[发明专利]一种IGBT器件及其制作方法在审
| 申请号： | 201210418809.7 | 申请日： | 2012-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN103794638A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 谈景飞;朱阳军;褚为利;张文亮;王波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;江苏中科君芯科技有限公司;江苏物联网研究发展中心 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/739;H01L21/331 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 100029 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种IGBT器件及其制作方法，所述IGBT器件包括：基底，所述基底包括漂移区；位于所述基底正面的栅极结构和源极结构，所述源极结构包括位于所述漂移区表面内的阱区，以及位于所述阱区表面内的源区；位于所述漂移区表面内的载流子存储层，该载流子存储层位于所述阱区下方，且与所述阱区底部存在间隙，该载流子存储层的掺杂类型与所述漂移区的掺杂类型相同，且载流子存储层的掺杂浓度大于漂移区的掺杂浓度；位于所述基底背面的集电区，所述集电区与所述漂移区掺杂类型相反。所述IGBT器件具有较低的导通压降，进而其导通损耗少。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 igbt 器件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种IGBT器件，其特征在于，包括：基底，所述基底包括漂移区；位于所述基底正面的栅极结构和源极结构，所述源极结构包括位于所述漂移区表面内的阱区，以及位于所述阱区表面内的源区；位于所述漂移区表面内的载流子存储层，该载流子存储层位于所述阱区下方，且与所述阱区底部存在间隙，该载流子存储层的掺杂类型与所述漂移区的掺杂类型相同，且载流子存储层的掺杂浓度大于漂移区的掺杂浓度；位于所述基底背面的集电区，所述集电区与所述漂移区掺杂类型相反。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所;江苏中科君芯科技有限公司;江苏物联网研究发展中心，未经中国科学院微电子研究所;江苏中科君芯科技有限公司;江苏物联网研究发展中心许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210418809.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有升压能力的复合AC到DC功率转换器
- 下一篇：带隔片的切割/芯片接合薄膜
- 同类专利
- 专利分类
