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[发明专利]一种物件的曝光定位方法-CN202011203952.5有效
发明人：赵涛;陈国军;吴景舟;马迪 -专利权人：江苏迪盛智能科技有限公司
申请日： 2020-11-02 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明揭示了一种物件的曝光定位方法，包括将载有多个曝光物件的物件载台置于测量载台上，物件载台上设置有至少三个标记点，测量载台测量得到每个标记点在测量载台自身的第一坐标系中的第一标记点坐标，及每个曝光物件在第一坐标系中的第一物件坐标；将物件载台移置曝光机载台上，曝光机测量得到每个标记点在曝光机自身的第三坐标系中的第三标记点坐标；根据第一标记点坐标、第一物件坐标和第三标记点坐标，计算得到每个曝光物件在第三坐标系中的第三物件坐标；曝光机根据第三物件坐标对曝光物件进行定位及曝光本发明提高了曝光机的曝光产能及曝光精度。
一种物件曝光定位方法

[实用新型]晶圆曝光机-CN201820462283.5有效
发明人：桑林;苗文佳 -专利权人：华润微电子（重庆）有限公司
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆曝光机，包括：曝光光路系统，包括曝光光源及曝光透镜，曝光透镜用于对曝光光源聚焦，以决定所述曝光光路系统的焦距平面；及晶圆承载装置，包括基座、复数个支撑PIN、升降装置及晶圆承载平台本实用新型的晶圆曝光机使可曝光的最厚晶圆的厚度增大至约1625μm，同时也扩大了晶圆曝光机可曝光的晶圆厚度范围，即晶圆厚度小于1625μm的晶圆均可，最后，在满足增大可曝光的晶圆厚度以及厚度范围的同时，也可使晶圆精确传送至复数个支撑PIN上，从而提高晶圆曝光机的适用范围，降低制造成本。
晶圆曝光机复数本实用新型焦距平面曝光光路曝光光源曝光透镜曝光支撑晶圆承载装置承载平台厚度增大升降装置制造成本种晶传送聚焦

[实用新型]一种基于DMD技术的可视化曝光机-CN201820717840.3有效
发明人：孙雷;张洪波;张婧姣 -专利权人：联士光电（深圳）有限公司
申请日： 2018-05-15 - 公布日： 2019-01-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于DMD技术的可视化曝光机，包括曝光机光源、对准光源、45度二向光学元件、整形匀光元件、全反射棱镜组、DMD、45度分光元件、投影系统、待曝光工件和相机。对准光源和曝光机光源发出的光经45度二向光学元件、整形匀光元件的整形和匀光、以及全反射棱镜组后入射到DMD上，经DMD反射、全反射棱镜组和45度分光元件进入投影系统再投射到待曝光工件。对准光源的光入射到待曝光工件，实现曝光精确定位；曝光机光源入射到待曝光工件使待曝光工件形成曝光，其中一部分光被待曝光工件反射，经投影系统后被45度分光元件反射到相机，可实时观测待曝光工件并实现对准及套刻
曝光工件光源曝光机全反射棱镜组分光元件投影系统对准整形反射光学元件匀光元件可视化入射相机本实用新型实时观测曝光光入射投射和匀套刻

[实用新型]超薄柔性盖板玻璃紫外曝光装置-CN202320559021.1有效
发明人：周阳强;高树军;王健;卞恒卿;金虎范 -专利权人：青岛融合智能科技有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种超薄柔性盖板玻璃紫外曝光装置，属于玻璃生产技术领域。其技术方案为：包括紫外曝光机，紫外曝光机内设置有紫外灯管；紫外曝光机的前后端分别设置有玻璃入口和玻璃出口，玻璃入口和玻璃出口处分别设置有软帘；紫外曝光机的前后端贯穿设置有玻璃传送平台，玻璃传送平台上设置有玻璃传送机构本实用新型只需要将放有玻璃的玻璃框放在传送平台上即可使玻璃自动传送至紫外曝光机中，无需打开紫外曝光机的顶盖将玻璃放入紫外曝光机中，大大提高了生产效率。
超薄柔性盖板玻璃紫外曝光装置

[发明专利]一种在玻璃基板曝光制程中实现自动补值的方法及系统-CN201310501656.7有效
发明人：黄文德;史凯;张书翰 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2013-10-23 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种在玻璃基板曝光制程中实现自动补值的系统，包括量测机、通信接口模块网络与曝光机，其中：量测机用于自动对曝光后的玻璃基板进行量测，并将量测获得的各个量测点的曝光偏移量数据通过所述通信接口模块网络上传给所述曝光机的预定存放区域中；曝光机用于根据所述各个量测点的曝光偏移量数据获得所述各个量测点相应的补值量，并对玻璃基板上与所述各个量测点对应的曝光点进行补值处理。根据本发明的实施例，可以提高曝光机的补值效率以及补值准确性，并可节省人力。
一种玻璃曝光制程中实现自动方法系统

[实用新型]一种具有灯管冷却装置的曝光机-CN201921161266.9有效
发明人：隋树华 -专利权人：廊坊市新航源机电设备有限公司
申请日： 2019-07-23 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有灯管冷却装置的曝光机，包括曝光机本体，曝光机本体的上端设有U型板，U型板的内壁上设有套筒，套筒内滑动连接有导杆，导杆的一端设有压板，导杆上套接有第一弹簧，压板的另一端设有插块，插块通过插槽滑动连接于曝光灯管，U型板内设有空腔，空腔内设有第二弹簧，第二弹簧的另一端设有滑杆，滑杆内设有通水通道，该曝光机可以方便对曝光灯管进行拆卸和安装，使得曝光机在进行曝光灯管更换时简单方便，该曝光机可以通过空腔内喷水并涂抹来降低灯管的上方的稳定通过热传导将高温进行交换
一种具有灯管冷却装置曝光

[实用新型]一种具有吸盘结构的曝光机-CN201921161264.X有效
发明人：隋树华 -专利权人：廊坊市新航源机电设备有限公司
申请日： 2019-07-23 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有吸盘结构的曝光机，包括曝光机本体，曝光机本体的下端设有通气管，通气管内设有通气通道，通气管的下端设有吸盘头，通气管上设有通气口，通气管上滑动连接有U型块，U型块上滚动连接有滚轮，通气管上套接有第一弹簧，通气管的外表面螺纹连接有螺母，螺母的下端接触连接于U型块的上端，曝光机本体内设有空腔，空腔内滑动连接有滑块，该曝光机可以方便进行移动和固定，并且固定后曝光机较为安全稳定，该曝光机可以方便紫外线防护板进行打开和关闭，使得曝光机方便观察。
一种具有吸盘结构曝光

[发明专利]多目摄像机及其曝光方法-CN201511028574.0在审
发明人：付昕军;李国栋;王三勇 -专利权人：深圳市华途数字技术有限公司
申请日： 2015-12-31 - 公布日： 2016-03-23 - 主分类号： H04N5/232 文献下载
摘要：本发明提供了一种多目摄像机及其曝光方法，其中多目摄像机包括至少两个图像处理模块，图像处理模块将获取到的图像数据经过交换芯片发送给主控芯片。本发明通过设定一图像处理模块为基准模块，将基准模块的曝光模式设置为自动曝光，将其余图像处理模块的曝光模式设置为手动曝光，主控芯片获取基准模块的自动曝光值，并将所述曝光值通过交换芯片发送给其余图像处理模块使其以所述曝光值曝光的方式，使得多目摄像机中每一个图像处理模块都以一个统一的曝光值曝光，解决了多目摄像机获得的整体图像融合效果不理想的问题，使得使用多目摄像机依然可以获得很好的整体图像融合效果。
摄像机及其曝光方法

[发明专利]一种掩膜版、接近式曝光机、彩色滤光片的制备方法-CN201610391422.5在审
发明人：王伟;白鑫;郝明迁 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2016-06-03 - 公布日： 2016-08-24 - 主分类号： G03F1/36 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜版、接近式曝光机、彩色滤光片的制备方法，属于显示装置的制备技术领域，其可解决现有的接近式曝光机曝光得到的图形尺寸大小不均一的问题。本发明的掩膜版中多个开口区的尺寸不同，以弥补曝光间距不同导致的曝光图形尺寸不均匀，使得各个开口区曝光的图形的尺寸大小相等。本发明的掩膜版适用于各种曝光机，尤其适用于接近式曝光机。本发明的彩色滤光片的制备方法曝光图形尺寸均匀，可以减少具体生产中彩色滤光片工艺调试的步骤。
一种掩膜版接近曝光彩色滤光制备方法

[发明专利]曝光机及曝光灯的更换方法-CN201610087845.8有效
发明人：龚冰 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2016-02-16 - 公布日： 2017-06-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种曝光机及曝光灯的更换方法，所述曝光机包括外壳、集光镜、曝光灯、及数个喷气装置；所述数个喷气装置可在所述集光镜的上方进行伸缩；当曝光机正常工作时，数个喷气装置缩回至外壳顶部的外围而不影响正常曝光时光源的走向；当需要更换曝光灯时，关闭曝光灯后，通过将数个喷气装置伸出至其末端的出气口位于所述集光镜边缘区域的上方，对集光镜的内部及曝光灯进行喷气，从而使曝光灯实现快速降温，有效减少了曝光灯的更换时间，提升了设备稼动率；本发明的曝光灯的更换方法，可使曝光灯实现快速降温，并可避免更换曝光灯的过程中造成集光镜上粘附异物或灰尘。
曝光更换方法

[发明专利]光刻机剂量均匀性的测量方法-CN201911039601.2有效
发明人：刘泽华;陈震东 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2019-10-29 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻机剂量均匀性的测试方法。该测试方法包括：上载待曝光掩模版，待曝光掩模版包括监控标记；采用待曝光掩模版进行焦面‑剂量矩阵曝光，获取不同焦距和曝光剂量下监控标记的套刻误差；确定焦距、曝光剂量与套刻误差之间的关系矩阵；根据关系矩阵确定曝光剂量作用区间；采用曝光剂量作用区间内的任意曝光剂量对待曝光掩模版进行焦距矩阵曝光；获取监控标记的实际套刻误差；根据关系矩阵以及实际套刻误差确定曝光场内各点的实际曝光剂量，以得到光刻机的剂量均匀性。本发明的技术方案可适应各种工况需求，也可排除焦面与像差的干扰，从而可准确测量光刻机的曝光剂量和剂量均匀性。
光刻剂量均匀测量方法

[发明专利]车辆的行驶环境辨识装置-CN201310013601.1有效
发明人：小笠原礼和 -专利权人：富士重工业株式会社
申请日： 2013-01-15 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： B60R11/04 文献下载
摘要：本发明公开一种车辆的行驶环境辨识装置，以提高利用车载摄像机的在夜间行驶时的行驶环境辨识精度。当夜间行驶时，在车载摄像机（3）未辨识出前行车辆（31）的情况下，将车载摄像机（3）的曝光量设定为第一曝光量模式（S8）。又当辨识出前行车辆（31）的情况下，将车载摄像机（3）的曝光量设定为第二曝光量模式（S5）。第一曝光量模式下是将低亮度检测用曝光量与高亮度检测用曝光量在每一帧中交互地进行切换，并在切换的每一曝光量下进行拍摄。第二曝光量模式下是将曝光量固定为低亮度检测用曝光量。
车辆行驶环境辨识装置

[实用新型]一种应用于X光机的遥控曝光装置-CN202221621714.0有效
发明人：李雪林 -专利权人：广西南宁森闳科技有限公司
申请日： 2022-06-27 - 公布日： 2023-02-07 - 主分类号： A61B6/00 文献下载
摘要：一种应用于X光机的遥控曝光装置，包括无线遥控曝光手闸、曝光接收控制模块、盖格计数器模块与语音模块；所述X光机具有手闸接口；所述曝光接收控制模块、盖格计数器模块安装于X光机，并且所述曝光接收控制模块与手闸接口电连接；所述无线遥控曝光手闸与曝光接收控制模块均设有语音模块，并通过语音模块进行语音实时对讲；其中，曝光接收控制模块、盖格计数器模块均安装于X光机；所述无线遥控曝光手闸与曝光接收控制模块、盖格计数器模块加密通讯连接本实用新型具有能通过无线遥控X光机进行曝光，及在做X光检查时，医护人员与患者可进行语音交流等特点。
一种应用于遥控曝光装置

[实用新型]一种用于DR升级改造的曝光装置-CN202221497104.4有效
发明人：许宇翔;杨兰轩 -专利权人：深圳市睿迪医疗器械有限公司
申请日： 2022-06-15 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： A61B6/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及医用数字X光机曝光技术领域，特指一种用于DR升级改造的曝光装置，包括按压手闸、平板探测器、曝光控制装置、按压装置、支撑装置以及模拟X光机曝光手闸，模拟X光机曝光手闸安装于支撑装置上，按压手闸与平板探测器通信连接，平板探测器与曝光控制装置通信连接，曝光控制装置与按压装置通信连接，按压装置位于模拟X光机曝光手闸的上方，模拟X光机曝光手闸与平板探测器通信连接。
一种用于 dr 升级改造曝光装置

[发明专利]卷对卷曝光机和用于卷对卷曝光机的控制方法-CN202210808510.6在审
发明人：项宗齐;李香滨;刘国藩;汪涛 -专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种卷对卷曝光机和用于卷对卷曝光机的控制方法，卷对卷曝光机包括：用于提供料带的放料装置和用于卷收料带的收料装置；曝光装置，曝光装置位于放料装置与收料装置之间，曝光装置沿第一方向依次设置有对位组件、曝光机构和多个精密运动平台；曝光机构包括两个曝光组件，两个曝光组件沿与第一方向垂直的第二方向相对设置，用于在料带悬空于两个曝光组件之间时，对料带同步进行双面曝光；多个精密运动平台交替夹持料带，以沿第一方向匀速拉动料带采用该卷对卷曝光机可以实现连续不断地对料带的双面同时进行曝光，提高曝光效率，解决曝光产品双面对位精度的问题。
曝光用于控制方法