[发明专利]半导体装置及其制造方法在审
申请号: | 201711156797.4 | 申请日: | 2017-11-20 |
公开(公告)号: | CN109427913A | 公开(公告)日: | 2019-03-05 |
发明(设计)人: | 陈柏安;许健;席德·内亚兹·依曼;杨明哲;李颖华 | 申请(专利权)人: | 新唐科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/80 | 分类号: | H01L29/80;H01L29/78;H01L29/06;H01L27/098;H01L27/088;H01L21/337 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 贾磊;郭晓宇 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明实施例提供一种半导体装置,包含半导体基底,具有第一导电类型,深井区设置于半导体基底内,具有与第一导电类型相反的第二导电类型,第一井区设置于半导体基底内且具有第二导电类型,其中第一井区位于深井区上方,且第一井区的一部分邻接深井区,第一掺杂区、第二掺杂区和第三掺杂区设置于第一井区内,其中第一和三掺杂区具有第二导电类型,且第二掺杂区具有第一导电类型,以及顶层设置于第一井区内且具有第一导电类型,其中顶层位于第一和二掺杂区之间,且顶层与第二掺杂区之间相隔一距离,其中前述之距离与半导体装置的夹止电压具有正向的线性关系。 | ||
搜索关键词: | 掺杂区 第一导电类型 半导体基底 半导体装置 导电类型 深井区 顶层 井区 线性关系 邻接 正向 相隔 制造 | ||
【主权项】:
1.一种半导体装置,其特征在于,包括:一半导体基底,具有一第一导电类型;一深井区,设置于该半导体基底内,具有与该第一导电类型相反的一第二导电类型;一第一井区,设置于该半导体基底内且具有该第二导电类型,其中该第一井区位于该深井区上方,且该第一井区的一部分邻接该深井区;一第一掺杂区、一第二掺杂区和一第三掺杂区,设置于该第一井区内,其中该第一掺杂区和该第三掺杂区具有该第二导电类型,且该第二掺杂区具有该第一导电类型;以及一顶层,设置于该第一井区内且具有该第一导电类型,其中该顶层位于该第一掺杂区和该第二掺杂区之间,且该顶层与该第二掺杂区之间相隔一距离,其中该距离与该半导体装置的夹止电压具有一正向的线性关系。
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