一种无尘室室内循环空气净化设备,主要于外气入口连设一外气空调箱(Make Up Air Unit,MAU),该外气空调箱的出口直接导入一无尘室工艺设备区,该无尘室工艺设备区内设有一微污染净化设备及一特殊工艺区,该微污染净化设备中设有至少一吸附机构,该吸附机构上涂布有一吸附层,以吸附无尘室室内循环空气内所含的微污染物,该微污染净化设备与无尘室工艺设备区的特殊工艺区连设,且该无尘室工艺设备区再与一工艺废气处理设备连接,该工艺废气处理设备供处理无尘室工艺设备区内的气体,经处理后再排放至大气中;由此,以净化无尘室工艺设备区的循环空气。