[实用新型]一种直拉单晶硅用加热器及单晶生长炉有效
申请号: | 201921802643.2 | 申请日: | 2019-10-24 |
公开(公告)号: | CN211546715U | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | 关树军;罗才军;赵智强;张伟新;陈辉 | 申请(专利权)人: | 北京京运通科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 郝志国 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及直拉单晶硅技术领域,公开了一种直拉单晶硅用加热器及单晶生长炉,该直拉单晶硅用加热器包括圆筒状的主发热体,主发热体的筒体上设置有沿周向交替分布的第一缝隙和第二缝隙,第一缝隙与第二缝隙均沿主发热体的轴心线方向延伸,且第一缝隙的开口朝向与第二缝隙的开口朝向相反,第一缝隙和第二缝隙将主发热体分成多根依次串联的发热条,第一缝隙和第二缝隙的中间区域的宽度小于两端的宽度,以使每根发热条中间区域的宽度大于其两端的宽度。该直拉单晶硅用加热器能降低纵向的温度梯度,进而降低直拉单晶硅中的氧含量,达到减弱直拉单晶硅氧施主效应的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 加热器 生长 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京京运通科技股份有限公司,未经北京京运通科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201921802643.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种柜子板件的可旋转连接装置
- 下一篇:一种面膜加工用具有切割功能的压缩装置