[发明专利]一种紫外LED外延结构及其制备方法和应用在审

专利信息
申请号: 202110919094.2 申请日: 2021-08-11
公开(公告)号: CN113725332A 公开(公告)日: 2021-11-30
发明(设计)人: 李国强 申请(专利权)人: 广州市众拓光电科技有限公司
主分类号: H01L33/14 分类号: H01L33/14;H01L33/06;H01L33/00
代理公司: 广州容大知识产权代理事务所(普通合伙) 44326 代理人: 刘新年
地址: 510000 广东省广州市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及发光二极管技术领域,具体涉及一种紫外LED外延结构及其制备方法和应用。所述紫外LED外延结构从下向上依次包括衬底、缓冲层、非故意掺杂层、N型掺杂层、量子阱发光层、P型电子阻挡层和P型AlGaN层;所述N型掺杂层从下向上依次包括第一NAlaGa1‑aN层、第二NAlbGa1‑bN层、第三NAlcGa1‑cN层和第四NAldGa1‑dN层。本发明提供一种新型的N型掺杂层结构,该结构可以有效的调节电子的迁移效率,提升了电子和空穴在MQW区域分布的均衡性,有效提高了电子和空穴的复合几率,显著提升了内量子效率,极大的提高了发光效率。
搜索关键词: 一种 紫外 led 外延 结构 及其 制备 方法 应用
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  • 万志;王莎莎;黄金堆;卓祥景;程伟 - 厦门乾照光电股份有限公司
  • 2023-06-09 - 2023-09-05 - H01L33/14
  • 本发明提供了一种半导体发光元件及其制作方法,通过在所述V型凹坑形成后生长所述空穴阻挡层,一方面,利用所述空穴阻挡层较高的势垒,以减少N型半导体层中的电子向P型半导体层扩散,从而减少电子溢流;另一方面,所述空穴阻挡层可以拦截P型半导体层的空穴通过V型凹坑的侧壁向N型半导体层注入,从而,增加空穴的利用率,让载流子在整个有源区分布更加均匀。进一步地,通过复合型空穴阻挡层中的AlInGaN层形成沿生长方向的电场,使电场方向与空穴传输方向相反,从而阻碍空穴向N型半导体层的扩散;此外,沿生长方向的电场可迟滞电子向P型半导体层的迁移速率,最终得以提高半导体发光元件的发光效率。
  • 一种极化诱导EBL的Micro LED芯片外延结构-202310669158.7
  • 李静;黄昱祺;尹君 - 厦门大学
  • 2023-06-07 - 2023-09-05 - H01L33/14
  • 本发明公开了一种极化诱导电子阻挡层(Electron‑Blocking Layer,EBL)的Micro LED芯片外延结构,其包括由下至上的衬底、n型半导体层、多量子阱层、极化诱导的电子阻挡层和p型半导体层,所述极化诱导的半导体层由p型AlxGa1‑xN层和p型Aly1Iny2Ga1‑y1‑y2N层组成,其中p型AlxGa1‑xN层设于多量子阱层上,p型Aly1Iny2Ga1‑y1‑y2N层设于p型AlxGa1‑xN层上。本发明采用极化诱导EBL结构作为Micro LED的电子阻挡层能够有效调控载流子的注入与溢出,使得能带更加匹配,从而提高电子与空穴在阱内复合效率;能够提高电致发光(EL)强度,内部量子效率,最终提高Micro LED芯片在高电流密度注入下整体的效率与发光水平。
  • 一种LED外延片及其制备方法、LED芯片-202310988223.2
  • 刘春杨;吕蒙普;胡加辉;金从龙;顾伟 - 江西兆驰半导体有限公司
  • 2023-08-08 - 2023-09-05 - H01L33/14
  • 本发明公开了一种LED外延片及其制备方法、LED芯片,涉及半导体器件技术领域,该LED外延片包括衬底及层叠于衬底之上的外延层,外延层包括电子阻挡层以及P型掺杂GaN层;外延层还包括电容层,电容层设于电子阻挡层与P型掺杂GaN层之间,电容层为第一AlN子层、P型掺杂GaN子层与第二AlN子层相互层叠的复合层。在本发明中,通过在电子阻挡层与P型掺杂GaN层之间制作电容层,在大电流情况下,在电子朝向P层运动的过程中,可以较好的把电子锁在电容层内,提高了芯片自身储存电荷的能力,从而提高了抗静电能力,即提升了极限ESD能力。
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