[发明专利]发光二极管的制备方法有效

专利信息
申请号: 201510343269.4 申请日: 2015-06-19
公开(公告)号: CN104900772B 公开(公告)日: 2017-06-16
发明(设计)人: 申利莹;董木森;张君逸;潘冠甫;吴超瑜;王笃祥 申请(专利权)人: 天津三安光电有限公司
主分类号: H01L33/10 分类号: H01L33/10;H01L33/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 300384 天津*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明公开发光二极管的制备方法,具有显著增加光的反射,增强发光二极管发光效率的有益效果,是通过以下步骤实现的(1)提供一生长衬底;(2)在生长衬底上依次沉积缓冲层、N型层、发光层和P型层;(3)分别在N型层和P型层上制备N电极和P电极;(4)对生长衬底背面研磨减薄;(5)提供一与生长衬底直径相同的Si衬底;(6)将Si衬底与生长衬底背面进行对位;(7)通过键合工艺将Si衬底键合在生长衬底背面,然后研磨减薄,形成薄层Si;(8)对生长衬底背面上薄层Si进行热氧化反应,形成Si/SiO2结构;(9)循环步骤(5)~(8),形成n对Si/SiO2组成的DBR结构。
搜索关键词: 发光二极管 制备 方法
【主权项】:
发光二极管的制备方法,包括以下制备步骤:(1)提供一生长衬底;(2)在生长衬底上依次沉积缓冲层、N型层、发光层和P型层;(3)分别在N型层和P型层上制备N电极和P电极;(4)对生长衬底背面研磨减薄;(5)提供一与生长衬底直径相同的Si衬底;(6)将Si衬底与生长衬底背面进行对位;(7)通过键合工艺将Si衬底键合在生长衬底背面,然后研磨减薄,形成薄层Si,薄层Si厚度为10 ~1000 nm;(8)对生长衬底背面上薄层Si进行热氧化反应,形成Si/SiO2结构;(9)循环步骤(5)~(8),形成n对Si/SiO2组成的DBR结构。
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说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

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