[发明专利]在基板上沉积已蒸发源材料的方法和沉积设备在审
| 申请号： | 202011521333.0 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN114645249A | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 塞巴斯蒂安·弗兰克;佩曼·哈梅格;安德烈亚斯·穆勒 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种用沉积设备(100)在基板(10)上沉积已蒸发源材料的方法。方法包括：从蒸气源(20)的一个或多个喷嘴(22)朝向基板(10)引导已蒸发源材料穿过布置在一个或多个喷嘴(22)与基板之间的屏蔽装置(30)；将沉积设备从沉积位置(I)输送到维护位置(II)，在所述维护位置中屏蔽装置(30)面向材料收集单元(40)；将加热单元(50)相对于屏蔽装置(30)从第一位置(a)移动到第二位置(b)，其中加热单元(50)至少在第二位置(b)中面向屏蔽装置(30)；和用加热单元(50)加热屏蔽装置(30)来清洁屏蔽装置(30)。根据另一个方面，提供了一种可以根据所描述方法操作的沉积设备。 | ||
| 搜索关键词： | 基板上 沉积 蒸发 材料 方法 设备 | ||
【主权项】：
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- 彭欣晨;刘新邦;孔惠慧 - 南京理工大学
- 2021-07-29 - 2022-08-16 - C23C14/12
- 本发明公开了一种控制含氧有机前驱体表面反应产物的选择性的方法，其步骤为：对Ag(110)表面进行循环氩刻退火处理，得到干净的表面；室温下，将一定配比的3‑溴2‑萘酚分子和铁原子共沉积到Ag(110)表面，得到带有3‑溴2‑萘酚分子和铁原子的金属基底；将上述金属基底进行退火处理，得到退火后的金属基底。本发明通过控制铁金属与有机分子不同配比的方法得到了特定结构的金属有机聚合物和含氧共价纳米结构，这些结构具有极高的选择性、大面积、产物单一的优点，能够有效的运用在电池中，且具有极高的催化和储氢能力。
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