[实用新型]扩散泵扩散器结构有效
申请号: | 201621253140.0 | 申请日: | 2016-11-22 |
公开(公告)号: | CN206175345U | 公开(公告)日: | 2017-05-17 |
发明(设计)人: | 崔应文 | 申请(专利权)人: | 铜陵日科电子有限责任公司 |
主分类号: | F04F9/00 | 分类号: | F04F9/00 |
代理公司: | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司34112 | 代理人: | 方琦 |
地址: | 244000 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种扩散泵扩散器结构,包括扩散泵的扩散器,扩散器由喇叭管和直管连接而成,扩散器的喇叭管与直管连接处的喇叭管一侧侧壁由倾斜设置的平板构成、形成导流板;连接处的直管的两端外拐角处呈45°设置;直管的内壁上设有若干倾斜设置的导向板,每一个导向板下方的直管管壁上均设有一个转动安装的平衡板。本实用新型结构设计巧妙、合理,可以有效的降低扩散泵排出的气体损失的能量,导向板在起到导向作用的同时可以吸收扩散泵油,降低扩散泵油被排出的量,提高扩散泵的性能。 | ||
搜索关键词: | 扩散 扩散器 结构 | ||
【主权项】:
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