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[发明专利]一种面向太赫兹波检测的MEMS碱金属原子气室及其圆片级制备方法-CN202310982139.X在审
发明人：赵锐;唐军;刘俊;马宗敏;李中豪;石云波;冯萌阳;郑健 -专利权人：中北大学
申请日： 2023-08-07 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：本发明涉及太赫兹波检测以及量子技术领域，具体为一种面向太赫兹波检测的MEMS碱金属原子气室及其圆片级制备方法，碱金属原子气室包括上层石英键合层、下层石英键合层、中间层硅片、碱金属填充腔、光学腔、微通道。碱金属填充腔、光学腔以及微通道位于中间层硅片，碱金属填充腔与光学腔贯穿硅片并被上层石英键合层和下层石英键合层密封，形成一个全密封式的气室结构。所述碱金属填充腔中填充有碱金属合金。所述微通道将所述碱金属填充腔与所述光学腔连通，其深度小于所述中间层硅片厚度。本发明解决了太赫兹波检测技术中面临的检测窗口能量衰减的问题，提供了一种微型化、高效、精确的太赫兹波检测方案，具备广泛的应用前景。
一种面向赫兹检测 mems 碱金属原子及其圆片级制备方法

[发明专利]一种异型碱金属原子气室结构及其制备方法-CN202310983349.0在审
发明人：赵锐;刘俊;唐军;马宗敏;石云波;李中豪;郑健;冯萌阳 -专利权人：中北大学
申请日： 2023-08-07 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01R29/08 文献下载
摘要：本发明提出了一种异型碱金属原子气室结构及其制备方法，涉及量子传感技术领域。本发明面向新型量子仪表对敏感表头的小体积、高集成度的实况需求，发明了一种高性能晶圆级异型碱金属气室阵列和真空封装技术，以原子气室工作条件和微纳加工技术为理论和技术基础，设计和优化高性能异型碱金属原子气室结构，提出高真空度的全玻璃碱金属原子气室工艺制备方法，全玻璃封装的原子气室能够保证光束的工作正交，同时本腔室平面窗口与常规腔室弧形窗口相比不易使光束的偏振变化，且平坦的表面和确定的气室尺寸便于与原子传感器集成，便于实现微小型，高稳定性碱金属原子气室批量化制备，解决原子传感器集成化发展的问题。
一种异型碱金属原子结构及其制备方法

[发明专利]一种具有环形拓扑梳齿的双模高精度微机械陀螺结构-CN202311130368.5在审
发明人：曹慧亮;刘学;刘俊;石云波;唐军;申冲 -专利权人：中北大学
申请日： 2023-09-04 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G01C19/5684 文献下载
摘要：本发明涉及微机械振动陀螺，具体是一种具有环形拓扑梳齿的双模高精度微机械陀螺结构。本发明解决了现有微机械振动陀螺精度较差的问题。一种具有环形拓扑梳齿的双模高精度微机械陀螺结构，包括玻璃基底、谐振子部分、电极部分；所述谐振子部分包括圆柱状中心锚点、圆环状谐振质量、八根轮辐状内侧弹性支撑悬梁、八根轮辐状外侧弹性支撑悬梁；所述电极部分包括八对弧形内层电极、八对弧形外层电极、八对单侧梳齿形电极A、八对单侧梳齿形电极B、八对单侧梳齿形电极C、八对单侧梳齿形电极D、八对单侧梳齿形电极E、八对单侧梳齿形电极F。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。
一种具有环形拓扑梳齿双模高精度微机陀螺结构

[发明专利]一种基于静电压电双驱动的高灵敏度壳体谐振陀螺仪-CN202310710966.3在审
发明人：蔡麒;刘俊;石云波;张晓明;唐军;曹慧亮;申冲;魏雯强;崔让;张桐林 -专利权人：中北大学
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01C19/5691 文献下载
摘要：本发明涉及壳体谐振陀螺仪，具体是一种基于静电压电双驱动的高灵敏度壳体谐振陀螺仪。本发明解决了现有壳体谐振陀螺仪灵敏度较低的问题。一种基于静电压电双驱动的高灵敏度壳体谐振陀螺仪，包括支撑方盘、八根支撑螺杆、八个锁紧螺母、支撑圆盘、支撑圆管、两个驱动平面电极、两个检测平面电极、两个驱动模态反馈平面电极、两个检测模态补偿平面电极、八根导电圆柱、八个导电膜片、谐振子、中心圆管、四个驱动压电电极、四个检测模态补偿压电电极、紧固螺栓。本发明适用于航空、航天、航海、工业、农业、交通等领域。
一种基于静电压电驱动灵敏度壳体谐振陀螺仪

[发明专利]一种基于蠕动电极的MEMS气动控制微系统-CN202310272914.2在审
发明人： 石云波;赵锐;栗文凯;沈富明;马昊天;李艳 -专利权人：中北大学
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B64C13/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于蠕动电极的MEMS气动控制微系统，涉及微型飞行器控制领域。该系统包括致动器、传递器、控制面及反馈器，致动器主要包括蠕动电极、驱动臂和位移梭结构；传递器包括传递梁、旋转槽和杠杆结构；控制面包括固定卡槽和垂直机翼，通过对垂直机翼的偏转角度的调节来完成对飞行器轨迹的调控；反馈器包括偏转梁、扩散电阻和固定锚点，采用微小应力变化敏感的特点来实现对复杂的气动升力的测量。本发明使用蠕动电极结构作为致动器的动力产生部分，借助其可积累力和位移的特点，实现了高的气动升力的产生，同时减小了系统的整体面积。借助压阻式传感器进行反馈调节，减少了复杂的气动升力的测量过程，同时也为系统的自调节提供了帮助。
一种基于蠕动电极 mems 气动控制系统

[发明专利]一种气室镀膜能量转移与弛豫特性的纳米尺度同时显微测量系统-CN202011539396.9有效
发明人：刘俊;马宗敏;唐军;石云波;张晓明;郭浩;温焕飞;董诚;魏久焱 -专利权人：中北大学
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：一种气室镀膜能量转移与弛豫特性的纳米尺度同时显微测量系统，由空间弛豫特性检测单元、原子力显微镜能量转移微区检测单元、屏蔽筒、镀膜碱金属原子气室、数据处理单元和磁场控制线圈组成。空间弛豫特性检测单元由激光器、光隔离器、空间光滤波器、反射镜、格兰泰勒透镜、四分之一波片、空间光调制器、聚焦透镜、四分之一波片、偏振片、PD检测单元、I/V放大单元、数据采集单元、分光镜、光学斩波器组成；能量转移微区检测单元由镀膜样品、探针、起振器、激光器、四象限光电探测单元、带通滤波器单元、自动增益控制器、加法器、压电扫描筒、样品台和PI控制器组成。本发明用于碱金属原子气室中抗弛豫镀膜碰撞能量转移与碱金属弛豫时间的关联表征。
一种镀膜能量转移特性纳米尺度同时显微测量系统

[发明专利]一种多阶梯周期光栅结构及其制备方法-CN202310349195.X在审
发明人： 石云波;赵锐;祖凯旋;沈富明;张旭;刘豪 -专利权人：中北大学
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种多阶梯周期光栅结构及其制备方法，涉及微位移检测技术领域。包括周期性的多阶梯光栅结构，每个周期的多阶梯光栅结构均包括衬底基板与四阶梯光栅结构，四阶梯光栅结构均设于衬底基板上，四阶梯光栅结构按照单周期内从右到左的顺序，分别为第一阶梯光栅结构、第二阶梯光栅结构、第三阶梯光栅结构、第四阶梯光栅结构，为三个不同高度的层结构阵列。本发明通过结构改进实现对零级衍射光的调控削弱，以达到提高检测系统激光器稳定性的效果，通过对应制备方法所制备的多阶梯周期光栅结构具有零级光调控减弱作用，能够实现一定范围的光强调控，同时便于制备和集成，具备较高的衍射效率，能够应用于集成化高精度位移检测领域中。
一种阶梯周期光栅结构及其制备方法

[发明专利]一种基于金刚石NV色心用于心磁测量的磁强计及心磁测量系统-CN202010491935.X有效
发明人：马宗敏;刘俊;秦丽;张晓明;郑斗斗;石云波;唐军;郭浩;王孝成 -专利权人：中北大学
申请日： 2020-06-03 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： A61B5/243 文献下载
摘要：本发明涉及一种长方体型基于金刚石NV色心用于心磁测量的高荧光收集效率的磁强计及心磁测量系统，由磁屏蔽室、无磁床、心磁测量阵列探头、三轴位移平台、高速率数据采集卡、光纤激光源、微波源、计算机构成。其中，心磁测量阵列探头由无磁外壳、步进电机、多孔旋转式光纤耦合装置、光纤束集、特制光电探测器(PD)、滤波片、环状天线、特制金刚石组成。具有维护成本低，灵敏度高，可调节性强的特点，是新一代的高精度高效率低成本的心磁图仪系统。
一种基于金刚石 nv 色心用于测量磁强计系统

[发明专利]一种力反馈高灵敏MOEMS集成加速度传感器-CN202310422641.5在审
发明人： 石云波;刘俊;赵锐;沈富明;栗文凯;祖凯旋;刘豪;张旭 -专利权人：中北大学
申请日： 2023-04-20 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G01P15/03 文献下载
摘要：本发明属于传感器技术领域，具体为一种力反馈高灵敏MOEMS集成加速度传感器，解决了其对低刚度、抗横向干扰机械敏感结构和高性能力反馈方式的需求，包括外部壳体、电磁反馈部分、机械敏感结构和光学检测模块，电磁反馈部分包括永磁铁和圆形线圈，机械敏感结构包括质量块和悬臂梁，光学检测模块包括反射薄膜、光栅、玻璃平面、光电探测器、激光器和基底。本发明通过低刚度机械敏感结构与光学检测技术结合，提高了加速度传感器灵敏度，旋转对称放置的悬臂梁减小横向灵敏度，设计的线圈和永磁铁可以提供较大的电磁力，反馈电磁力与输入电流呈线性关系，使质量块维持在原始位置，该传感器稳定性好、抗电磁干扰，可对加速度信号进行高精度检测。
一种反馈灵敏 moems 集成加速度传感器

[发明专利]高精度芯片寿命检测电路和集成电路芯片-CN202211708861.6在审
发明人： 石云波;要志礼;曾波;杨志明 -专利权人：成都蜀郡微电子有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：高精度芯片寿命检测电路和集成电路芯片，涉及集成电路技术。本发明的高精度芯片寿命检测电路包括：快速老化延迟模块，其输入端连接检测电路输入端，输出端接异或门的第一输入端；标准延迟模块，其输入端连接检测电路输入端，输出端接异或门的第二输入端；异或门，其输出端作为检测电路的输出端；所述快速老化延迟模块包括N个串联的反相器模块，其中每个反相器模块的输入端皆通过可控开关连接到地电平端，N为预设的自然数且N3；所述标注延迟模块包括N个串联的反相器模块。采用本发明的技术，可以准确的识别出芯片是否为已经使用过的回收物，解决了回收芯片的鉴别问题。
高精度芯片寿命检测电路集成电路

[发明专利]MCU异常恢复方法-CN202211704325.9在审
发明人：杨志明;胡志刚;要志礼;石云波 -专利权人：成都蜀郡微电子有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G06F11/14 文献下载
摘要：MCU异常恢复方法，本发明包括下述步骤：(1)MCU正常工作状态下，按照预设流程对看门狗模块执行喂狗操作，将MCU的指令数据按时间分组，对分组形成的指令组按组进行备份，备份仅保存当前指令组以及当前指令组以前的预定组数的指令组；所备份的指令数据包括写数据类型标识符、写数据地址、写数据地址保存的原始数据和指令地址；(2)当看门狗未在预定时间内获得喂狗信号，看门狗发出复位信号，并停止备份；(3)MCU复位后，读取备份指令并执行，直至执行完所有的备份指令后，进入正常工作状态，返回步骤(1)。本发明可以提升MCU在特殊环境下工作的效率。
mcu 异常恢复方法

[发明专利]非交换量子几何相位NV色心陀螺-CN201610541113.1有效
发明人：马宗敏;刘俊;秦丽;石云波;张晓明;曹慧亮;赵敏;王芳;张少文 -专利权人：中北大学
申请日： 2016-07-11 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01C19/62 文献下载
摘要：本发明为一种非交换量子几何相位NV色心陀螺，包括角速率敏感单元（3），所述角速率敏感单元包括屏蔽箱外壳（303），所述屏蔽箱外壳上开设激光入射口（305），所述屏蔽箱外壳内通过线圈底座（308）安装三轴亥姆霍兹线圈（307）；所述三轴亥姆霍兹线圈内通过金刚石支架（309）安装含有集群NV色心的金刚石（302），所述金刚石支架上安装微波‑射频天线（301），所述金刚石支架上位于金刚石四周安装光电二极管（311）。应用原子激发、量子调控等前沿技术，在激光、外加磁场、微波和射频的作用下对NV色心能级进行调控，利用锁频技术检测频率跃迁并用荧光数量布居变化进行收集和读取，研制高性能的非交换量子几何相位NV色心陀螺。
交换量子几何相位 nv 色心陀螺

[发明专利]一种基于能量累积的冲击等效试验方法-CN202211669759.X在审
发明人： 石云波;陈玉楠;刘俊;赵锐;唐军;张鹏;郭萃 -专利权人：中北大学
申请日： 2022-12-25 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G01N3/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于能量累积的冲击等效试验方法，涉及惯性载荷动态冲击试验领域。该方法首先建立过载冲击下的物理分析模型，并确定外部惯性载荷形式；利用该物理模型，建立结构的控制方程、几何方程及本构方程；利用离散差分技术计算弹塑性响应过程，并获得相应的能量值；对比并选定主能量，绘制能量累积等值线图；提取能量累积等值线并进行数值拟合，确定合适的拟合函数；根据选定的拟合函数建立长短脉宽之间的等效关系。本发明能够充分考虑弹塑性理论下结构的动态响应过程，从能量累积的角度建立长/短脉宽之间的等效准则，为动态冲击环境所需惯性载荷参数的选择提供指导，进一步推动极端过载模拟环境试验等效方法的工程化进程。
一种基于能量累积冲击等效试验方法

[发明专利]MCU处理器核电路结构和MCU跑飞就近恢复现场方法-CN202211704346.0在审
发明人：曾波;杨志明;石云波;胡志刚 -专利权人：成都蜀郡微电子有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G06F11/14 文献下载
摘要：MCU处理器核电路结构和MCU跑飞就近恢复现场方法，涉及单片机技术。本发明的MCU处理器核电路结构包括控制模块、取指模块、译码模块、执行模块、存储器模块、指令存储模块和寄存器模块，其特征在于，还包括备份模块、编码器模块和备份指令存储模块，所述备份模块分别连接至编码模块、译码模块、执行模块、存储器模块和寄存器模块，所述备份指令存储模块分别连接至编码模块、取指模块。本发明可以使MCU自动回退到固定时间间隔前的断点处而不必从头重新开始执行，从而提升MCU在特殊环境下工作的效率与可靠性。
mcu 处理器核电结构就近恢复现场方法

[实用新型]一种蛋白检测的试纸取样装置-CN202222829952.7有效
发明人：何凡;祝亮;肖文超;石云波 -专利权人：湖南卓润生物科技有限公司
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2023-02-21 - 主分类号： G01N33/68 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蛋白检测的试纸取样装置，包括底座，所述底座的顶部固定安装有支架，所述支架的底部设置有气缸，所述气缸的底部设置有滴管，所述底座的顶部设置有固定机构，所述固定机构包括基座、电机、螺纹杆、滑块、固定板、电动推杆和压紧板，所述底座的内部设置有数量为两个的基座，两个所述基座的相对一侧均固定安装有电机。该蛋白检测的试纸取样装置，首先将试纸放在放置台上，此时控制面板驱动电机启动，电机会带动螺纹杆转动，使两个滑块向相对方向移动，并带动两个固定板同步向相对方向移动，然后两个电动推杆会带动压紧板将试纸夹紧，最后电磁阀启动，将待检物由容纳箱经滴管滴在试纸的检测带上即可。
一种蛋白检测试纸取样装置

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