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[发明专利]能够提高机械测试精确度的100晶向晶棒的取样方法-CN202211707287.2在审
发明人：何玉乐;梁万亮;马国忠;丁亚国;顾燕滨;河野贵之;马建仁;白海玲 -专利权人：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种能够提高机械测试精确度的100晶向晶棒的取样方法，先根据100晶向晶棒的四条棱线在周侧进行标记直线，对应在晶棒的端面连接相邻的棱线端点形成矩形框，接着切割预设厚度的晶片，在晶片的表面画出一个样本矩形框，该样本矩形框的一条边平行于参考矩形框的一条边，用数控机床沿着标注线切割加工获得样片，该样片的六个面均为100晶向的长方形样品，因样品六个面的晶向均为100晶向，这种同一种晶向的硅原子排列的周期性和疏密程度相同，从而使得样品的物理、化学特性相同，进而在测试时主受力面是100晶向，主受力面的的晶向是一致的，因此测试所得的数值也相近，使得进行测试分析单晶硅片的机械性能所获得的数值更为准确。
能够提高机械测试精确度 100 取样方法

[发明专利]远程服务系统-CN201880086310.6有效
发明人： 河野贵之;高尾健司;后藤大辅;石垣博康 -专利权人：三菱重工业株式会社
申请日： 2018-11-05 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H04L9/32 文献下载
摘要：具备：第一计算机终端，其对表示应用于设备的控制内容的控制信息附加第一签名而进行发送；以及第二计算机终端，其将控制信息所表示的控制内容应用于设备，第一计算机终端与第二计算机终端通过第一通信网络而连接，第二计算机终端与设备通过第二通信网络而连接。
远程服务系统

[发明专利]拉晶过程中便于测量大直径晶棒的主炉室炉盖及单晶炉-CN202211558418.5在审
发明人：梁万亮;马国忠;何玉乐;丁亚国;顾燕滨;河野贵之 -专利权人：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种拉晶过程中便于测量大直径晶棒的主炉室炉盖，包括盖体，盖体上设置喉口、第一观察窗和第二观察窗，第一观察窗、第二观察窗和喉口成品字状设置在炉体上，第一观察窗上设置第一刻度尺和第一支架，第一目镜以滑动方式设置在第一支架上并能够通过第一观察窗观察单晶炉内部，第二观察窗上设置第二刻度尺和第二支架，第二目镜以滑动方式设置在第二支架上并能够通过第二观察窗观察单晶炉内部，第一刻度尺的零刻度线和第二刻度尺的零刻度线相互靠近设置。通过第一目镜对准熔融硅液面处晶棒的一侧后读取数值L1，第二目镜对准熔融硅液面处晶棒的另一侧读取数值L2，然后将三个数值相加获得晶棒的直径数值。
过程便于测量直径主炉室炉盖单晶炉

[发明专利]提高直拉单晶拉速的装置-CN201910556405.6有效
发明人：丁亚国;梁万亮;马国忠;顾燕滨;河野贵之 -专利权人：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
申请日： 2019-06-25 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种提高直拉单晶拉速的装置，属于单晶硅生产设备技术领域。包括导流筒及撤热组件，所述撤热组件安装于所述导流筒的上方，通过热辐射或者热传导的方式对所述导流筒进行降温。本发明技术方案实现在所述撤热组件远离单晶炉的热场的状态下，与固液界面发生热量交换，降低固液界面处温度，从而提高直拉单晶的拉速，提高直拉单晶拉速则大幅度节约的电耗。同时，由于所述撤热组件距离单晶炉热场较远，一则所述撤热组件受到热场的热应力有限，降低所述撤热组件泄漏概率，二则一旦泄漏发生，能够及时通过单晶炉内的氛围变化判断发现，及时停炉，降低事故率。
提高直拉单晶拉速装置

[发明专利]控制单晶硅尾部长度的方法及单晶炉收尾方法-CN202011553132.9有效
发明人：梁万亮;丁亚国;马国忠;顾燕滨;河野贵之 -专利权人：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： C30B15/22 文献下载
摘要：本发明提供一种控制单晶硅尾部长度的方法及单晶硅收尾方法，属于单晶硅生产技术领域。读取实时收尾长度L1以及该收尾长度对应的实际收尾重量W1，并通过实时收尾长度L1计算理论收尾重量W0，比较实际收尾重量W1与理论收尾重量W0的偏差，如果偏差过大，则对应的调整实时收尾长度L1时刻的拉晶拉速或收尾温度，以降低实际收尾重量W1与理论收尾重量W0的偏差，达到控制单晶硅硅棒尾部长度的目的，避免单晶硅硅棒尾部过长，导致收尾用料较多，且收尾时间长，或者单晶硅硅棒尾部过短，造成位错，使晶体失去完整单晶结构。同时，控制单晶硅硅棒尾部长度，也能够为成批次生产特殊要求的单晶硅硅棒提供可靠的收尾控制参数。
控制单晶硅尾部长度方法单晶炉收尾

[实用新型]单晶炉挡板阀及单晶炉-CN202023280286.3有效
发明人：马国忠;梁万亮;丁亚国;顾燕滨;河野贵之 -专利权人：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种单晶炉挡板阀及单晶炉，属于单晶硅生产设备技术领域。该单晶炉挡板阀包括闸板，闸板的内开设有若干相互连通的氩气分布槽，氩气分布槽的入口端连接氩气进气管；闸板的下表面开设有若干氩气通孔，氩气通孔连通氩气分布槽。氩气经过氩气分布槽，并经由氩气通孔进入单晶炉内，在单晶炉挡板阀的下方形成惰性气体环境。一方面增加了通入氩气的分布均匀性，满足拉制较大尺寸的单晶硅晶棒的氩气通入需求，有效防止了单晶炉内零部件尤其是闸板中部的氧化，避免单晶炉内环境被污染，降低单晶拉制成功率。另一方面，氩气对闸板进行进一步辅助冷却，加强了单晶炉挡板阀处的冷却效果。
单晶炉挡板

[实用新型]单晶硅生产导流筒夹取工装-CN202023017306.8有效
发明人：丁亚国;顾燕滨;河野贵之;马国忠;梁万亮 -专利权人：宁夏银和新能源科技有限公司
申请日： 2020-12-15 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：一种单晶硅生产导流筒夹取工装，包括吊装组件、固定牵拉组件、连接柱，固定牵拉组件设置在吊装组件的下方，固定牵拉组件包括拉杆分块、固定拉杆，拉杆分块设置在吊装组件的下方，固定拉杆的其中一端与拉杆分块的外壁活动连接，连接柱从下至上依次插入到拉杆分块及吊装组件内部，将吊装组件及固定牵拉组件固定；本实用新型在使用的时候，通过转动固定拉杆的角度，改变固定拉杆位置，从而达到针对不同尺寸导流筒进行夹取的效果。
单晶硅生产导流筒夹取工装

[发明专利]液口距可控的放肩方法-CN202110553789.3在审
发明人：梁万亮;丁亚国;马国忠;顾燕滨;河野贵之 -专利权人：宁夏富乐德石英材料有限公司
申请日： 2021-05-20 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本发明提供一种液口距可控的放肩方法，属于单晶硅技术领域。通过预设放肩形状，预设放肩参数，进行放肩作业，并对放肩过程的埚升CL1进行调整，使埚升速度CL0等于测量埚升速度CL1+ΔCL，通过几次调整后，将所得到的放肩工艺应用于实际的放肩过程中，使放肩过程中，液口距能够被有效控制，减少人工干预，降低放肩工艺对操作人员经验的依赖程度，提高放肩成活率。
液口距可控方法

[发明专利]间接控制拉晶直径的方法及直拉单晶晶棒的生产方法-CN202010379353.2有效
发明人：梁万亮;丁亚国;马国忠;顾燕滨;河野贵之 -专利权人：宁夏富乐德石英材料有限公司
申请日： 2020-05-07 - 公布日： 2021-04-27 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明提供一种间接控制拉晶直径的方法及直拉单晶晶棒的生产方法，在获取到的所述生产状态影像中，获取参考晶棒直径，并对参考晶棒直径进行修正，以修正后参考晶棒直径为参照，控制等径时的单晶直径。一方面，在所述生产状态影像中，能够获取完整的参考晶棒直径，从而解决了由于晶棒直径过大或单晶炉设计缺陷，导致通过传统测径仪无法直接获取拉晶直径，造成拉晶直径失控的技术问题。另一方面，提供了一种新的控制拉晶直径的方式，克服通过传统测径仪无法直接获取拉晶直径的问题的同时，为操作人员测量并控制拉晶直径提供可靠的参考，有利于降低由于测径仪本身、测径仪操作过程及操作人员主观因素引入的测量误差。
间接控制直径方法直拉单晶晶棒生产

[实用新型]用于间接控制拉晶直径的测量装置-CN202020738851.7有效
发明人：梁万亮;丁亚国;马国忠;顾燕滨;河野贵之 -专利权人：宁夏银和新能源科技有限公司
申请日： 2020-05-07 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： G01B11/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于间接控制拉晶直径的测量装置，包括生产状态影像获取组件、影像显示组件及测量组件，生产状态影像获取组件固定安装于拉晶炉上，影像显示组件电性连接生产状态影像获取组件，测量组件安装于影像显示组件上，用于通过测量，并从影像显示组件所显示的生产状态影像中获取拉晶直径的可参考数据。该装置解决了现有技术中存在的拉制大直径晶棒时或由于设计缺陷，通过测径仪无法直径获取拉晶直径的技术问题。实现精准控制拉晶直径，防止拉晶直径过大造成原料浪费，或者拉晶直径过小导致晶棒报废或降级。同时，可显著降低操作人员进入生产车间的频次，显著降低操作人员靠近拉晶炉进行操作的频次，实现本质安全生产。
用于间接控制直径测量装置

[发明专利]连续拉制单晶棒剩余锅中料电阻率计算方法-CN202010316609.5在审
发明人：梁万亮;丁亚国;马国忠;林通;顾燕滨;河野贵之 -专利权人：宁夏银和新能源科技有限公司
申请日： 2020-04-21 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： C30B15/04 文献下载
摘要：本发明提出的连续拉制单晶棒剩余锅中料电阻率计算方法，是利用公式“剩余锅中料电阻率=头部计算电阻率*(1‑B/A)(1‑分凝系数)*分凝系数*a”计算得到的，本发明的方法不管晶棒是达到收尾长度收尾后加料或是等径失败提出后加料，均可准确的计算出埚中料的电阻率，然后把埚中剩余重量和其电阻率输入到掺杂剂计算表回熔料栏中，计算出掺杂剂用量，按此法可保证2棒、3棒……等棒的电阻率与1棒的接近。
连续制单剩余锅中料电阻率计算方法

[发明专利]能够提高收尾成功率的单晶炉收尾方法-CN201910977065.4有效
发明人：梁万亮;马国忠;丁亚国;顾燕滨;河野贵之 -专利权人：宁夏银和新能源科技有限公司
申请日： 2019-10-15 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾方法，属于单晶硅生产技术领域。该方法以设定温度进入收尾，收尾初期埚升继续按埚跟比计算设定，待收尾完成，获取第一收尾晶棒，在第一收尾晶棒的尾部部分等分划线，并获取第一收尾坐标谱图，将第一收尾晶棒放置与第一收尾坐标谱图上，根据收尾快或慢的趋势调整温度和拉速，如此重复几次，即可调整出完全无需人员干预的收尾工艺。明显提高了收尾成功率，且收尾过程不需人员干预，减少人员操作强度。更为重要的是，使用该方法获取的参数数据克服了外在因素的影响，对同批次的单晶硅棒收尾效果更佳，同时，得到的单晶硅棒尾部平滑过度，形状规整，应力降低，不易损坏。
能够提高收尾成功率单晶炉方法

[发明专利]运动功能恢复训练装置-CN201910439385.4在审
发明人：金谷洋希;河野贵之;筒井崇;池田由有子;潮田贵之 -专利权人：株式会社安川电机
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2020-03-03 - 主分类号： A61H1/02 文献下载
摘要：运动功能恢复训练装置。训练对象者能够流畅地实施主动运动。运动功能恢复训练装置(1)进行用于使作为训练对象的前臂部(17)的运动功能恢复的训练，具有：固定部件(15)，其被支承为可旋转并且对前臂部(17)进行固定；电机(10)，其使固定部件(15)在正转方向和反转方向上旋转；编码器(11)，其对电机(10)的旋转位置进行检测；以及控制器(12)，其根据编码器(11)的检测结果，对电机(10)进行控制，控制器(12)具有主动运动控制部(26)，该主动运动控制部(26)在训练对象者自主进行使固定部件(15)旋转的主动运动时，对电机(10)进行控制，使得只在预先设定的旋转方向上进行旋转。
运动功能恢复训练装置

[实用新型]准确定位引晶埚位及等径GAP的装置-CN201920964521.7有效
发明人：梁万亮;马国忠;丁亚国;顾燕滨;河野贵之 -专利权人：宁夏银和新能源科技有限公司
申请日： 2019-06-25 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种准确定位引晶埚位及等径GAP的装置，属于单晶硅生产设备技术领域。包括导流筒及设置于导流筒上的定位组件，定位组件的一端可转动连接导流筒，另一端从导流筒的底端伸出。化料完成、温度稳定时，上升坩埚，使硅液面接触定位组件的下端，根据引晶工艺设定GAP，下降坩埚一定的距离，即为引晶埚位，等径时根据定位组件的下端到液面的距离判断等径GAP，因定位组件距离液面位置近，从而实现能够准确直观的判断等径GAP。当定位组件受到外力干扰时，定位组件沿导流筒转动，起到缓冲作用，防止定位组件变形损坏，当外力干扰消失，定位组件沿导流筒转动，自动回位，防止定位组件位移，造成引晶锅位或等径GAP定位不准确。
准确定位引晶埚位 gap 装置

[实用新型]应对不同拉晶直径的新型导流筒-CN201920964522.1有效
发明人：丁亚国;梁万亮;马国忠;顾燕滨;河野贵之 -专利权人：宁夏银和新能源科技有限公司
申请日： 2019-06-25 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种应对不同拉晶直径的新型导流筒，属于单晶硅生产设备技术领域。包括外壳、内胆及填充于所述外壳与所述内胆之间的隔热层，所述外壳包括侧立壁及连接底板，所述连接底板可拆卸连接所述侧立壁。实际应用中，按照最大规格单晶硅硅棒拉制需求，制备所述侧立壁，按照不同规格单晶硅硅棒拉制需求制备不同尺寸的所述连接底板，当需要切换生产不同规格的单晶硅硅棒时，仅需要将所述连接底板从所述侧立壁上拆除，并更换所述连接立板、所述内胆及所述隔热层，即可满足不同规格的单晶硅硅棒的生产需求，大大降低了设备闲置率，降低了设备成本，延长了设备使用寿命。
应对不同直径新型导流

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