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[实用新型]一种青绿色可钢化单银低辐射膜玻璃-CN201820515903.7有效
发明人：张山山;李险峰;刘宇;罗雨潇;邱宏;沈晓晨 -专利权人：中建材光电装备（太仓）有限公司
申请日： 2018-04-12 - 公布日： 2018-12-04 - 主分类号： C03C17/36 文献下载
摘要：本实用新型公开一种青绿色可钢化单银低辐射膜玻璃，包括玻璃基底，玻璃基底顶面由下至上依次层叠有第一氮化硅层、第一镍铬层、银层、第二镍铬层、铬层与第二氮化硅层；第一氮化硅层的厚度为30nm、第一镍铬层的厚度为3nm、银层的厚度为8nm、第二镍铬层的厚度为3nm、铬层的厚度为3nm、第二氮化硅层的厚度为61nm；本实用新型合理搭配各膜层厚度，得到呈现青绿色可钢化单银低辐射膜玻璃，膜系结构合理，满足钢化要求；本实用新型只需采用常规靶材
氮化硅层镍铬层钢化低辐射膜玻璃本实用新型青绿色玻璃基铬层银层磁控溅射工艺工艺过程膜系结构依次层叠靶材顶面可控膜层制备搭配

[发明专利]一种电热合金镍铬丝材的制备方法及拉丝设备-CN202111520585.6在审
发明人：华鹏;华芳;蒋存晨;孙晓辉;姬娜 -专利权人：江苏新华合金有限公司
申请日： 2021-12-13 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： B21C1/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种电热合金镍铬丝材的制备方法及拉丝设备，包括以下步骤：S1、采用热轧工艺将分切的镍铬板材进行加热轧制，热轧加热温度为850‑1000℃，保温时间2‑3小时，轧制形变量为66‑86％；S2、采用氩弧焊将热轧后的镍铬板材进行连续焊接，利用探伤检测方法检测，将其收成盘条；S3、将盘条进行冷轧至合适的厚度，再进行退火处理；S4、对退火后的盘条分条至合适的宽度，利用拉丝设备进行冷拉，制成半成品的镍铬丝材；S5、对半成品的镍铬丝材进行退火处理；S6、对退火处理后半成品镍铬丝材，再次利用拉丝设备进行冷拉，制成所需规格的镍铬丝材成品；本发明利用拉丝设备对丝材进行拉丝，同时对丝材上的润滑油进行擦拭，提高整体擦除效率。
一种电热合金镍铬丝制备方法拉丝设备

[实用新型]一种旋转管靶材-CN202020905427.7有效
发明人：杨小岗 -专利权人：陕西欧凯利靶材股份有限公司
申请日： 2020-05-26 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型属于靶材技术领域，尤其为一种旋转管靶材，包括内衬管、标记杆和靶材本体，所述内衬管的端部设置有螺纹件，且内衬管与螺纹件之间为焊接连接，并且螺纹件的外侧连接有防护盖，所述防护盖的边侧设置有固定块，且固定块的内部设置有弹簧，所述弹簧的端部连接有卡杆，且卡杆的端部连接有卡槽，所述标记杆贯穿于固定块的内部，且固定块与标记杆之间为活动连接，所述内衬管的另一端开设有第一连接槽，且第一连接槽的内部设置有固定杆该旋转管靶材设置有内衬管，不使用时可安装防护盖对内衬管进行保护，在靶材与设备连接处采用不锈钢管通过螺纹方式与设备连接，降低了成本，设置密封圈能够保证加工时的密封性。
一种旋转管靶材

[发明专利]磁性靶材组件及其制备方法、溅射腔室-CN201611220102.X有效
发明人：杨玉杰;丁培军;赵晋荣 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2016-12-26 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁性靶材组件及其制备方法、溅射腔室。本发明公开的磁性靶材组件包括：背板，背板的厚度均匀；磁性靶材，磁性靶材固定于背板，且在磁性靶材的溅射面上设置有凸起的溅射损耗部，用于防止磁性靶材被溅射穿透，从而提高磁性靶材的利用率。本发明公开的溅射腔室包含本发明的磁性靶材组件。本发明还公开了一种制备上述磁性靶材组件的制备方法。本发明公开的磁性靶材组件设置了凸起的溅射损耗部，能够防止磁性靶材被溅射穿透，从而提高磁性靶材的利用率和使用寿命。
磁性组件及其制备方法溅射

[实用新型]一种靶材倒边机用的靶材治具-CN202121482891.0有效
发明人：孔伟华;孔磊;吴雪松;高延红 -专利权人：江苏迪纳科精细材料股份有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： B24B9/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种靶材倒边机用的靶材治具，涉及到靶材加工领域，包括主夹座以及两个分别连接于主夹座两侧的侧边副夹座，主夹座底部通过支柱固定连接于滑行底座上，滑行底座配合滑接于滑轨上。本实用新型通过对顶压螺杆进行扭转，由顶压螺杆上端所设的顶块对靶材加工件向上进行顶压，直至靶材加工件上端一角沿倒角包边所开设的倒角穿口穿出，接着再对调距丝杆转动，调节两个侧边副夹座相互靠近或者远离，直至两个侧边副夹座对靶材加工件的两侧进行夹合固定，对靶材加工件的固定方便快捷，定位准确，靶材加工件固定完毕后，控制滑行底座沿滑轨上进行滑移，结合磨具对靶材加工件沿倒角穿口穿出的一角进行磨平，达到精确倒角的效果。
一种靶材倒边机用靶材治具

[实用新型]一种靶材组件-CN202021279910.5有效
发明人：何建进;陈江伟;何凌男 -专利权人：苏州精美科光电材料有限公司
申请日： 2020-07-02 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种靶材组件，包括背板和靶材组，背板设有位于中部的凸起部和两侧的平整部，靶材组包括设于凸起部的第一子靶材和设于平整部上的第二子靶材；第一子靶材和第二子靶材的上表面保持平齐；背板的焊合表面设有低熔点的第一焊料层，靶材组的焊合表面从内到外依次设有等离子喷涂界面层和低熔点的第二焊料层，背板远离靶材的一面设置有承载板，导磁片设置在第二子靶材与承载板对应的位置。本实用新型通过设置导磁片以及具有凸起部和平整部的背板，从而使得第一子靶材与第二子靶材消耗速度的差距处于一定的范围内，从而延长矩形平面靶材使用寿命，降低生产成本，提高靶材的使用效率，并且具有较佳的接合附着能力
一种组件

[实用新型]一种靶材组件取放器-CN202222170010.2有效
发明人：陈强;童许樑 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2022-08-18 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： B25B27/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种靶材组件取放器，靶材组件包括背板、靶材本体以及安装于背板上的固定杆，取放器包括本体，本体的两个相对端分别设有夹持部，夹持部用于夹持住固定杆。本实用新型所设计的靶材组件取放器可用于PVD设备上对靶材组件的拆装，利用靶材组件取放器上的夹持部将固定杆夹持住，搬运靶材组件时，双手握住靶材组件取放器的本体进行发力，由于靶材组件取放器的本体远比固定杆的手持部面积大，更容易抓住且手部不易脱力，在实际使用时，一组靶材组件上可安装一对靶材组件取放器，两人各自握住一个靶材组件取放器向上抬起对靶材组件进行拆装，相比于现有技术中仅靠手握固定杆抬起更加稳定，避免了搬运过程中意外掉落造成靶材的损坏
一种组件取放器

[发明专利]成膜装置、使用该成膜装置的成膜物的制造方法以及冷却板-CN201780075888.7有效
发明人：藤井博文;铃木毅 -专利权人：株式会社神户制钢所
申请日： 2017-11-16 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：成膜装置(1)包括：具有与基材(W)相向的相向面的至少一个靶材(4)；分别将所述靶材(4)装拆自如地保持的多个靶材保持部(5)；冷却所述多个靶材保持部(5)的冷却部(6)；以及至少一个冷却板(7)。所述至少一个冷却板(7)具有：装拆自如地保持在靶材保持部(5)的被保持部(7d)；以及具有受热面(7e)的受热部(7b)，其中，该受热面(7e)在该被保持部(7d)被保持在所述靶材保持部(5)的状态下与基材所述被保持部(7d)进行从所述受热面(7e)向所述靶材保持部(5)的传热。各靶材保持部(5)择一地保持所述靶材(4)或所述冷却板(7)。
装置使用成膜物制造方法以及冷却

[发明专利]溅射靶材及其制造方法-CN201980026113.X有效
发明人：中村晃;岩重央;西圣也;长岛英人;铃木康司 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2019-05-16 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明的一个实施方式涉及的溅射靶材具有由金属材料构成的板状的靶材主体。所述靶材主体具有靶材部和基座部。所述靶材部包含溅射面。所述基座部包含位于所述溅射面的相反侧且硬度比所述溅射面高的冷却面、以及拉伸强度从所述冷却面向所述靶材部逐渐降低的梯度强度层。
溅射及其制造方法

[发明专利]一种靶材真空扩散焊接系统及方法-CN201711048458.4有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;廖培君 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： B23K20/02 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，尤其是涉及一种靶材真空扩散焊接系统及方法。该材真空扩散焊接系统至少包括：靶材、法兰和施力部件；所述靶材的外周面设置有凹槽部，所述法兰的侧边缘设置有翘起部，所述法兰装配于所述靶材上，且所述翘起部与所述凹槽部对应设置，所述施力部件用于向所述翘起部施加应力以使所述翘起部嵌合于所述凹槽部通过车床上挤压的方式将法兰挤入到靶材内，该挤压装配的方式可以解决形状特殊的靶材和法兰材料的焊接困难的技术问题。而且，在焊接时还可进一步在靶材内部放入一热膨胀系数较大的柱体部件进行真空热处理实现扩散焊接。
一种真空扩散焊接系统方法

[发明专利]磁控溅射靶材快换结构和方法-CN202211280686.5在审
发明人：刘志;孙家宝;孙一军;陈长鸿;谢石建;孙颖;王妹芳;刘艳华 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开一种磁控溅射靶材快换结构和方法。包括靶枪、靶材、卡环、波形簧片、屏蔽罩和异形簧片，靶枪的背板外壳内设置靶材，靶材端面应均匀压紧贴在靶枪内端面，以便靶材冷却，靶材内端面为水冷盘；屏蔽罩套在靶枪的背板外壳的端口内，屏蔽罩靠近靶枪的端部和靶材之间设有卡环和波形簧片，屏蔽罩端部经波形簧片和卡环压接到靶材上；在屏蔽罩和靶枪的背板外壳的端口之外周围设有异形簧片，异形簧片固定于靶枪上，异形簧片向屏蔽罩延伸并越过屏蔽罩后设置有凸耳，凸耳径向朝向屏蔽罩中心延伸，屏蔽罩远离靶枪的端部顶接到凸耳上本发明提出的靶材快换结构，可应用于磁控溅射设备靶材固定及类似结构需要紧固的位置，改进了设备使用过程中的弊端。
磁控溅射靶材快换结构方法

[实用新型]一种磁控溅射靶材快换结构-CN202222752612.9有效
发明人：刘志;孙家宝;孙一军;陈长鸿;谢石建;孙颖;王妹芳;刘艳华 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开一种磁控溅射靶材快换结构。包括靶枪、靶材、卡环、波形簧片、屏蔽罩和异形簧片，靶枪的背板外壳内设置靶材，靶材端面应均匀压紧贴在靶枪内端面，以便靶材冷却，靶材内端面为水冷盘；屏蔽罩套在靶枪的背板外壳的端口内，屏蔽罩靠近靶枪的端部和靶材之间设有卡环和波形簧片，屏蔽罩端部经波形簧片和卡环压接到靶材上；在屏蔽罩和靶枪的背板外壳的端口之外周围设有异形簧片，异形簧片固定于靶枪上，异形簧片向屏蔽罩延伸并越过屏蔽罩后设置有凸耳，凸耳径向朝向屏蔽罩中心延伸，屏蔽罩远离靶枪的端部顶接到凸耳上本实用新型提出的靶材快换结构，可应用于磁控溅射设备靶材固定及类似结构需要紧固的位置，改进了设备使用过程中的弊端。
一种磁控溅射靶材快换结构

[发明专利]多弧离子镀的复合结构靶及其制造方法-CN201910799307.5有效
发明人：宋家瓯 -专利权人：苏州希镝瑞新材料科技有限公司
申请日： 2019-08-28 - 公布日： 2021-03-19 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种多弧离子镀的复合结构靶及其制造方法，包括靶材主体和连接部分，所述靶材主体通过紧固件与连接部分固定连接。本发明提供了一种复合结构的多弧靶的设计和制造方法，将传统的一体化加工的靶材分为三个部分：靶材主体、连接部分以及紧固件。主体部分的靶材蒸发平面边缘仍采用与传统靶材采用挡边的结构，但平面内部采用坡度或阶梯的方法减少切削加工量，大大提高了靶材的利用率，对于直径100毫米、厚度为20毫米的靶材，采用这种结构可以使得靶材利用率提高10％以上；采用将靶材主体通过紧固件固定在连接部分的连接方法，可以提高靶材的装配效率，方便更换靶材主体，进一步提高靶材的利用率，同时方便废旧靶材的回收。
离子镀复合结构及其制造方法

[发明专利]一种用于磁控溅射的高纯镍靶材-CN200810010809.7无效
发明人：李洪锡 -专利权人：沈阳金纳新材料有限公司
申请日： 2008-03-31 - 公布日： 2009-10-07 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种用于磁控溅射的高纯镍靶材，在平面靶的溅射面或者背面表面带有均匀形状或者非均匀形状环形溅射环，溅射环典型的形状包括矩形、圆角矩形、八边矩形、双半圆矩形、六边矩形、椭圆形；沟槽位于靶材背后磁铁的正上方位置本发明的优点：本发明克服磁控溅射铁磁性靶材的磁屏蔽问题、侵蚀后磁场分布不均问题和横向侵蚀不均靶材利用率低的问题。克服有磁性纯镍靶材厚度限制；大大降低了纯镍靶材磁场随磁控溅射过程变化的问题，改善镀膜的均一性；均衡了溅射环的刻蚀深度，大大提高了纯镍靶材利用率。
一种用于磁控溅射高纯镍靶材

[发明专利]靶材组件及其形成方法-CN201310412137.3在审
发明人：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;吴剑波 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2013-09-11 - 公布日： 2015-03-18 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种靶材组件及其形成方法，其中靶材组件的形成方法包括：提供靶材和背板，在所述靶材背面具有凸部，在所述背板上表面具有凹槽，或者在所述靶材背面具有凹槽，在所述背板上表面具有凸部；将所述靶材背面与背板上表面进行焊接，所述凸部嵌入所述凹槽。与现有技术的靶材背面与背板上表面之间的平面与平面焊接相比，本技术方案的凸部与凹槽紧密嵌合，可以进一步增加靶材与背板之间的焊接强度，降低了发生脱焊现象的可能性，避免脱焊对溅射过程造成的危害。
组件及其形成方法