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[发明专利]真空气相沉积系统以及制造有机发光装置的方法-CN201110339524.X在审
发明人：福田直人;中川善之;中野真吾 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2011-11-01 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：这里提供了一种真空气相沉积系统，包括：气相沉积源；用于监测的膜厚度传感器；以及用于校准的膜厚度传感器，其中，从气相沉积源的开口的中心至用于校准的膜厚度传感器的距离L1和从气相沉积源的开口的中心至用于监测的膜厚度传感器的距离L2满足L1≤L2的关系；由从气相沉积源的开口的中心至基片的膜形成表面的垂直线和使得气相沉积源的开口的中心与用于校准的膜厚度传感器连接的直线所形成的角度θ1以及由从气相沉积源的开口的中心至基片的膜形成表面的垂直线和使得气相沉积源的开口的中心与用于监测的膜厚度传感器连接的直线所形成的角度还提供了一种利用所述真空气相沉积系统制造有机发光装置的方法。
空气沉积系统以及制造有机发光装置方法

[发明专利]固态金属有机源的集中供给系统-CN202010934991.6在审
发明人：吕宝源 -专利权人：吕宝源
申请日： 2020-09-08 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明提供一种固态金属有机源的集中供给系统，应用于金属有机化学气相沉积(MOCVD)和原子层沉积(ALD)制程设备，所述集中供给系统包括储罐、固态金属有机源、加热系统、载气供应源、压缩机、第一传输管道至第五传输管道、多个阀门，以及单个或多个金属有机化学气相沉积或原子层沉积制程设备。本发明应用于上述制程时，可避免使用钢瓶储存固态金属有机源的缺点，从根本上解决固态有机金属源使用中蒸气压不稳定的问题。例如通过恒温设备控制钢瓶温度而增加成本，运输、储存及使用过程中固态金属有机源因环境、温度等影响产生结块、沟流造成蒸气压不稳定，使用完需更换钢瓶而造成投入增加，也无法同时供给多个机台等缺点。
固态金属有机集中供给系统

[发明专利]一种串联质谱法测定甲基对硫磷的方法-CN202111598764.1在审
发明人：朱良超;朱晓妹;沈世强 -专利权人：江苏赫尔斯检测技术有限公司
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： G01N30/02 文献下载
摘要：本发明涉及农药残留检测技术领域，具体涉及一种串联质谱法测定甲基对硫磷的方法；包括如下步骤：样品预处理，将待检测样品经四分法缩分后，搅拌成浆状；样品前处理，准确称取样品于离心管中，加入混有氯苯的丙酮，并震摇以在离心管中形成悬浊液；样品离心，将离心管置于离心机中，离心抽取沉积相，对沉积相进行气相色谱质谱串联检测，改进测定方法，通过对待检测的样品进行前处理，且使用较少的有机溶剂，从而能达到较高的测量灵敏度，且准确度也较高。
一种串联质谱法测定甲基对硫磷方法

[发明专利]一种平面固态超级电容器的制备方法-CN201310311940.8有效
发明人：史方;王晓晨;周洁;孔令宇;潘毅;虞磊;韩建林 -专利权人：南京大学
申请日： 2013-07-24 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： H01G11/84 文献下载
摘要：本发明涉及一种平面固态超级电容器的制备方法，在标准硅晶圆上使用半导体器件制造工艺中标准的化学气相沉积法、物理气相沉积法、沟槽刻蚀法、化学机械抛光法、基于硅通孔三维法等方法，制造以SiO2、Al2O3、HfO2或Ba(Sr)TiO3中的一种或几种组成的组合物为核心、与标准半导体器件相兼容的平面固态超级电容器，具有低成本、节能环保、适合大规模制造的优点。
一种平面固态超级电容器制备方法

[发明专利]一种基于自由基反应低温制备石墨烯的方法-CN201210164314.6无效
发明人：胡平安;李俊杰;张荣福;王晓娜;李晓超;王立峰;张甲;文振忠 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2012-05-24 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： C01B31/04 文献下载
摘要：为了解决现有化学气相沉积技术制备石墨烯存在反应温度高、成本高、产率低、耗时长、要求实验条件苛刻的问题，本发明的操作步骤如下：一、选择合适的碳源；二、处理催化基底表面；三、制备石墨烯薄膜；四、转移石墨烯至所需基底本发明将固体碳源引入化学气相沉积法(CVD)技术制备石墨烯薄膜的过程中，以碳源为碳源，在铜基底上制备出单层均一的石墨烯薄膜。该方法改进了化学气相沉积法(CVD)制备石墨烯技术，提高了制备的石墨烯薄膜的产率与质量。
一种基于自由基反应低温制备石墨方法

[发明专利]一种轮胎模具内表面DLC涂层的制备方法-CN201711076892.3在审
发明人：李志永;李帅;魏修亭;王锋;宋秀丽;王志晓 -专利权人：山东理工大学;山东玲珑轮胎股份有限公司
申请日： 2017-11-06 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明涉及一种轮胎模具内表面DLC涂层的制备方法，采用等离子体增强化学气相沉积法在轮胎模具上沉积DLC涂层；步骤一：按照轮胎模具的加工工艺进行制备45#钢模具试件基体；步骤二：镀膜前使用溶剂型清洗介质对试件进行清洗、烘干处理；步骤三：采用溅射沉积的方法在基体表面沉积Cr和WC作为金属过渡层，采用等离子体增强化学气相沉积法沉积制备DLC涂层；该方法制备的涂覆DLC涂层的轮胎模具表面形貌光整具有良好的疏水性，摩擦性能较好
制备轮胎模具等离子体增强化学气相沉积法沉积内表面试件轮胎模具表面形貌金属过渡层内表面涂层烘干处理基体表面溅射沉积摩擦性能纳米硬度清洗介质溶剂型疏水性镀膜光整涂覆模具清洗

[发明专利]油水分离金刚石涂层金属网的制备方法、金属网沉积涂层装置、金刚石涂层金属网及其应用-CN201810202142.4在审
发明人：唐永炳;李星星;王陶;黄磊;杨扬 -专利权人：深圳先进技术研究院
申请日： 2018-03-12 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明公开了一种油水分离金刚石涂层金属网的制备方法、金属网沉积涂层装置、金刚石涂层金属网及其应用，涉及油水分离金属网技术领域。金刚石涂层金属网的制备方法包括以下步骤：采用热丝化学气相沉积法在金属网表面沉积金刚石涂层。本发明还提供了用于上述热丝化学气相沉积的金属网沉积涂层装置。本发明通过热丝化学气相沉积法以及金属网沉积涂层装置生长纳米金刚石有效避免了金属网在沉积过程中的变形。
金属网金刚石涂层油水分离沉积涂层制备热丝化学气相沉积法使用寿命热丝化学气相沉积沉积金刚石涂层油水分离效率应用金属网表面纳米金刚石工艺稳定制备工艺沉积成膜变形生长缓解

[发明专利]一种磷酸铁锂材料表面包覆石墨烯的制备方法-CN201711396897.4在审
发明人：黄富强;黄丙娣;唐宇峰;李永鸿;马文勤;陈志雄;李斌;谷彦静 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所;佛山佛塑科技集团股份有限公司
申请日： 2017-12-21 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： C01B32/186 文献下载
摘要：本发明涉及一种磷酸铁锂材料表面包覆石墨烯的制备方法，以磷酸铁锂粉体作为生长基底并通入碳源，采用等离子体增强化学气相沉积法在生长基底表面生长石墨烯；所述等离子体增强化学气相沉积法的参数包括：生长基底的反应温度为
生长基石墨烯等离子体增强化学气相沉积法磷酸铁锂材料表面包覆制备磷酸铁锂粉体表面生长电源功率生长

[发明专利]一种复合薄膜、制备方法及电子元器件-CN202210522181.9在审
发明人：连坤;王金翠;纪鹏飞;严先成 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2022-05-13 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： C23C28/04 文献下载
摘要：本申请公开一种复合薄膜、制备方法及电子元器件，所述制备方法，包括：利用化学气相沉积法，在衬底基板上制备隔离层，得到复合衬底；将所述复合衬底，通过水浴降温至目标温度；在所述复合衬底上制备薄膜层，得到复合薄膜本申请先利用化学气相沉积法，在衬底基板上制备隔离层，得到复合衬底；然后将复合衬底，通过水浴降温至目标温度，这样降温后的复合衬底不会发生翘曲问题。
一种复合薄膜制备方法电子元器件

[发明专利]一种三维SiC骨架增强SiC的高致密陶瓷及制备方法-CN202211517646.8有效
发明人：陈宏;尤杰;董家海;斯超波 -专利权人：常熟通乐电子材料有限公司
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： C04B35/80 文献下载
摘要：本发明公开了一种三维SiC骨架增强SiC的高致密陶瓷及制备方法，通过化学气相沉积法在三维网状碳泡沫骨架上沉积一定厚度的碳化硅涂层，随后通过工艺调整继续原位沉积热解炭涂层，并作为反应渗硅烧结的碳源，最后进行真空渗硅烧结将陶瓷致密化本发明碳化硅泡沫的三维网络结构有利于硅的渗透，选择化学气相沉积法以及反应烧结法制备碳化硅高致密陶瓷，制备温度较低，碳化硅纯度较高，涂层与涂层之间结合性能好。
一种三维 sic 骨架增强致密陶瓷制备方法

[发明专利]模造玻璃镜片的模具-CN200610001121.3无效
发明人：廖文仁;黄仁烜;张孝国 -专利权人：中国砂轮企业股份有限公司
申请日： 2006-01-13 - 公布日： 2007-07-18 - 主分类号： C03B11/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种模造玻璃镜片的模具，其中包括一模具底材，其由膨胀率与钻石的膨胀率相近的陶瓷材料为主制成，其具有成形面，另有一钻石保护膜，其为以气相沉积法沉积的钻石膜，钻石保护膜位于模具底材的成形面上。本发明于模具底材上以气相沉积法沉积一层钻石保护膜，因此，利用钻石本身所具有的特性，使得在利用各种玻璃高温模造玻璃镜片的过程中，钻石保护膜能充分的保护模具底材，以有效延长模具的使用寿命。
玻璃镜片模具

[发明专利]含有卤化烷基锌的氧化锌前驱体和利用该前驱体沉积氧化锌类薄膜的方法-CN201210467947.4有效
发明人：朴洙昊;金序炫;朴正佑;朴兑正;刘泳祚;尹根尚;崔殷豪;金荣云;金保京;申亨秀;尹承镐;李相度;李相益;任相俊 -专利权人：三星康宁精密素材株式会社
申请日： 2012-11-19 - 公布日： 2013-05-29 - 主分类号： C23C16/40 文献下载
摘要：一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体，其包含具有下通式的卤化烷基锌：R-Zn-X，其中R为烷基CnH2n+1，且X为卤素基团。n为1至4的数值，烷基选自甲基、乙基、异丙基和叔丁基中的一种。一种沉积氧化锌类薄膜的方法包括将基板装入沉积室中；并将上述包含卤化烷基锌的氧化锌前驱体和氧化剂供给到沉积室中并通过化学气相沉积法在基板上形成氧化锌类薄膜。所述氧化锌类的薄膜通过常压化学气相沉积法沉积在基板上。
含有卤化烷基氧化锌前驱利用沉积薄膜方法

[发明专利]沉积氧化物薄膜的方法、有机场效应晶体管及其制备方法-CN201610125626.4有效
发明人：王新炜;高源鸿;邵友东;孟鸿 -专利权人：北京大学深圳研究生院
申请日： 2016-03-04 - 公布日： 2017-12-19 - 主分类号： H01L51/05 文献下载
摘要：本发明公开沉积氧化物薄膜的方法、有机场效应晶体管及其制备方法。沉积方法包括步骤A、将待处理的有机半导体装入气相原子层沉积装置的真空反应腔体；B、对真空反应腔体进行抽真空，维持真空反应腔体跟外部空气环境的有效隔离，并维持真空反应腔体的内部温度为20~100℃；C、向真空反应腔体中通入第一种气相前驱体，使其吸附在材料表面；D、通入载气将真空反应腔体中多余的第一种气相前驱体清除；E、向真空反应腔体中通入第二种气相前驱体，使之与吸附在材料表面的第一种气相前驱体反应，形成氧化物薄膜；F、通入载气将真空反应腔体中多余的第二种气相前驱体清除
沉积氧化物薄膜方法有机场效应晶体管及其制备

[发明专利]一种基于气相色谱法的PPS生产过程有机样品分析方法-CN202310441227.9在审
发明人：廖苏兰;沃承立;赵钢;徐先宇 -专利权人：铜陵瑞嘉特种材料有限公司
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G01N30/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于气相色谱法的PPS生产过程有机样品分析方法，涉及PPS生产过程有机样品分析技术领域。本发明包括选用具有FID检测器的气相色谱仪，并将强极性毛细管色谱柱作为气相色谱仪的气相色谱柱；将PPS生产过程有机样品迅速注射到气相色谱柱内，气相色谱的进样口温度为250℃，检测器温度为300℃，载气为氮气，色谱柱流量为1.5ml/min，分流比为60:1；气相色谱柱的升温程序为：从50℃以30℃/min的速率升至240℃，恒温2min；然后进行色谱数据分析，并记录试验数据。本发明通过基于气相色谱法对PPS生产过程有机样品进行分析，能够快速对生产中的PPS生产过程有机样品内各组份进行分离，并为PPS组份的定量分析打下了良好的基础。
一种基于色谱 pps 生产过程有机样品分析方法

[发明专利]薄膜封装结构及其制备方法和显示面板-CN201811318854.9在审
发明人：史文;陈亚文 -专利权人：广东聚华印刷显示技术有限公司
申请日： 2018-11-07 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：本发明涉及一种薄膜封装结构及其制备方法和显示面板，其中该制备方法包括以下步骤：在待封装器件上依次形成第一无机封装层和有机封装层，然后在有机封装层先采用原子层沉积法形成第一无机薄膜，再在所述第一无机薄膜上采用气相沉积法形成第二无机薄膜该薄膜封装结构的制备方法，在有机封装层上远离待封装器件的一侧形成表面较致密、厚度较薄的第一无机薄膜，以提高第一无机薄膜与有机封装层之间的结合力；然后在第一无机薄膜上形成表面致密度较低但厚度较厚的第二无机薄膜，如此提高了无机封装层与有机封装层之间的结合力，提高了薄膜封装结构的阻隔水氧性能，进而提高了薄膜封装的封装性能。
薄膜封装结构及其制备方法显示面板