋减薄的方式对竖直容纳在玻璃减薄治具中的玻璃进行减薄处理，可实现单次多片玻璃减薄，同时避免浸泡式减薄法中反应产物粘附在玻璃上造成不良品的问题。
减薄玻璃转换区冲洗区减薄处理蚀刻区出料端进料端竖直治具容纳清洁不良品浸泡式多片加载喷淋卸载粘附外部

[发明专利]一种服役后热部件粘接层的去除方法-CN202211408014.8在审
发明人：何磊;梁云飞;汪超 -专利权人：上海电气燃气轮机有限公司
申请日： 2022-11-10 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： C23F1/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种服役后热部件粘接层的去除方法，包括以下步骤：S1、使服役后的热部件的MCrAlY粘结层暴露出来；S2、确定热部件是否需要酸洗前防护处理；S3、在多个相同热部件中选取若干数量的热部件作为参考零件，对参考零件进行酸洗处理；S4、对酸洗后的参考零件进行热染处理，并且若热部件上具有遮蔽涂层时先去除遮蔽涂层；S5、确定MCrAlY粘结层残留区域，作为热部件的减薄区域；对参考零件上的减薄区域进行减薄处理，并且检测减薄情况，直到待减薄区域处的贫铝高铬层被去除，并确定减薄深度；S6、根据参考零件上的减薄区域和减薄深度，对相同热部件上进行减薄处理，将其上贫铝高铬层都去除掉；S7、对步骤S6中减薄处理后的热部件进行酸洗处理
一种服役部件粘接层去除方法

[发明专利]显示面板的减薄方法、嵌入式触控面板及其制备方法-CN201711306396.2有效
发明人：易伟华;张迅;张伯伦;周慧蓉 -专利权人：江西沃格光电股份有限公司
申请日： 2017-12-11 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：本发明公开了一种显示面板的减薄方法、嵌入式触控面板及其制备方法，该减薄方法针对整体贴合后的显示面板减薄，在第一溶液中鼓入气体对显示面板进行前处理，在第二溶液中鼓入气体对显示面板进行酸处理，以及在第三溶液中鼓入气体对显示面板进行薄化处理薄化处理为逐步进行的，每次薄化处理后，将显示面板再次进行酸处理，酸处理与薄化处理循环进行直至达到所需减薄的厚度。按上述显示面板的减薄方法减薄得到的显示面板平整度较高，边缘不容易凸起，制备得到的嵌入式触控面板灵敏度较高。
显示面板方法嵌入式及其制备

[发明专利]玻璃面板的减薄方法、减薄玻璃面板及显示装置-CN201711329361.0在审
发明人：易伟华;孙骏超;吴兴泽 -专利权人：江西沃格光电股份有限公司
申请日： 2017-12-13 - 公布日： 2018-05-15 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种玻璃面板的减薄方法、减薄玻璃面板及显示装置。该玻璃面板的减薄方法，包括如下步骤：清洗玻璃面板；用微蚀刻液对清洗后的玻璃面板进行微蚀刻处理；及用蚀刻液对微蚀刻后的玻璃面板进行蚀刻处理，得到减薄玻璃面板。上述减薄方法得到的减薄玻璃面板的表面凸点不良率、凹点不良率及划伤不良率较低，且整体表观良率较高，无需进行抛光处理。
玻璃面板方法显示装置

[发明专利]一种玻璃减薄工艺-CN202011324555.3在审
发明人：杨建文;陈振宇;朱思伟;黄伊震;吕君南;叶健新 -专利权人：伯恩光学（惠州）有限公司
申请日： 2020-11-23 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本发明公开了本发明的技术方案是：一种玻璃减薄工艺，包括第一步：适当减薄玻璃，依据玻璃自身的材料特性，使用相关玻璃减薄方法，将厚度为0.05mm‑2.0mm的玻璃减薄到厚度为0.030mm‑0.3mm；第二步：强化处理，使用相关玻璃强化工艺，将经过第一步处理后的玻璃进行强化处理；第三步：再次减薄玻璃，再次依据玻璃自身的材料特性，将经过第二步处理后的玻璃进行减薄；第四步：减薄至需要厚度，循环第二步和第三步，直到将玻璃厚度减薄至0.005mm‑0.100mm，最后一步停留在第二步强化处理或第三步再次减薄玻璃。本发明解决了现有玻璃在减薄过程中因刚性和强度下降所带来的一系列问题。
一种玻璃工艺

[发明专利]一种液晶显示屏减薄处理的方法-CN201811061009.8在审
发明人：肖亮灿 -专利权人：滁州盛诺电子科技有限公司
申请日： 2018-09-12 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种液晶显示屏减薄处理的方法，包括如下步骤：S1预处理、S2预处理液的配置、S3液晶显示屏处理、S4减薄液的配置、S5减薄处理、S6液晶显示屏后处理，本发明与常规液晶显示屏减薄处理的方法相比较，通过采用化学减薄技术对其进行处理，且减薄液的配置采用氢氟酸、氢氧化钠、盐酸、硝酸、乙二胺四乙酸二钾、碳酸钾缓冲剂、双氧水和纯水使得制备出的减薄液腐蚀速度加快，且减小对环境造成的污染。
液晶显示屏减薄处理减薄液配置缓冲剂双氧水乙二胺四乙酸二钾预处理后处理常规液晶化学减薄氢氧化钠预处理液氢氟酸碳酸钾硝酸减小制备显示屏盐酸腐蚀污染

[发明专利]基板减薄方法及显示面板减薄方法-CN201710112311.0在审
发明人：周永山;杜楠楠 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司
申请日： 2017-02-28 - 公布日： 2017-06-20 - 主分类号： G02F1/1333 文献下载
摘要：本发明提供一种基板减薄方法及显示面板减薄方法，所述基板减薄方法包括提供待减薄基板；将所述待减薄基板的待减薄面上的凹点进行保护处理；对所述待减薄基板的待减薄面进行减薄。能够解决现有技术中基板在减薄过程中表面凹点部分会形成更为严重的凹点不良损失的技术问题，提升良率。
基板减薄方法显示面板

[发明专利]一种避免液晶基板玻璃减薄工艺缺陷的方法及其酸液配置方法-CN201310314183.X无效
发明人：张兵;刘明;金林涛;岳伟 -专利权人：芜湖长信科技股份有限公司
申请日： 2013-07-24 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本发明揭示了一种避免液晶基板玻璃减薄工艺缺陷的方法，在液晶基板玻璃减薄工艺前依次进行前清洗、预处理和后清洗，所述的预处理是利用含有氢氟酸、盐酸、硝酸、硫酸、磷酸、活性剂、活性剂和水的酸液浸泡。本系统是在减薄之前增加一道预处理系统，以减小或消除此放大作用对产品品质的影响。简单地讲，就是采用特殊配比的前处理液先行填补减薄前产品表面的固有缺陷，然后再进行减薄，以减少HF酸减薄过程中放大效应的影响。弥补了现有减薄技术无法减小或修复减薄前玻璃表面不良的缺点。
一种避免液晶玻璃工艺缺陷方法及其配置

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