[发明专利]一种鳍式横向双扩散功率器件有效
| 申请号： | 202010084930.5 | 申请日： | 2020-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN111244185B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 姚佳飞;张振宇;郭宇锋 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学;南京邮电大学南通研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/51;H01L21/336 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 熊玉玮 |
| 地址： | 226000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种鳍式横向双扩散功率器件，将衬底上方的有源区制备成鳍式结构，随后采用高介电常数介质覆盖于鳍式有源区的两侧及表面，从三个方向进行对有源区进行调制；将三栅代替原有的表面栅，具有更好的沟道控制能力并降低器件关闭时的漏电流；将常用的氧化硅栅介质变为高k栅介质，能够具有更厚的物理氧化层并改善栅极漏电流的问题。本发明具有高耐压，低导通电阻，低漏电流等优点，适用于高压高频领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 横向 扩散 功率 器件 | ||
【主权项】：
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