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[发明专利]一种半球谐振子芯轴振动检测电路及装置-CN202010923397.7有效
发明人：雷霆;方海滨;卜继军;张挺 -专利权人：中国电子科技集团公司第二十六研究所
申请日： 2020-09-04 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01C19/5677 文献下载
摘要：本发明属于半球谐振陀螺仪领域；具体涉及一种半球谐振子芯轴振动检测电路及装置；所述振动检测电路包括在半球谐振子芯轴的周围设置有多对叉指电极，每对叉指电极与半球谐振子芯轴局部构成一个检测电容；每个所述检测电容均连接有一个电压检测电路；所述电压检测电路包括运算放大器和一个运放电容，所述运放电容的两端分别连接到所述运算放大器的反相端和输出端上；所述检测电容的其中一个叉指电极施加恒定电压，另一个叉指电极与运算放大器的反相端连接，所述运算放大器的同相端接地；所述运算放大器的输出端输出运放输出电压，通过该电压是否变换来判断芯轴是否发生振动；本发明结构简单，能够无接触的检测到芯轴的振动情况。
一种半球谐振子振动检测电路装置

[发明专利]一种三轴MEMS陀螺仪-CN201610744489.2有效
发明人：邹波;王辉;刘爽 -专利权人：深迪半导体（绍兴）有限公司
申请日： 2016-08-27 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01C19/5621 文献下载
摘要：本发明公开了一种三轴MEMS陀螺仪，包括设置于X轴方向上的X轴检测部、Y轴检测部以及Z轴检测部，并且上述三个检测部之间通过外部质量块相互连接，并且所述外部质量块与上述三个检测部之间通过若干根连接弹簧梁相连。上述三轴MEMS陀螺仪，利用一套驱动部件便能够实现对于X轴、Y轴和Z轴的角速度检测，从而节省了陀螺仪的内部空间，降低了成本。
一种 mems 陀螺仪

[发明专利]微机电三轴陀螺仪和电子设备-CN202311182057.3在审
发明人：庄瑞芬;李诺伦 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2023-09-14 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01C19/5691 文献下载
摘要：本申请提供一种微机电三轴陀螺仪和电子设备；包括衬底、第一检测组件、第二检测组件、第三检测组件和驱动框架，第一检测组件和第二检测组件位于衬底的同侧且间隔设置；第一检测组件包括第一质量块，第二检测组件包括第二质量块；驱动框架包括间隔设置的第一驱动框架和第二驱动框架；第一检测组件和第二检测组件位于第一驱动框架和第二驱动框架之间；第三检测组件包括第一检测部和第二检测部，第一检测部位于第一驱动框架内，第二检测部位于第二驱动框架内；第一质量块、第二质量块、第一检测部和第二检测部相互独立。即三个检测轴的质量相互独立，彼此不直接连接，因此本申请提供的一种微机电三轴陀螺仪和电子设备，可降低各检测组件之间的干扰。
微机电三轴陀螺仪电子设备

[发明专利]一种频率匹配式微半球谐振器及制造方法-CN202310657435.2在审
发明人：席翔;吴学忠;肖定邦;卢坤;石岩;陈绎默;张勇猛;孙江坤;蹇敦想 -专利权人：中国人民解放军国防科技大学
申请日： 2023-06-05 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01C19/5691 文献下载
摘要：本发明公开了一种频率匹配式微半球谐振器及制造方法。频率匹配式微半球谐振器包括微壳体结构和刚度放大结构，所述微壳体结构包括壳体及设于所述壳体内的中空支撑柱，所述中空支撑柱的底部为平面，所述刚度放大结构设于所述壳体的外侧，所述刚度放大结构用于使微壳体结构在任意方向上增加相同的等效质量和等效刚度，所述微壳体结构和刚度放大结构采用熔融石英材料一体化制作。本发明在微壳体结构的基础上增加刚度放大结构，可以在任意方向的振型轴上同步增大等效质量和等效刚度，从而即使微壳体结构存在加工制造误差，也可以有刚度放大结构对固有频率进行调控，实现频率匹配。
一种频率匹配式微半球谐振器制造方法

[发明专利]一种半球谐振陀螺的振动隔离装置-CN202310904768.0在审
发明人：王建锋;刘乘泓;隽鸿科;任佳婧;代慧;董金卫;孙圆;刘晟;尹义壮 -专利权人：长安大学
申请日： 2023-07-21 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01C19/5691 文献下载
摘要：本发明一种半球谐振陀螺的振动隔离装置，第一阻尼元件开口与外壳顶部固定，第二阻尼元件开口与底座固定，每个拉簧下端固定在底座上，上端固定在支撑杆上，支撑杆下端固定在第二阻尼元件中，上端固定贯穿第一阻尼元件后突出在外壳上方，拉簧均匀分布在第二阻尼元件外侧，支撑杆与半球谐振陀螺固定连接；第一减振垫固定插接在拖盘上且下端与拖盘下端平齐，第一减振垫上搭接有第二减振垫，拖盘下端面贴合有第三减振垫，第一、第二和第三减振垫形成上下分布的圆柱状通孔，减振套筒自下而上固定插接在通孔中且上端与第二减振垫上端平齐，螺栓贯穿减振套筒并紧固在金属基座中，第二和第三减振垫被夹紧在螺栓和减振套筒之间。
一种半球谐振陀螺振动隔离装置

[发明专利]一种角速度传感器-CN202311045490.2在审
发明人：丹尼尔·拉帕达图 -专利权人：复远芯（上海）科技有限公司
申请日： 2023-08-17 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本申请提供一种角速度传感器，属于传感器技术领域。角速度传感器包括两个沿第一方向排列的驱动模块、两个沿第二方向排列的感测模块、感测模式机械放大结构和两个同步杠杆。感测模式机械放大结构在第一方向的两侧分别与两个驱动模块连接，感测模式机械放大结构在第二方向的两侧分别与两个感测模块连接。两个驱动模块在第二方向的两侧分别与两个同步杠杆的端部连接。同步杠杆包括本体、连接结构和第一弹性连接件，第一弹性连接件的第一端与连接结构连接，第二端与本体连接。第一弹性连接件在第一端与第二端之间具有弯折结构，本申请通过在第一弹性连接件上设置弯折结构可以调节第一弹性连接件的弹性系数，从而节省驱动第一弹性连接件时的功耗。
一种角速度传感器

[发明专利]一种高精度全解耦三轴MEMS陀螺仪-CN202311154782.X在审
发明人：雷龙海;陈东华 -专利权人：华芯拓远（天津）科技有限公司
申请日： 2023-09-08 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：本发明公开了一种高精度全解耦三轴MEMS陀螺仪，包括衬底层；驱动单元，与所述衬底层固定连接，用于提供方向相反的推挽式驱动力；驱动检测单元，用于为驱动端提供差分检测输出信号；第一检测单元，用于检测X方向的角速度；第二检测单元，用于检测Y方向的角速度；第三检测单元，用于检测Z方向的角速度，所述第三检测单元受驱动做蝶翼式运动；反馈检测单元，用于提供Z轴检测输出闭环控制信号。本发明的有益效果是在同一套驱动模式下，实现了对X轴、Y轴、Z轴的全差分角速度测量，陀螺仪芯片尺寸小、器件可靠性、稳定性高，同时提高了陀螺仪的检测灵敏度，并兼顾满足三轴陀螺仪在工作精度上的协调一致问题。
一种高精度全解耦三轴 mems 陀螺仪

[发明专利]紧凑型微机电角速率传感器-CN202310327918.6在审
发明人： L·G·法罗尼;P·卡鲁里;P·费德利;L·奎利诺尼 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G01C19/5691 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及紧凑型微机电角速率传感器。提出了MEMS角速率传感器，MEMS角速率传感器具有在半导体层上被微机械加工的两对悬置质量块。第一对包括彼此相对且镜像的两个质量块。第一对质量块具有驱动结构，以用于在线性方向上生成机械振动。第二对质量块包括彼此相对且镜像的两个质量块。第二对质量块利用耦合元件耦合到第一对驱动质量块。两对质量块被耦合到中心桥。中心桥具有差分配置，以用于排除任何外部干扰。两对质量块中的每个质量块包括不同的部分，以用于检测不同的线性运动和角度运动。
紧凑型微机速率传感器

[发明专利]半球谐振陀螺阻尼不均匀参数辨识方法、设备及存储介质-CN202311140549.6在审
发明人：卢广锋;王飞;王凡;杨程宇 -专利权人：湖南二零八先进科技有限公司
申请日： 2023-09-06 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G01C19/5691 文献下载
摘要：本发明公开了一种半球谐振陀螺阻尼不均匀参数辨识方法、设备及存储介质，该方法包括实时采集转台角速度以及半球谐振陀螺输出的驻波方位角；根据转台角速度以及驻波方位角计算出角速度偏差测量值，进而得到同一转台角速度下、不同采样时刻的驻波方位角及其对应的角速度偏差测量值；改变转台角速度，直到采样轮次达到设定采样轮次，得到不同转台角速度下、不同采样时刻的驻波方位角及其对应的角速度偏差测量值；根据所有驻波方位角及其对应的角速度偏差测量值构建数据集；构建参数辨识模型，并求解参数辨识模型，得到待辨识参数。本发明提高了参数辨识准确性和辨识效率。
半球谐振陀螺阻尼不均匀参数辨识方法设备存储介质

[发明专利]一种MEMS半球陀螺仪及其制备方法-CN202111110197.0有效
发明人：丁景兵;曹卫达;黄斌;陈博;赵井宇 -专利权人：华东光电集成器件研究所
申请日： 2021-09-23 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G01C19/5691 文献下载
摘要：本发明提供一种MEMS半球陀螺仪及其制备方法，它包括由谐振器主体、半球槽、多晶硅谐振子、玻璃盖板、玻璃衬底组成的一种半球谐振陀螺仪，通过在谐振器主体上依次设置绝缘沟槽、半球槽、多晶硅谐振子、玻璃盖板、玻璃衬底以及金属pad点。本发明具有结构简单，封装测试方便的优点，利用正反面晶圆级键合工艺、poly‑TSV刻蚀填充工艺、吸气剂沉积工艺确保键合后的芯片长时间处在高真空工作环境，提高陀螺品质因数，有利于大批量、低成本微半球陀螺制备。
一种 mems 半球陀螺仪及其制备方法

[发明专利]一种基于低损耗半球谐振子图案化电极的谐振陀螺-CN202310923069.0有效
发明人：韦路锋;赵小明;韩鹏宇;冯小波;王妍妍;崔云涛;田纪遨 -专利权人：中国船舶集团有限公司第七〇七研究所
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G01C19/5691 文献下载
摘要：本发明涉及陀螺技术领域，尤其涉及一种基于低损耗半球谐振子图案化电极的谐振陀螺，包括半球谐振子及图案化电极，图案化电极包括基础电极、环形电极、电极条及辅助导电电极，基础电极镀设于谐振子内圆柱外表面及谐振子内圆角表面，环形电极镀设于谐振子唇沿上表面或镀设于谐振子唇沿下方的谐振子内球面，电极条为多个镀设于谐振子内球面且分别与基础电极、环形电极导通，辅助导电电极沿着谐振子内圆角表面向谐振子内球面延伸。本发明提供的陀螺提高了半球谐振子的Q值，提升了谐振陀螺的精度。
一种基于损耗半球谐振子图案电极谐振陀螺

[发明专利]一种具有环形拓扑梳齿的双模高精度微机械陀螺结构-CN202311130368.5在审
发明人：曹慧亮;刘学;刘俊;石云波;唐军;申冲 -专利权人：中北大学
申请日： 2023-09-04 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G01C19/5684 文献下载
摘要：本发明涉及微机械振动陀螺，具体是一种具有环形拓扑梳齿的双模高精度微机械陀螺结构。本发明解决了现有微机械振动陀螺精度较差的问题。一种具有环形拓扑梳齿的双模高精度微机械陀螺结构，包括玻璃基底、谐振子部分、电极部分；所述谐振子部分包括圆柱状中心锚点、圆环状谐振质量、八根轮辐状内侧弹性支撑悬梁、八根轮辐状外侧弹性支撑悬梁；所述电极部分包括八对弧形内层电极、八对弧形外层电极、八对单侧梳齿形电极A、八对单侧梳齿形电极B、八对单侧梳齿形电极C、八对单侧梳齿形电极D、八对单侧梳齿形电极E、八对单侧梳齿形电极F。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。
一种具有环形拓扑梳齿双模高精度微机陀螺结构

[发明专利]传感器元件、传感器、电子设备以及移动体-CN201810241095.4有效
发明人：西泽龙太;山口启一 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2018-03-22 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明提供传感器元件、传感器、电子设备以及移动体。该传感器元件的特征在于，具有：基部；驱动臂，其从所述基部或者与所述基部连结的部分起延伸；以及检测臂，其从所述基部起延伸，所述驱动臂具有：驱动臂部，其从所述基部或者与所述基部连结的部分起延伸，以及驱动施重部，其相对于所述驱动臂部设置于末端侧，宽度比所述驱动臂部宽，在设所述驱动施重部的沿着所述驱动臂的延伸方向的长度为DHL、所述驱动施重部的沿着俯视时的与所述延伸方向垂直的方向的宽度为DHW时，满足1.5≤DHL/DHW的关系。
传感器元件电子设备以及移动

[发明专利]一种半球谐振子的高压稳定偏置电路-CN201910514299.5有效
发明人：张勇刚;郜中星;徐睿东;彭斌 -专利权人：哈尔滨工程大学
申请日： 2019-06-14 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明属于半球谐振陀螺控制系统领域，具体涉及一种半球谐振子的高压稳定偏置电路。包括高精度的R1和R2电阻、精密参考电压源Vref、两个三极管Q1和Q2、运算放大器、稳定性低的高压电源V1、必要的限流与分压电阻、二极管；本发明输出电压的精度取决于电阻R1、电阻R2以及参考电源Vref的精度，不受原始高压电源V1幅度变化的影响。当两个三极管轮流导通时，所在支路上都串联了一个大电阻，在不影响电路功能的前提下又使得三极管导通时流过的电流极小，从而让现有规格的三极管能轻易地满足耗散功率的要求。本发明设计思路巧妙，原理简单，周期短，成本低，易于调试。
一种半球谐振子高压稳定偏置电路

[发明专利]半球谐振陀螺及其半球谐振子质量调平方法、设备及介质-CN202311113366.5在审
发明人：王飞;卢广锋;王凡;易竹青 -专利权人：湖南二零八先进科技有限公司
申请日： 2023-08-31 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01C19/5691 文献下载
摘要：本发明公开了一种半球谐振陀螺及其半球谐振子质量调平方法、设备及介质，该方法包括构建与频率裂解测试值对应的半球谐振子的缺陷模型；获取质量去除块的参数取值范围，构建向量空间，并对向量空间进行采样，得到质量去除块的参数具体值；根据参数具体值，对缺陷模型进行质量去除；对质量去除后的缺陷模型进行仿真计算，得到第一频率裂解仿真值；若第一频率裂解仿真值达到设定值，则输出质量去除块的参数理想值，否则对向量空间进行下一轮采样、质量去除，直到第一频率裂解仿真值达到设定值；利用参数理想值对实际加工后的半球谐振子进行质量去除。本发明大幅减少了实际调平去除质量的次数，提高了调平效率。
半球谐振陀螺及其谐振子质量平方设备介质

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