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[发明专利]薄膜器件的制备方法、电子传输层以及发光器件-CN201910955435.4在审
发明人：张振星;高远;李明 -专利权人：纳晶科技股份有限公司
申请日： 2019-10-09 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了薄膜器件的制备方法、电子传输层以及发光器件。其中，薄膜器件的制备方法，包括以下步骤：S1，于底材上制备氧化锌薄膜，氧化锌薄膜包括掺杂或不掺杂的氧化锌；S2，使氧化锌薄膜的表面浸于硫化物无机盐的溶液中，硫化物无机盐与氧化锌薄膜表面的材料反应，在氧化锌薄膜的表面形成硫化锌无机层本发明使氧化锌薄膜的表面直接与硫化物无机盐溶液进行接触，利用硫化物无机盐与氧化锌薄膜的反应，在氧化锌薄膜的表面形成一层硫化锌无机层，该硫化锌无机层的存在可以改善氧化锌薄膜的表面态，有利于减少设置在薄膜器件表面的发光材料与氧化锌之间的相互作用
氧化锌薄膜硫化物无机盐薄膜器件硫化锌无机层表面形成氧化锌制备氧化锌薄膜表面制备氧化锌薄膜电子传输层无机盐溶液发光材料发光器件发光性能表面态掺杂的底材掺杂

[发明专利]氧化锌同质结及其制备方法-CN201810315838.8有效
发明人：黄盼宁;杨一行 -专利权人： TCL科技集团股份有限公司
申请日： 2018-04-10 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种氧化锌同质结的制备方法，包括以下步骤：提供n型氧化锌纳米薄膜，且所述n型氧化锌纳米薄膜为铝掺杂的氧化锌纳米材料薄膜；将所述n型氧化锌纳米薄膜置于真空加热装置中，真空状态下通入NO气体，加热反应，使所述n型氧化锌纳米薄膜的表面生成铝和氮共掺杂的p型氧化锌纳米薄膜，得到氧化锌同质结。
氧化锌同质及其制备方法

[发明专利]电子传输层、发光器件及其制备方法-CN201910955459.X有效
发明人：张振星 -专利权人：纳晶科技股份有限公司
申请日： 2019-10-09 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： H01L51/50 文献下载
摘要：发光器件包括依次设置的第一电极、电子传输层、发光层、可选的空穴传输层、可选的空穴注入层以及第二电极，其中电子传输层包括氧化锌纳米晶薄膜和氧化锌沉积薄膜，氧化锌纳米晶薄膜与第一电极相邻，氧化锌沉积薄膜与发光层相邻，氧化锌纳米晶薄膜的材料为掺杂或不掺杂的氧化锌纳米晶材料，氧化锌沉积薄膜的材料为掺杂或不掺杂的氧化锌体相材料。本发明的发光器件在氧化锌纳米晶薄膜与发光层之间增加了氧化锌沉积薄膜作为界面层，避免了氧化锌纳米晶与发光材料的相互作用影响发光器件的性能，且氧化锌沉积薄膜为体相材料，其电学稳定性较好，有利于提高发光器件的使用寿命
电子传输发光器件及其制备方法

[发明专利]氧化锌薄膜及其制备方法、量子点发光二极管-CN202010560048.3在审
发明人：郭煜林;吴龙佳;张天朔;李俊杰 -专利权人： TCL科技集团股份有限公司
申请日： 2020-06-18 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： H01L21/368 文献下载
摘要：本发明涉及显示技术领域，提供了一种氧化锌薄膜的制备方法，包括以下步骤：配制氧化锌颗粒和卤离子有机盐的混合溶液；将所述混合溶液沉积在基板上，退火处理，制备氧化锌薄膜。本申请提供的氧化锌薄膜的制备方法，卤离子有机盐能够吸附在氧化锌的晶面，并显著调控薄膜晶型生长过程，从而优化氧化锌薄膜的成膜质量，提高氧化锌薄膜的电子传输性能。
氧化锌薄膜及其制备方法量子发光二极管

[发明专利]一种具有疏水性能的透明隔热薄膜及其制备方法-CN201611143540.0有效
发明人：邓宏;程慧;王艳;汪逸俊;韦敏 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2016-12-13 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本发明属于隔热节能薄膜技术领域，更具体的，涉及一种具有疏水性能的透明隔热薄膜及其制备方法，可用于车载透明窗户及建筑透明窗户等领域。本发明提供的薄膜制备于衬底上，由下至上依次为氧化锌薄膜、镓掺杂氧化锌薄膜；采用氧化锌作为缓冲层材料，减小镓掺杂氧化锌薄膜与衬底之间因晶格失配引起的应力，改善镓掺杂氧化锌薄膜的电学性能得到更好的近、中红外性能利用氧化锌与镓掺杂氧化锌薄膜之间的晶格失配，致使镓掺杂氧化锌膜的生长过程中存在张应力，形成了覆盖整个镓掺杂氧化锌薄膜表面的具有纳米孔的柱状结构，为疏水的表面性能提供了适当的粗糙度，使薄膜具有良好的疏水性，提高薄膜的环境耐久性。
镓掺杂氧化锌薄膜透明隔热薄膜晶格失配疏水性能透明窗户氧化锌衬底制备薄膜技术领域环境耐久性缓冲层材料氧化锌薄膜薄膜表面薄膜制备表面性能电学性能隔热节能红外性能生长过程柱状结构粗糙度纳米孔疏水性张应力减小可用疏水覆盖

[发明专利]一种硫化铜-氧化锌复合光催化薄膜的制备方法-CN202111105850.4在审
发明人：刘伟 -专利权人：绍兴文理学院
申请日： 2021-09-22 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： B01J27/04 文献下载
摘要：本发明属于光催化领域，涉及光催化薄膜，具体涉及一种硫化铜‑氧化锌复合光催化薄膜的制备方法，所述复合光催化薄膜由氧化锌薄膜和硫化铜薄膜组成，且氧化锌薄膜和硫化铜薄膜的连接面形成氧化锌‑硫化铜复合层；并提供了相应的制备方法本发明解决了现有氧化锌响应区间小、复合速度快等缺陷，利用复合层的硫化锌将可见光转化为紫外光区域，满足氧化锌的相应要求，同时硫化锌将氧化锌的电子快速传递，减缓了空穴与电子的结合，且电子的传递促使硫化铜与氧化锌形成基于电子转移的协同作用
一种硫化铜氧化锌复合光催化薄膜制备方法

[发明专利]复合薄膜及其制备方法、量子点发光二极管-CN201911400144.5有效
发明人：徐威 -专利权人： TCL科技集团股份有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H01L51/54 文献下载
摘要：本发明提供了一种复合薄膜，包括二氧化钛凝胶薄膜和氧化锌纳米薄膜，所述二氧化钛凝胶薄膜中的二氧化钛与所述氧化锌纳米薄膜中的氧化锌纳米颗粒结合。本发明提供的氧化锌复合薄膜，可以降低氧化锌纳米薄膜的表面粗糙度，并减少ZnO纳米颗粒的表面缺陷，增加载流子注入平衡，增加发光器件的发光效率及发光寿命。
复合薄膜及其制备方法量子发光二极管

[发明专利]氧化物薄膜制备用组合物及使用该组合物的氧化物薄膜的制备方法-CN201180050611.1有效
发明人：稻叶孝一;丰田浩司;羽贺健一;德留功一;吉野贤二;竹元裕仁 -专利权人：东曹精细化工株式会社
申请日： 2011-10-19 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： C01G15/00 文献下载
摘要：涉及氧化物薄膜制备用组合物以及使用该组合物的氧化物薄膜的制备方法。更具体而言，本发明涉及(1)复合氧化物薄膜制备用组合物以及使用该组合物的氧化物薄膜的制备方法(本发明的第一方式)、(2)氧化锌薄膜制备用组合物和掺杂氧化锌薄膜制备用组合物以及使用这些组合物的氧化锌薄膜的制备方法(本发明的第二方式)、(3)氧化锌薄膜制备用组合物和掺杂氧化锌薄膜制备用组合物以及使用这些组合物的氧化锌薄膜的制备方法(本发明的第三方式)。
氧化物薄膜制备组合使用方法

[发明专利]一种在氧化锌铝导电薄膜上生长氧化锌纳米线阵列的方法-CN201010150281.0无效
发明人：阙文修;张进 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2010-04-19 - 公布日： 2010-09-08 - 主分类号： C23C20/08 文献下载
摘要：一种在氧化锌铝导电薄膜上生长氧化锌纳米线阵列的方法，采用氧化锌铝透明导电薄膜作为籽晶层，并在其上水热生长氧化锌纳米线。首先，利用溶胶-凝胶技术在ITO玻璃片上沉积氧化锌铝薄膜，其次采用水热自组装生长技术在氧化锌铝薄膜上生长氧化锌纳米线阵列，即可得到成本低廉、工艺要求简单、重复性好、可大规模制造且具有良好C轴择优取向和紫外受激发光特性的氧化锌纳米线阵列
一种氧化锌导电薄膜生长纳米阵列方法

[发明专利]氧化锌薄膜及其制备方法、量子点发光二极管-CN202010544099.7有效
发明人：郭煜林;吴龙佳;张天朔;李俊杰 -专利权人： TCL科技集团股份有限公司
申请日： 2020-06-15 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H10K50/16 文献下载
摘要：本发明涉及显示技术领域，提供了一种氧化锌薄膜，包括氧化锌基膜，以及与所述氧化锌基膜中的氧化锌结合的Lewis碱。本申请提供的氧化锌薄膜，在氧化锌基膜表面引入Lewis碱后，氧化锌表面缺陷与未饱和的Zn2+作为Lewis酸性中心，捕获Lewis碱的电子，可减少氧化锌颗粒晶界与薄膜表面缺陷
氧化锌薄膜及其制备方法量子发光二极管

[发明专利]用于平板显示器件的氧化锌透明电极的制备方法-CN200910024477.2无效
发明人：孙小卫;王保平;雷威;张晓兵 -专利权人：东南大学
申请日： 2009-02-23 - 公布日： 2009-07-22 - 主分类号： H01L21/283 文献下载
摘要：用于平板显示器件的氧化锌透明电极的制备方法涉及透明电极的设计、制备和表面改性其制备方法为：1)准备一块制作平板显示器件的透明基板(1)，2)采用磁控溅射、或电弧成膜、或超声喷雾成膜的方法在透明基板(1)上制备氧化锌透明导电薄膜(2)，3)向氧化锌透明导电薄膜(2)掺入镓、铝或者锡杂质，提高氧化锌薄膜的电导率，使其方块电阻小于50Ω/□，4)控制薄膜生长参数，以及掺杂形成薄膜的晶格缺陷，获得非晶的氧化锌薄膜，以提高薄膜的平整度，通过掺杂的方法提高氧化锌薄膜的电导率，通过表面处理的方法改进氧化锌薄膜的平整度和透光率。采用本发明的氧化锌透明电极取代传统的氧化铟锡透明电极，简化了制备工艺，降低了成本。
用于平板显示器件氧化锌透明电极制备方法

[发明专利]AZO透明导电薄膜及其制备方法和应用-CN201810319725.5在审
发明人：刘荣跃;丁庆;冯军正;杨旻蔚;张翠;许奔;孙竹 -专利权人：深圳市太赫兹科技创新研究院;深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司
申请日： 2018-04-11 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种AZO透明导电薄膜的制备方法，包括以下步骤：提供衬底，对所述衬底进行表面清洁处理；提供氧化锌种子溶液，在所述衬底上沉积所述氧化锌种子溶液，制备结合在所述衬底表面的氧化锌种子层；提供氧化锌沉积溶液，将沉积好氧化锌种子层的衬底置于所述氧化锌沉积溶液中，使所述氧化锌沉积溶液浸没所述衬底，且所述衬底中沉积有氧化锌种子层的表面不贴壁，在加热的条件下，在所述氧化锌沉积溶液中连续引入铝离子并搅拌处理，在所述氧化锌种子层表面生长制备AZO预制薄膜；对所述AZO预制薄膜进行紫外照射处理，制备得到AZO透明导电薄膜。
氧化锌衬底氧化锌种子层沉积溶液制备透明导电薄膜沉积种子溶液预制薄膜制备方法和应用紫外照射处理表面清洁表面生长衬底表面铝离子浸没贴壁加热引入

[发明专利]薄膜晶体管及用于薄膜晶体管的氧化锌基溅射靶-CN201310272148.6有效
发明人：朴在佑;李伦圭;金度贤;金东朝;朴柱玉;孙仁成;尹相元;李建孝;李镕晋;全祐奭 -专利权人：三星康宁精密素材株式会社;三星显示有限公司
申请日： 2013-07-01 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： H01L29/786 文献下载
摘要：提供了一种薄膜晶体管以及一种用于薄膜晶体管的氧化锌基溅射靶。薄膜晶体管包括金属电极和阻挡物质从金属电极扩散出来的氧化锌基阻挡膜。氧化锌基阻挡膜由掺杂有氧化铟的氧化锌制成，氧化铟的含量范围按重量计为氧化锌基阻挡膜的1%到50%。用于沉积薄膜晶体管的阻挡膜的氧化锌基溅射靶由掺杂有氧化铟的氧化锌制成，氧化铟的含量范围按重量计为氧化锌基溅射靶的1%到50%。
薄膜晶体管用于氧化锌溅射

[发明专利]一种高透低阻可弯曲透明导电薄膜-CN201811441773.8有效
发明人：彭寿;马立云;姚婷婷;李刚;沈洪雪;金克武;王天齐;彭塞奥;杨扬;汤永康;甘治平 -专利权人：中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司
申请日： 2018-11-29 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： H01B5/14 文献下载
摘要：本发明公开一种高透低阻可弯曲透明导电薄膜，包括柔性基底，柔性基底顶面依次层叠有预制导电层、第一透明导电膜层、高透减反层、超导层以及第二透明导电膜层；预制导电层为铝膜、银膜、金膜、铜膜或钛膜；第一透明导电膜层为铝掺杂氧化锌薄膜、加镓掺杂氧化锌薄膜、铟镓掺杂氧化锌薄膜或硼掺杂氧化锌薄膜；高透减反层为单分散SiO2小球薄膜；超导层为铝膜、银膜、金膜、铜膜或钛膜；第二透明导电膜层为铝掺杂氧化锌薄膜、加镓掺杂氧化锌薄膜、铟镓掺杂氧化锌薄膜或硼掺杂氧化锌薄膜；该薄膜具有附着力强、成本低、透过率高、电阻低且性能稳定的特点。
一种高透低阻可弯曲透明导电薄膜

[实用新型]一种柔性耐弯折高透低阻透明导电薄膜-CN201821984651.9有效
发明人：姚婷婷;李刚;沈洪雪;金克武;王天齐;彭塞奥;杨扬;汤永康;甘治平 -专利权人：中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司
申请日： 2018-11-29 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： H01B5/14 文献下载
摘要：本实用新型公开一种柔性耐弯折高透低阻透明导电薄膜，包括柔性基底，柔性基底顶面依次层叠有预制导电层、第一透明导电膜层、高透减反层、超导层以及第二透明导电膜层；预制导电层为铝膜、银膜、金膜、铜膜或钛膜；第一透明导电膜层为铝掺杂氧化锌薄膜、加镓掺杂氧化锌薄膜、铟镓掺杂氧化锌薄膜或硼掺杂氧化锌薄膜；高透减反层为单分散SiO₂小球薄膜；超导层为铝膜、银膜、金膜、铜膜或钛膜；第二透明导电膜层为铝掺杂氧化锌薄膜、加镓掺杂氧化锌薄膜、铟镓掺杂氧化锌薄膜或硼掺杂氧化锌薄膜；该薄膜具有附着力强、成本低、透过率高、电阻低且性能稳定的特点。
薄膜透明导电膜层掺杂氧化锌薄膜铝掺杂氧化锌透明导电薄膜镓掺杂氧化锌氧化锌薄膜柔性基底超导层导电层减反层耐弯折硼掺杂低阻金膜铝膜铜膜银膜钛膜铟镓预制本实用新型附着力强依次层叠单分散透过率电阻顶面小球

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