[发明专利]振动器件、角速度传感器、电子设备和移动体有效
| 申请号： | 201810178563.8 | 申请日： | 2018-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN108627149B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 西泽龙太;村上资郎;山口启一;中川启史 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5733 | 分类号： | G01C19/5733 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 邓毅;徐丹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 振动器件、角速度传感器、电子设备和移动体。提供振动特性的变动减少的振动器件、具备所述振动器件并且检测精度的减低减少的角速度传感器、具备所述振动器件的电子设备和移动体。振动器件的特征在于，具有：振动元件，其具有多个端子；基体，其具有多个电连接端子；和中继基板，其具有将多个电连接端子与多个端子电连接起来的配线部，将振动元件支承于基体，所述中继基板具有：基体固定部，其被固定于所述基体；振动元件载置部，所述振动元件被载置于该振动元件载置部；和至少一个梁部，其将所述基体固定部与所述振动元件载置部连结起来，所述至少一个梁部具有向第一方向延伸的第一部分和朝向与所述第一方向交叉的第二方向延伸的第二部分。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 器件 角速度 传感器 电子设备 移动 | ||
【主权项】：
1.一种振动器件，其特征在于，所述振动器件具有：振动元件，其具有多个端子；基体，其具有多个电连接端子；和中继基板，其具有将多个所述电连接端子与多个所述端子电连接起来的配线部，将所述振动元件支承于所述基体，所述中继基板具有：基体固定部，其被固定于所述基体；振动元件载置部，所述振动元件被载置于该振动元件载置部；和至少一个梁部，其将所述基体固定部与所述振动元件载置部连结起来，所述至少一个梁部具有在第一方向上延伸的第一部分和在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸的第二部分。
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- 陀螺传感器以及电子设备-201310120831.8
- 金本啓 - 精工爱普生株式会社
- 2013-04-09 - 2017-08-29 - G01C19/5733
- 本发明提供一种能够实现小型化的陀螺传感器以及电子设备。陀螺传感器（10）包括驱动质量部（14）；驱动部（70）；第一检测质量部（16a），其上设置有第一检测部（30）和第一振动部（40a）；第二检测质量部（16b），其上设置有第二检测部（30b）和第二振动部（40b），第一振动体（40a）在第一轴的方向上延伸，且一端被连接于第一检测质量部（16a），第二振动体（40b）在与第一振动体的延伸方向相反的方向上延伸，且一端被连接于第二检测质量部（16b），振动体（40a、40b）随着第一轴（X）的方向上的振动，而在第三轴（Z）的方向上进行振动。
- 一种单片集成六自由度微惯性测量单元及其加工方法-201510213185.9
- 夏敦柱 - 东南大学
- 2015-04-29 - 2017-07-18 - G01C19/5733
- 本发明公开一种单片集成六自由度微惯性测量单元及其加工方法，包括键合安装于玻璃基底中心位置的主单元结构，主单元结构呈正方形，包括三轴加速度计单元和三轴陀螺仪单元；三轴陀螺仪单元包括四个结构相同的正方形框架，正方形框架内侧边上连接有Z轴检测结构、驱动结构、Y轴检测结构和X轴检测结构；三轴加速度计单元包括位于主单元结构中心位置的中心质量块，以及分别安装于主单元结构四个顶角处的扭摆式质量块。本发明具有测量精度高、可靠性强、面板利用率高、全解耦、质量小成本低以及体积结构精简巧妙等优点，并且能够同时测量三个方向的加速度和角速度，适用性强，具有广阔的市场前景。
- 微陀螺仪以及微陀螺仪的操作方法-201210559808.4
- M·黑勒 - 马克西姆综合产品公司
- 2012-12-20 - 2017-06-23 - G01C19/5733
- 本发明涉及一种用于确定绕Z轴线转速的微陀螺仪，具有基底和第一和第二传感器装置，每个传感器装置包括至少一个平行于基底的驱动模块；至少一个锚固件，驱动模块借助于其与基底相连；至少一个锚固件与驱动模块之间的锚固弹簧，驱动模块借助于其沿X轴线方向能够线性移位地且沿Y轴线和Z轴线方向不动地安装；驱动元件，驱动模块借助于其能够沿X轴线方向振荡驱动；至少一个传感器模块，传感器模块借助于弹簧连至驱动模块，以使传感器模块沿Y方向能够移位地且沿X方向和Z方向不动地连至驱动模块；以及用于检测传感器模块Y轴线方向偏转的传感元件。两个传感器装置彼此平行且在Z轴线方向彼此上下安置，第一和第二驱动模块借助于连接弹簧相连。
- 振子、振动装置及电子设备-201210460416.2
- 大泽征司;山口啓一;盐原利彦;矶野裕一;菊池尊行 - 精工爱普生株式会社
- 2012-11-15 - 2017-05-31 - G01C19/5733
- 本发明提供振子、振动装置及电子设备，其能够防止安装在安装基板上时的导电性固定部件彼此的接触，从而进行正确的驱动。振子（2）具有振动片（3），其具有振动体（4）、对振动体（4）进行支承的第一支承部（51）、第二支承部（52）、及对第一支承部（51）、第二支承部（52）和振动体（4）进行连结的四个梁（61、62、63、64）；电极（710～740），其被设置在振动体（4）上；端子（712～742），其被设置在第一支承部（51）、第二支承部（52）上，并通过被设置在梁（61、62、63、64）上的配线（712～742）而与电极（710～740）电连接，在相邻的一对端子之间设置有多个槽（512），所述多个槽（512）在预定方向上分离，且在与预定方向交叉的方向上延伸。
- 一种用于高过载环境的微机械陀螺结构-201620895913.9
- 王永;易华祥;王刚;余才佳 - 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所
- 2016-08-17 - 2017-02-22 - G01C19/5733
- 本实用新型属于双质量差分式微机械陀螺结构技术领域，具体涉及一种用于高过载应用条件的双质量块差分式微机械陀螺结构。所述的微机械陀螺结构包括通过耦合梁连接的左右质量框，质量框包括驱动框和检测框，驱动框和检测框通过折叠弹性梁连接，驱动框和检测框上分布有弹性止挡；其特征为耦合梁、折叠弹性梁和弹性止挡的根部具备圆弧过渡特征。本实用新型的能够使微机械陀螺弹性梁根部的应力集中降低百分之六十，并通过弹性止档避免微机械陀螺可动部分在超过设定位移极限时发生碰撞损伤。本实用新型所提出的微机械陀螺结构能够降低在高冲击作用对弹性止档的要求，降低具备抗高冲击能力的微机械陀螺加工工艺难度。
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