[实用新型]一种用于高过载环境的微机械陀螺结构有效
| 申请号： | 201620895913.9 | 申请日： | 2016-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN205981220U | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 王永;易华祥;王刚;余才佳 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 |
| 主分类号： | G01C19/5733 | 分类号： | G01C19/5733 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心11008 | 代理人： | 王世磊 |
| 地址： | 710000 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型属于双质量差分式微机械陀螺结构技术领域，具体涉及一种用于高过载应用条件的双质量块差分式微机械陀螺结构。所述的微机械陀螺结构包括通过耦合梁连接的左右质量框，质量框包括驱动框和检测框，驱动框和检测框通过折叠弹性梁连接，驱动框和检测框上分布有弹性止挡；其特征为耦合梁、折叠弹性梁和弹性止挡的根部具备圆弧过渡特征。本实用新型的能够使微机械陀螺弹性梁根部的应力集中降低百分之六十，并通过弹性止档避免微机械陀螺可动部分在超过设定位移极限时发生碰撞损伤。本实用新型所提出的微机械陀螺结构能够降低在高冲击作用对弹性止档的要求，降低具备抗高冲击能力的微机械陀螺加工工艺难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 过载 环境 微机 陀螺 结构 | ||
【主权项】：
一种用于高过载环境的微机械陀螺结构，所述的微机械陀螺结构包括通过耦合梁连接的左右质量框，质量框包括驱动框和检测框，驱动框和检测框通过折叠弹性梁连接，驱动框和检测框上分布有弹性止挡；其特征为耦合梁、折叠弹性梁和弹性止挡的根部具备圆弧过渡特征。
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- 苏岩;姜劭栋;丁衡高;裘安萍;施芹 - 南京理工大学
- 2011-06-23 - 2012-05-09 - G01C19/5733
- 本实用新型涉及一种硅微角振动输出陀螺仪，由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，上层机械结构由两个相同的子结构组成，这两个子结构左右对称布置，并通过质量块连接机构相互连接。同时两个子结构分别与横梁连接，该横梁通过水平扭杆与固定基座连接，固定基座安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上，下层玻璃衬底上布置信号引线以及键合点。本实用新型采用水平扭杆和横梁，使陀螺仪绕z轴转动，实现陀螺仪的敏感运动，实现了驱动方向与检测方向的运动解耦，并且减少了干扰模态的数目，降低了对加工精度的要求，提高了陀螺仪的灵敏度。
- 一种内外桁架式三框架微机械陀螺结构-201110266837.7
- 余才佳;王刚;熊恒 - 中国航空工业第六一八研究所
- 2011-09-01 - 2012-05-02 - G01C19/5733
- 本发明属于微机械陀螺结构技术领域，涉及一种内外桁架式三框架微机械陀螺结构。结构包括外框、内框及中间框，外框包括两根分离块和两组桁架梁，其中每组桁架梁包括两根折叠梁及一根桁架，每个分离块的外部设有梳齿电极，每根桁架梁的两端分别连接一个折叠梁，两组桁架梁通过分离块连接，形成外框，外框通过四根折叠梁固定在结构外端锚点上，外框左右两部分通过桁架连接成完整框架；中间框的两端为分离式双折叠梁，外框与中间框之间用分离式双折叠梁连接；中间框同内框之间通过桁架式双折叠梁连接，内框的内部设有梳齿电极，内框通过四根分离式双折叠梁连接于陀螺结构内部的锚点上。本发明降低了无用质量块质量，提高了陀螺敏感度；特殊的六边形孔结构，使结构强度损失最小化；台阶形梳齿电极形状，提高陀螺性能稳定性。
- 硅微角振动输出陀螺仪-201110170673.8
- 苏岩;姜劭栋;丁衡高;裘安萍;施芹 - 南京理工大学
- 2011-06-23 - 2011-11-23 - G01C19/5733
- 本发明涉及一种硅微角振动输出陀螺仪，由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，上层机械结构由两个相同的子结构组成，这两个子结构左右对称布置，并通过质量块连接机构相互连接。同时两个子结构分别与横梁连接，该横梁通过水平扭杆与固定基座连接，固定基座安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上，下层玻璃衬底上布置信号引线以及键合点。本发明采用水平扭杆和横梁，使陀螺仪绕z轴转动，实现陀螺仪的敏感运动，实现了驱动方向与检测方向的运动解耦，并且减少了干扰模态的数目，降低了对加工精度的要求，提高了陀螺仪的灵敏度。
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