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[实用新型]一种新型等离子洗衣机-CN201320142115.5有效
发明人：左彪;崔利英 -专利权人：大同凡元兴科技有限公司
申请日： 2013-03-26 - 公布日： 2013-10-09 - 主分类号： D06F35/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及洗衣机领域，特别涉及一种新型等离子洗衣机，其特征在于，包括:洗衣桶，所述洗衣桶上端设置有进水管，所述进水管接近洗衣桶的一端套设有环形电极，所述环形电极与高频高压电源连接，所述高频高压电源与等离子洗衣机的电源开关连通;其中，所述高频高压电源与等离子洗衣机的电源开关之间还设置有控制高频高压电源的阀门。本实用新型将等离子体发生器和气体发生器合二为一，同时有效控制了洗涤用水中等离子体的浓度。
一种新型等离子洗衣机

[发明专利]用于ASP腔中等离子管器件盖体的密封装置-CN201210231292.0无效
发明人：奚姚军;包中诚 -专利权人：上海宏力半导体制造有限公司
申请日： 2012-07-05 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： F16J15/06 文献下载
摘要：一种用于ASP腔中等离子管器件盖体的密封装置，该密封装置包含设置在盖体和等离子管之间空隙内的O型密封圈，还包含增设的O型密封圈，该增设的O型密封圈设置在盖体上增设的凹槽内。本发明避免了O型密封圈较快地被等离子体氧化刻蚀，从而延长了O型密封圈的使用寿命。
用于 asp 中等离子器件密封装置

[实用新型]聚集器以及刻蚀机台-CN201720516200.1有效
发明人：王智东;张冬平 -专利权人：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2017-05-09 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种聚集器以及刻蚀机台，所述聚集器为具有内腔的环状结构，所述环状结构能够通过伸缩改变所述内腔的大小，所述刻蚀机台包括所述聚集器，进而当所述内腔中等离子体分布不均匀时，通过内腔大小的改变，来迫使等离子体朝分布均匀的方向移动，以此来保证刻蚀制程的稳定性，以及硅片刻蚀的均匀性，确保刻蚀质量。
聚集以及刻蚀机台

[发明专利]空间飞行器中的驱动装置-CN200880115851.3有效
发明人：汉斯-彼得·哈尔曼;诺贝特·科赫;冈特·科恩菲尔德 -专利权人：塔莱斯电子设备有限公司
申请日： 2008-09-12 - 公布日： 2010-10-06 - 主分类号： B64G1/40 文献下载
摘要：本发明涉及一种空间飞行器中的驱动装置，其包括多个驱动单元(TW1、TW2和TW3)，其中，为了向多个可单独控制的驱动单元连续施加公共恒压电位(HV)给且为了实现控制所述各个驱动单元中的轴向推力，单独控制在各个驱动单元中等离子体的产生特别地，通过时变控制中性工作气体(AG)流入电离室(IK)中来实现时变控制等离子体的产生。
空间飞行器中的驱动装置

[发明专利]半导体工艺设备及其反应腔室和膜层沉积方法-CN202011296600.9有效
发明人：秦海丰;兰云峰;师帅涛;王环宇;张芳;张文强 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-11-18 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体工艺设备的反应腔室、半导体工艺设备和膜层沉积方法，其中，反应腔室包括：监测模块、沉积模块以及控制模块；沉积模块用于在一个沉积周期中执行多次沉积步骤，每次沉积步骤均包括：向反应腔室中通入前驱体以及对反应腔室施加射频电场，以在反应腔室中生成等离子体，并通过等离子体在待加工工件上沉积目标膜层；监测模块用于在沉积模块每次执行沉积步骤时，监测反应腔室中等离子体光源的亮度，并根据等离子体光源的亮度，生成第一信号；控制模块用于根据第一信号
半导体工艺设备及其反应沉积方法

[发明专利]液体等离子体放电装置及使用其的生物柴油合成方法-CN202210227555.4在审
发明人：吴筱;邓少波;朱军 -专利权人：明尼苏达大学董事会
申请日： 2017-01-25 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：液体等离子体放电装置及使用其的生物柴油合成方法。一种方法，包括将反应物化合物流进料至反应器；以及在反应器中的反应物流中产生液体等离子体，其中等离子体引发或促进反应物化合物的反应以形成产物组合物。产生等离子体可以包括向高压电极供应电力，使得在反应物流流动通过开口的位置产生等离子体。
液体等离子体放电装置使用生物柴油合成方法

[发明专利]埋弧焊熔滴采集和电弧等离子体表征的装置及方法-CN202210037474.8在审
发明人：王聪;王冠一;王占军;钟明;白航宇 -专利权人：东北大学
申请日： 2022-01-13 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： G01N1/20 文献下载
摘要：本申请涉及埋弧焊技术领域，尤其是涉及一种埋弧焊熔滴采集和电弧等离子体表征的装置及方法，埋弧焊熔滴采集和电弧等离子体表征的装置包括平移机构、冷却构件、金属导电构件及多个光谱信号引导构件，冷却构件设置于平移机构利用光谱信号引导构件、平移机构及光谱仪协同作用，可稳定多段采集电弧空腔中等离子体光谱信息，实现等离子体的原位光谱分析。
埋弧焊熔滴采集电弧等离子体表征装置方法

[发明专利]等离子体设备和系统-CN200780043771.7有效
发明人：弗拉基米尔·E·贝拉斯琴科;奥列格·P·索洛伦科;安德里·V·斯米尔诺夫 -专利权人：弗拉基米尔·E·贝拉斯琴科;奥列格·P·索洛伦科;安德里·V·斯米尔诺夫
申请日： 2007-11-27 - 公布日： 2009-12-16 - 主分类号： B44C1/22 文献下载
摘要：一种等离子体设备，包括第一阳极等离子体头和第一阴极等离子体头。每个等离子体头包括电极、等离子体流动通道和布置在所述等离子体流动通道的至少一部分之间的主气体入口。第一阳极等离子体头和第一阴极等离子体头布置成相对彼此成一角度。等离子体设备也包括第二阳极等离子体头和第二阴极等离子体头。每个等离子体头包括电极、等离子体流动通道、以及布置在等离子体流动通道和电极的至少一部分之间的主气体入口，第二阳极等离子体头和第二阴极等离子体头布置成相对彼此成一角度。
等离子体设备系统

[发明专利]等离子体处理设备和方法-CN201880084092.2有效
发明人：马绍铭;仲華;杨晓晅;D·V·德塞;瑞安·M·帕库尔斯基 -专利权人：玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技股份有限公司
申请日： 2018-12-13 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：提供了等离子体处理设备和方法。在一个示例实施方式中，等离子体处理设备包括处理室。等离子体处理设备包括设置于处理室中的基座。基座用于支撑工件。等离子体处理设备包括在竖直方向上设置于处理室上方的等离子体室。等离子体室包括介电侧壁。等离子体处理设备包括将处理室与等离子体室分开的分离格栅。等离子体处理设备包括邻近介电侧壁的第一等离子体源。第一等离子体源用于在分离格栅上方的等离子体室中产生远程等离子体。等离子体处理设备包括第二等离子体源。第二等离子体源用于在分离格栅下方的处理室中产生直接等离子体。
等离子体处理设备方法

[发明专利]等离子体处理系统中的等离子体限制结构-CN200980150203.6有效
发明人：艾利克·哈德森;安德里亚斯·费舍尔 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2009-12-16 - 公布日： 2011-11-16 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：提供了一种配置为用于在衬底的等离子体处理中限制等离子体处理室中的等离子体的可移动等离子体限制结构。该可移动等离子体限制结构包括配置为环绕该等离子体的可移动面向等离子体结构。该可移动等离子体限制结构还包括可移动导电结构，该可移动导电结构设置于可移动面向等离子体结构的外部且配置与所述可移动面向等离子体结构作为单个装置展开和收缩以促进该衬底的处理。可移动导电结构在等离子体处理中射频(RF)接地。在等离子体处理中可移动面向等离子体结构配置于等离子体和可移动导电结构之间以便在等离子体处理中来自于等离子体的RF流经由面向等离子体结构流向可移动导电结构。
等离子体处理系统中的限制结构

[发明专利]等离子体处理装置和等离子体处理方法-CN201910437815.9有效
发明人：松浦广行 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供等离子体处理装置和等离子体处理方法，能够抑制由于生成等离子体而导致的等离子体生成部的损伤。等离子体处理装置包括具有等离子体电极的等离子体生成部，能够对收纳在处理容器内的基片进行等离子体处理，上述等离子体生成部的至少与所述等离子体电极相对的部分由合成石英形成。
等离子体处理装置方法

[发明专利]一种美棉织物生态前处理工艺-CN201811302160.6在审
发明人：张华;姚良;卞晨霞 -专利权人：江苏斯得福纺织股份有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： D06M10/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种美棉织物生态前处理工艺，包括如下步骤：棉坯布→常压空气等离子体预处理→超声波生物酶退浆→超声波净棉酶联合双氧水漂白→热水洗→冷水洗→晾干。本发明将常压等离子体技术与超声波、生物酶等绿色环保技术联合并应用到棉织物前处理工艺，其中等离子体处理可以将织物上的部分上浆及杂质刻蚀去除，超声波发挥着空化、分散的作用，生物酶在前处理中发挥最大的退浆作用
前处理超声波棉织物生物酶等离子体预处理常压等离子体等离子体处理绿色环保技术生物酶退浆双氧水漂白常压空气联合工艺晾干冷水洗酶联合棉坯布热水洗降耗刻蚀空化去除上浆退浆生态节能合并环保应用

[发明专利]等离子体点火器及燃气轮机-CN201210236850.2有效
发明人：王学东;杨金华;赵国柱;卢佳乐;周志权;纪书信 -专利权人：烟台龙源电力技术股份有限公司
申请日： 2012-07-10 - 公布日： 2012-10-10 - 主分类号： F02C7/266 文献下载
摘要：本发明公开一种等离子体点火器及燃气轮机。其中等离子体点火器包括阴极、阴极杆、绝缘套、电极座和壳体，其中作为阳极的壳体套设在阴极杆的外部，绝缘套设置在壳体和阴极杆之间，阴极与阴极杆的头部电连接，用于连接输入电源负极的电极座位于阴极杆的尾部，阴极位于壳体的外部由于阴极与壳体之间的距离能够进行调节，因此可以增强等离子体点火器的现场适应能力，很好地控制电弧击穿能力，确保起弧稳定，并短时间完成起弧过程，保证现场设备正常运行，提高工作效率。
等离子体点火器燃气轮机

[发明专利]一种软X射线双频光栅剪切干涉系统-CN201210022269.0有效
发明人：刘正坤;邱克强;刘颖;徐向东;付绍军 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2012-02-01 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： G01T1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种软X射线双频光栅剪切干涉系统，其采用了一种双频光栅作为软X射线剪切干涉元件，利用掠入射条件下，该光栅的两组-1级衍射光束自剪切干涉，对穿过等离子体的X射线激光的波前检测。该剪切干涉仪中采用两个多层膜球面镜的成像系统，能够得到清晰的等离子体边界。本发明将剪切干涉系统成功应用于软X射线波段，利用剪切干涉系统共光程的特点，解决了马赫-曾德尔干涉仪测试系统中等光程的调节困难的问题，为利用剪切法诊断等离子体电子密度提供了关键技术。
一种射线双频光栅剪切干涉系统

[发明专利]驱动等离子体显示板的设备和方法-CN200610125776.1无效
发明人：权宰翊 -专利权人：三星SDI株式会社
申请日： 2006-07-24 - 公布日： 2007-02-28 - 主分类号： G09G3/28 文献下载
摘要：公开了一种等离子体显示板驱动设备和用于施加驱动电压以驱动等离子体显示板的方法，其中等离子体显示板包括在X电极与Y电极相交处形成的放电单元。
驱动等离子体显示设备方法