专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]真空气相沉积系统以及制造有机发光装置的方法-CN201110339524.X在审
  • 福田直人;中川善之;中野真吾 - 佳能株式会社
  • 2011-11-01 - 2012-05-23 - C23C14/24
  • 这里提供了一种真空气相沉积系统,包括:气相沉积源;用于监测的膜厚度传感器;以及用于校准的膜厚度传感器,其中,从气相沉积源的开口的中心至用于校准的膜厚度传感器的距离L1和从气相沉积源的开口的中心至用于监测的膜厚度传感器的距离L2满足L1≤L2的关系;由从气相沉积源的开口的中心至基片的膜形成表面的垂直线和使得气相沉积源的开口的中心与用于校准的膜厚度传感器连接的直线所形成的角度θ1以及由从气相沉积源的开口的中心至基片的膜形成表面的垂直线和使得气相沉积源的开口的中心与用于监测的膜厚度传感器连接的直线所形成的角度θ2满足θ2≥θ1的关系。还提供了一种利用所述真空气相沉积系统制造有机发光装置的方法。
  • 空气沉积系统以及制造有机发光装置方法
  • [发明专利]成膜装置和成膜方法-CN201110339500.4无效
  • 中川善之;中野真吾;福田直人 - 佳能株式会社
  • 2011-11-01 - 2012-05-23 - C23C14/54
  • 提供一种成膜装置和成膜方法,可精确地控制形成在成膜对象物上的薄膜的厚度。成膜装置(1)包括用于在预定成膜待机位置与预定成膜位置之间移动成膜源(21)的移动部(成膜源单元(20)),此移动部保持测量用石英振荡器(22)和校正用石英振荡器(23)以维持它们相对于成膜源(21)的相对位置。在成膜对象物上形成膜的成膜步骤当中执行利用校正用石英振荡器(23)的监测值校正测量用石英振荡器的监测值的校正步骤。
  • 装置方法
  • [发明专利]成膜装置-CN201110339499.5无效
  • 中川善之;中野真吾;福田直人 - 佳能株式会社
  • 2011-11-01 - 2012-05-23 - C23C14/24
  • 提供一种可在成膜对象物上精确地形成均一膜的成膜装置。成膜装置(1)包括成膜源(21)、测量用石英振荡器(22)和校正用石英振荡器(23)。当在成膜对象物(30)上形成成膜材料的薄膜时,在成膜源(21)内加热成膜材料以释放出该成膜材料的蒸气。测量用石英振荡器(22)测量形成在成膜对象物(30)上的成膜材料量(形成在其上的薄膜厚度),而校正用石英振荡器(23)校正测量用石英振荡器(22)。成膜装置(1)中,还提供用于相对于成膜对象物在预定成膜待机位置与预定成膜位置之间移动成膜源(21)的移动部(成膜源单元(20)),以及用于控制测量用石英振荡器(22)和校正用石英振荡器(23)的温度至基本相同的温度控制部(传感器闸门(26))。
  • 装置
  • [发明专利]成膜装置和成膜方法-CN201110339521.6无效
  • 中川善之;中野真吾;福田直人 - 佳能株式会社
  • 2011-11-01 - 2012-05-23 - C23C14/24
  • 本发明提供一种成膜装置和成膜方法。成膜装置(1)包括成膜源(21)、测量用石英振荡器(22)和校正用石英振荡器(23)。当在成膜对象物(30)上形成成膜材料的薄膜时,在成膜源(21)内加热成膜材料以释放出该成膜材料的蒸气。测量用石英振荡器(22)测量形成在成膜对象物(30)上的成膜材料量,而校正用石英振荡器(23)校正测量用石英振荡器(22)。在成膜装置(1)中,还设置用于相对于成膜对象物在预定成膜待机位置与预定成膜位置之间移动成膜源(21)的移动部(成膜源单元(20)),该移动部保持测量用石英振荡器(22),以维持其相对于成膜源(21)的相对位置,且当移动部处于成膜待机位置时,校正用石英振荡器(23)设在移动部的上方。
  • 装置方法
  • [发明专利]制造有机电致发光显示器的方法-CN03120228.4有效
  • 中野真吾;神野浩;中井正也 - 三洋电机株式会社
  • 2003-03-05 - 2003-09-17 - H05B33/10
  • 一种制造有机EL显示器的方法,其中阻止该有机EL器件的被促进的性能衰退,该衰退是由该有机EL器件形成期间在空穴传输层和发光层之间以及发光层和电子传输层之间产生的分界面引起的。该发光层的材料从第一汽化源被汽化。此时,该第一汽化源被从玻璃衬底的一端移动到另一端。结果,该发光层均匀地在该玻璃衬底上形成。在该发光层的形成完成后,该电子传输层的材料从第二汽化源被汽化。该第二汽化源像该第一汽化源一样被移动,由此均匀地形成该电子传输层。
  • 制造有机电致发光显示器方法

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