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- [发明专利]单晶炉内一种控氧生长的装置-CN200910099710.3无效
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江国庆
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江国庆
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2009-06-10
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2010-12-22
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C30B15/14
- 本发明属于半导体分离技术领域，特别是涉及一种生产、分离单晶硅时的一种控氧生长的装置。该装置是在单晶炉中对加热器、导流筒、下保温系统作改革；降低了加热器的叶片高度，使坩埚底部的热源面积减少，使石英坩埚底部受热少，在生产过程中产生的氧比较少；对密封导流系统进行了改革，在上盖板上再增加一个加密式导流筒，新的导流装置能加速冷却速度，对炉内下保温系统进行改革，加强了下保温筒的保温效果，可从晶体和熔体界面，带走更多的氧，降低氧含量，减少产生的硼氧复合体，本发明能有效的减少生产过程中氧的产生、滞留，它结构简单、造价低廉、安装、使用操作方便、能有效控制氧的生成、输送，减少了氧进入单晶的过程和数量。
- 单晶炉内一种生长装置
- [发明专利]一种单晶硅棒切片装置-CN202010428169.2有效
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邓筑蓉
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新疆东方希望光伏科技有限公司
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2020-05-20
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2021-09-24
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B28D5/04
- 本发明公开了一种单晶硅棒切片装置，其结构包括配电箱、切割头、导入装置、加工台、固定座、底座，固定座安装在底座上，固定座上设有加工台，切割头与导入装置相配合，本发明的有益效果：利用夹合头上的夹合层与单晶硅棒相接触时，两个磁块的磁性相异，相互吸引加固了夹合头的夹合力，双重作用下使得夹合头可以将单晶硅棒夹合并固定，并且两个活动槽可以随着单晶硅棒的直径大小而被顶出更替并适配单晶硅棒的尺寸，当两个活动槽与两个固定槽处于同一弧线上时，停止向外运动，并同时对单晶硅棒施加力，使得单晶硅棒被固定，从而防止单晶硅棒在线锯的冲击力下发生位移，保障单晶硅棒加工过程中位置的相对固定，进一步保障单晶硅棒的切片质量。
- 一种单晶硅切片装置
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