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- [发明专利]阵列式集成电路光刻系统中的精密工作台结构-CN02117420.2无效
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徐端颐;范晓冬;齐国生;钱坤;蒋培军;麦雪松
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清华大学
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2002-04-19
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2002-10-16
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G03F7/20
- 阵列式集成电路光刻系统中的精密工作台结构属于集成电路的微细工程制造领域,其特征在于,它含有微动转台,与该转台同轴连接的转台底座,固定在该底座上的转台推动架,与该转台相连且X、Y向各贴有平面镜的X向往复运动小工作台,以导轨气垫支撑该X向小工作台的X向空气静压导轨,与该X向导轨相连的Y向运动工作台,以导轨气垫支撑Y向运动工作台的Y向空气静压导轨,固定在该Y向导轨上的Y向运动工作台微动机构,经支撑导轨带动该Y向空气静压导轨运动的滚珠丝杠上述转台推动架和Y向工作台微动机构都是用压电体驱动的,X、Y向工作台都是丁字型。它具有系统精度高,运动速度快,工作平稳,使用寿命长,维护容易等优点,既可保证扫描精度又提高了光刻效率。
- 阵列集成电路光刻系统中的精密工作台结构
- [发明专利]一种大型精密差速动静压转台-CN201010550835.6无效
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路长厚
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山东大学
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2010-11-19
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2011-05-18
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F16M11/08
- 本发明公开了一种大型精密差速动静压转台,包括转台、飞盘、底座、飞盘主轴和转台主轴;飞盘的上下端面均设有静压油腔,两端面的静压油腔的周边均设有动压油楔;转台安装在转台主轴上,转台主轴嵌套在飞盘主轴的内孔中;飞盘安装在飞盘主轴上,飞盘主轴安装在底座上;底座上设有为飞盘上下端面的静压油腔供油的供油孔,底座下侧设有构成闭式转台的静压油腔。本发明通过差动方法提高运动界面间的相对速度,并提高动压承载能力和动压刚度,实现了工作状态下的完全动摩擦,提高了转台的低速运动平稳性,有效解决动静摩擦之差对分度精度的影响。
- 一种大型精密差速动静压转台
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