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[发明专利]一种基于体振动的翻转倾斜检测结构-CN202110476481.3有效
发明人：占瞻;马昭;阚枭;杨珊;李杨;陈秋玉;洪燕;黎家健 -专利权人：瑞声开泰科技(武汉)有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2021-04-29 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G01C9/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于体振动的翻转倾斜检测结构，包括固定基底；锚点结构，锚点结构叠设于固定基底并与固定基底连接；振动结构，振动结构呈环状，振动结构与锚点结构形成机械耦合，并与固定基底间隔；面内换能器，沿该检测结构的中心圆周分布在最外侧，每个面内换能器均与固定基底连接，且相邻两个面内换能器之间间隔设置；面外换能器，沿该检测结构的中心圆周分布于振动结构与固定基底之间，每个面外换能器均与固定基底连接，且与振动结构间隔设置，相邻两个面外换能器之间间隔设置；该检测结构工作在结构面内的3θ体振动驱动模态以及工作在结构面外的第2阶弯曲体振动检测模态，两个体振动模态可相互互换。本发明能够提高检测结构的灵敏度。
一种基于振动翻转倾斜检测结构

[发明专利]微机械陀螺仪及电子产品-CN202210214435.0在审
发明人：马昭;占瞻;阚枭;杨珊;严世涛;彭宏韬;李杨;黎家健;陈秋玉;洪燕 -专利权人：瑞声开泰科技（武汉）有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2022-03-04 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G01C19/5712 文献下载
摘要：本发明提供了一种微机械陀螺仪及电子产品，该微机械陀螺仪包括驱动组件、检测组件、两个第一连接组件和两个第二连接组件。其中，驱动组件包括第一驱动件、第二驱动件和驱动装置，驱动装置用于驱动第一驱动件和第二驱动件运动；检测组件包括沿第三方向布置的两个第一检测件、沿第四方向布置的两个第二检测件和检测装置，检测装置用于检测第一检测件和/或第二检测件沿第五方向的运动距离；第一连接组件和第二连接组件分别绕其圆心转动，以使第二检测件能够沿第三方向往复运动、第一检测件能够沿第四方向往复运动。本发明的微机械陀螺仪及电子产品可以实现差分检测，有效免疫加速度冲击以及正交误差的影响。
微机陀螺仪电子产品

[发明专利]一种微机械陀螺仪及电子产品-CN202310517447.5在审
发明人：马昭;杨珊;严世涛;占瞻;阚枭;彭宏韬;陈秋玉;李杨;黎家健 -专利权人：瑞声开泰科技（武汉）有限公司
申请日： 2023-05-06 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明提供一种微机械陀螺仪及电子产品，微机械陀螺仪包括第一质量块、多个第二质量块、多个驱动件、多个第一柔性梁和多个第二柔性梁，第一质量块设置有安装区域；多个第二质量块沿第一方向分布；多个驱动件沿第一方向分布，且多个第二质量块沿第一方向的相对两侧分别设置有驱动件；多个驱动件和多个第二质量块均位于安装区域内，第一质量块环绕于多个驱动件和多个第二质量块的外侧；每个驱动件与第一质量块通过第一柔性梁连接，每个第二质量块和与其相邻的驱动件通过第二柔性梁连接。该种微机械陀螺仪及电子产品，能够提高第一质量块的哥氏转化率，进而能够最大化利用芯片面积。
一种微机陀螺仪电子产品

[发明专利]一种微机械陀螺仪及电子产品-CN202310344613.6在审
发明人：杨珊;马昭;占瞻;严世涛;阚枭;李杨;彭宏韬;陈秋玉;黎家健;潘在祥 -专利权人：瑞声开泰科技（武汉）有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明提供一种微机械陀螺仪及电子产品，该微机械陀螺仪包括第一传感组件、第二传感组件、驱动件、第一耦合梁和第二耦合梁。驱动件位于第一传感组件和第二传感组件的沿第一方向相对设置的两侧。第一传感组件通过第一耦合梁与驱动件连接。第二传感组件通过第二耦合梁与驱动件连接。第一耦合梁沿第二方向的刚度大于第一耦合梁沿第三方向的刚度，第三方向垂直于第一平面。第二耦合梁沿第二方向的刚度大于第二耦合梁沿第一方向的刚度。本申请的微机械陀螺仪及电子产品的工作精度较高。
一种微机陀螺仪电子产品

[发明专利]一种加速度计-CN202310275440.7在审
发明人：严世涛;杨珊;占瞻;马昭;阚枭;李杨;陈秋玉;黎家健;彭宏韬;钟浩明;潘在祥 -专利权人：瑞声开泰科技（武汉）有限公司
申请日： 2023-03-16 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明涉及一种加速度计，加速度计包括基底，基底具有锚点，其中外耦合单元呈环状，且与基底平行，第一扭转板设置在外耦合单元内侧，且和锚点连接，第一扭转板靠近锚点的一侧设置有内耦合梁，第二扭转板设置在外耦合单元的内侧，且和锚点连接，第二扭转板通过两个内耦合梁和第一扭转板连接，第二扭转板和第一扭转板相互嵌合，第一扭转板和第二扭转板沿第二方向对称，两个扭梁沿第一方向分别位于内耦合梁的两侧，第一扭转板和第二扭转板能够分别围绕扭梁转动，本发明提供的方案能够降低交叉耦合，并提高加速度计的精确度和抗干扰性。
一种加速度计

[发明专利]一种加速度计-CN202310380682.2在审
发明人：严世涛;阚枭;马昭;占瞻;杨珊;李杨;陈秋玉;黎家健;彭宏韬;钟浩明;潘在祥 -专利权人：瑞声开泰科技（武汉）有限公司
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种加速度计，加速度计包括基底和检测装置，基底具有相邻设置的支撑锚点和电极固定锚点，检测装置包括两个检测板以及对应设置的检测电极，检测电极通过连接臂和电极固定锚点连接，检测板弹性连接于支撑锚点，且两个检测板相对于支撑锚点的轴线非对称设置，两者相互平行且方向相反，检测电极和检测板间隔设置，用于形成检测电容，其中，加速度计包括两个检测装置，且两个检测装置位于同一平面内，两个检测装置中的检测板分别相互垂直设置，同一检测装置的两个检测板相邻设置，不同检测装置之间的面内检测电极之间的走线可以相互分离，不相互交叉，减小了复杂走线带来的寄生电容的影响，从而提高了加速度计的检测精确度。
一种加速度计

[发明专利]一种盲波束指向空域滤波处理方法、装置及设备-CN202010072033.2有效
发明人：任超;郑永翔;占瞻 -专利权人：北京北斗星通导航技术股份有限公司
申请日： 2020-01-21 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： H04B7/06 文献下载
摘要：一种盲波束指向空域滤波处理方法、装置、设备和计算机可读存储介质，其中，所述方法包括：根据空时滤波器的输入信号确定样本协方差矩阵；在球形约束下搜索最优的期望信号空时导向矢量，根据所述最优的期望信号空时导向矢量确定约束矩阵；根据所述样本协方差矩阵和所述约束矩阵确定空时自适应滤波系数；利用所述空时自适应滤波系数对所述输入信号进行滤波处理。本申请实施例通过在球形约束下得到最优的期望信号空时导向矢量，实现了无期望信号先验条件下的宽带波束形成，并增强了波束形成的稳健性。
一种波束指向空域滤波处理方法装置设备

[发明专利]MEMS陀螺仪-CN202011490577.7有效
发明人：占瞻;马昭;阚枭;杨珊;李杨;谭秋喻;洪燕;黎家健 -专利权人：瑞声科技（南京）有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： G01C19/5712 文献下载
摘要：本发明提供了一种MEMS陀螺仪，包括环形结构以及绕环形结构的中心圆周均匀分布并经第一连接部与环形结构内侧或外侧连接的多个质量块；相邻两个质量块之间通过第二连接部连接，质量块通过弹性结构连接锚点，环形结构为正4N角星，质量块的数量为4N个，其中，N为整数，且N≥2。本发明的MEMS陀螺仪采用多段直线构型的星形，直线构型使星形的边内呈现统一的杨氏模量，最终提升了星形结构的杨氏模量均匀性，可以更好地发挥星形轴对称结构振动的各项同性特点，驱动模态与检测模态具有更小的频率差，拥有更高的灵敏度。而且参与角速度敏感的质量块布满MEMS陀螺仪的非敏感限制区域，可拥有更大的哥氏力，极大提升了芯片的面积使用率，增加了传感器的灵敏度。
mems 陀螺仪

[发明专利]双轴陀螺仪及电子设备-CN202310354638.4在审
发明人：杨珊;阚枭;占瞻;严世涛;马昭;彭宏韬;李杨;陈秋玉;黎家健;潘在祥;钟浩明 -专利权人：瑞声开泰科技（武汉）有限公司
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G01C19/5642 文献下载
摘要：本发明提供了一种双轴陀螺仪及电子设备，双轴陀螺仪包括第一质量块、第二质量块、驱动装置及检测装置。第一质量块能够绕第一锚点在第一平面内摆动，且第一质量块能够绕第一锚点的第一中心轴摆动；第二质量块能够绕第二锚点在第一平面内摆动，且第二质量块能够绕第二锚点的第二中心轴摆动；多个第一质量块沿第二方向分布，多个第二质量块沿第二方向分布，相邻第一质量块之间通过第一耦合连杆强耦合连接，相邻第二质量块之间通过第二耦合连杆强耦合连接，提升了第一质量块、第二质量块的位移比的准确性，提升了双轴陀螺仪的工作准确性及稳定性；同时，降低了第一质量块、第二质量块的加工精度的需求，进而降低了双轴陀螺仪、电子设备的加工成本。
陀螺仪电子设备

[发明专利]MEMS陀螺仪-CN202011373477.6有效
发明人：占瞻;马昭;阚枭;杨珊;李杨;谭秋喻;洪燕;黎家健 -专利权人：瑞声科技（南京）有限公司
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G01C19/5621 文献下载
摘要：本发明提供了MEMS陀螺仪，包括环形结构、连接于环形结构的第一耦合结构、连接于第一耦合结构的质量块、与质量块相连的锚点、连接于相邻的质量块之间的第二耦合结构及连接于环形结构和质量块的换能组件，MEMS陀螺仪包括4N个绕环形结构的中心等角度排布的质量块，N为大于等于2的整数，质量块包括与第一耦合结构相连且开设有收容槽的主体及连接于主体且位于收容槽内的弹性结构，锚点设置于收容槽内且与弹性结构相连。本方案能够提高芯片区域的面积使用率，增加灵敏度，提高偏置稳定性，提升其检测性能，降低机械噪声。
mems 陀螺仪

[发明专利]一种微机械陀螺仪及电子产品-CN202310127020.4在审
发明人：马昭;严世涛;杨珊;占瞻;阚枭;李杨;陈秋玉;黎家健 -专利权人：瑞声开泰科技（武汉）有限公司
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G01C19/5712 文献下载
摘要：本发明提供了一种微机械陀螺仪及电子产品，微机械陀螺仪包括第一质量块、第二质量块、驱动件、第一连接梁和第二连接梁，第一质量块和第二质量块均设置有多个，第一质量块沿第一方向相对设置，第二质量块位于第一质量块之间，沿与第一方向垂直的第二方向，第二质量块相对设置；驱动件设置有多个，沿第二方向，驱动件位于第一质量块和第二质量块的相对两侧；第一连接梁和第二连接梁均为柔性梁；其中，第一质量块沿第二方向的两端分别通过第一连接梁和位于第一质量块两侧的驱动件连接，第二质量块和与其相邻的驱动件之间通过第二连接梁连接。本发明提供的微机械陀螺仪及电子产品，降低了质量块在不同模态下的互相干扰程度，有利于提高检测精度。
一种微机陀螺仪电子产品

[发明专利]一种微机械陀螺仪及电子产品-CN202310131702.2在审
发明人：杨珊;阚枭;占瞻;严世涛;马昭;彭宏韬;钟浩明;潘在祥;黎家健;陈秋玉;李杨 -专利权人：瑞声开泰科技（武汉）有限公司
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明提供一种微机械陀螺仪及电子产品，微机械陀螺仪包括第一质量块、第二质量块和耦合部件，第一质量块设置有多个，沿第一方向，多个第一质量块分别位于第二质量块的相对两侧；耦合部件包括耦合连杆和连接于耦合连杆两端的多个连接梁，连接梁为柔性梁，耦合部件位于第一质量块和第二质量块之间，并将第一质量块和第二质量块连接，其中，连接于耦合连杆一端的连接梁与第一质量块连接，连接于耦合连杆另一端的连接梁与第二质量块连接。该种微机械陀螺仪及电子产品，通过耦合连杆的设置，能够使得第一质量块和第二质量块之间实现强耦合，使得微机械陀螺仪工作时抗干扰性加强，提高工作稳定性。
一种微机陀螺仪电子产品

[发明专利]一种微机械陀螺仪及电子产品-CN202310127029.5在审
发明人：马昭;阚枭;严世涛;杨珊;占瞻;李杨;陈秋玉;黎家健 -专利权人：瑞声开泰科技（武汉）有限公司
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G01C19/5712 文献下载
摘要：本发明提供微机械陀螺仪及电子产品，微机械陀螺仪包括第一质量块、第二质量块、第一驱动件、第二驱动件、第一耦合部件和第二耦合部件，第一质量块沿第一方向相对设置，第二质量块、第一驱动件和第二驱动件位于第一质量块之间，第一驱动件和第二驱动件沿第一方向相对设置，沿第二方向，第二质量块位于第一驱动件和第二驱动件的相对两侧；位于第一驱动件背离第二驱动件的一侧的第一质量块与第一驱动件通过第一耦合部件连接，位于第二驱动件背离第一驱动件的一侧的第一质量块与第二驱动件通过第一耦合部件连接，第二质量块沿第一方向的两端分别通过第二耦合部件与第一驱动件和第二驱动件连接。如此设置，能够降低质量块在不同模态下的互相干扰程度。
一种微机陀螺仪电子产品

[发明专利]一种正交布置的多质量MEMS陀螺-CN202211334211.X在审
发明人：马昭;杨珊;占瞻;严世涛;阚枭;彭宏韬;李杨;黎家健;陈秋玉 -专利权人：瑞声开泰科技(武汉)有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明提供了一种正交布置的多质量MEMS陀螺，包括锚点单元、传感单元以及驱动单元；锚点单元包括位于一矩形中心的中心锚点子单元和四个分别位于矩形四角的角部锚点；传感单元包括四个呈框架结构且分别弹性连接于中心锚点子单元和各角部锚点之间并相互形成让位空间的检测质量块，以及四个分别位于各检测质量块内部的检测解耦件；驱动单元包括四个分别位于各让位空间内的驱动质量块，以及分别弹性连接于各驱动质量块的驱动解耦件。本发明的陀螺能够提高换能器的布置面积，并减小检测质量块的质量以提高哥式增益，从而提高陀螺仪的机械灵敏度。
一种正交布置质量 mems 陀螺

[发明专利]一种基于体振动的翻转倾斜检测结构-CN202110474727.3有效
发明人：杨珊;占瞻;马昭;阚枭;李杨;黎家健;洪燕;陈秋玉 -专利权人：瑞声开泰科技(武汉)有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2021-04-29 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： G01M7/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于体振动的翻转倾斜检测结构，包括基底；锚点结构，固定于所述基底；星形振动结构，悬置于所述基底上并与所述锚点结构机械耦合，所述星形振动结构的外轮廓为正6N角星，N为≥2的正整数；至少两个面内换能器，用于实现该检测结构平面内的机械场与电场的耦合；至少两个面外换能器，用于实现该检测结构平面外的机械场与电场的耦合；其中，所述检测结构工作在两个体振动模态中，两个所述体振动模态包括工作在结构面内的3θ体振动驱动模态以及工作在结构面外的第2阶弯曲体振动检测模态，两个所述体振动模态可相互互换。本发明能够提高检测结构的灵敏度。
一种基于振动翻转倾斜检测结构

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