[发明专利]包括图案硬化步骤的用于缩小光致抗蚀剂图案之间的尺寸的工艺无效
| 申请号： | 200980111594.0 | 申请日： | 2009-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN101981509A | 公开（公告）日： | 2011-02-23 |
| 发明（设计）人： | D·J·阿卜杜拉;R·R·达梅尔;V·蒙里尔 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料美国公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 陈宙 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种在器件上形成光致抗蚀剂图案的工艺，其包括：a)在基材上由第一光致抗蚀剂组合物形成第一光致抗蚀剂层；b)使第一光致抗蚀剂成像式曝光；c)使第一光致抗蚀剂显影以形成第一光致抗蚀剂图案；d)用包含至少2个氨基(NH2)的硬化化合物处理第一光致抗蚀剂图案，由此形成硬化的第一光致抗蚀剂图案；e)在包括硬化的第一光致抗蚀剂图案的基材的区域上由第二光致抗蚀剂组合物形成第二光致抗蚀剂层；f)使第二光致抗蚀剂整片曝光；和g)使整片曝光的第二光致抗蚀剂显影以形成具有增加的尺寸和减小的间隔的光致抗蚀剂图案。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 图案 硬化 步骤 用于 缩小 光致抗蚀剂 之间 尺寸 工艺 | ||
【主权项】：
一种在器件上形成光致抗蚀剂图案的工艺，其包括：a)在基材上由第一光致抗蚀剂组合物形成第一光致抗蚀剂层；b)使第一光致抗蚀剂成像式曝光；c)使第一光致抗蚀剂显影以形成第一光致抗蚀剂图案；d)用包含至少2个氨基(NH2)的硬化化合物处理第一光致抗蚀剂图案，由此形成硬化的第一光致抗蚀剂图案；e)在包括硬化的第一光致抗蚀剂图案的基材的区域上由第二光致抗蚀剂组合物形成第二光致抗蚀剂层；f)使第二光致抗蚀剂整片曝光；和g)使光致抗蚀剂图案显影，由此形成具有增加的尺寸和减小的间隔的光致抗蚀剂图案。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于AZ电子材料美国公司，未经AZ电子材料美国公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980111594.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：聚氯乙烯静音排水管
- 下一篇：用于电缆贯通件浇注密封的装置
- 同类专利
- 一种印刷用烤版装置-201920640100.9
- 李瑶耀 - 安徽国瑞安全印务有限公司
- 2019-05-07 - 2019-11-05 - G03F7/40
- 本实用新型公开了一种印刷用烤版装置，属于印刷设备技术领域。包括烘干箱，所述烘干箱两端分别开设有进版口与出版口，所述进版口与所述出版口上分别设置有进版平台、出版平台，所述烘干箱内部设置传送机构，所述传送机构位于所述进版口与所述出版口之间；所述传送机构上方设置有加热管，所述加热管两端均位于烘干箱外侧，且靠近进版口一端的加热管与换热器连接，所述换热器一端设置有风机，所述风机与导流罩连接，所述导流罩一端延伸至烘干箱内侧，且导流罩倾斜设置在传送机构上方。本实用新型结构简单、使用方便，通过在传送机构上方设置加热管，同时加热管一端连接风机，在传送机构表面形成热气流，实现循环烘干，实用性强，适合推广使用。
- 涂布于抗蚀剂图案的含有聚合物的涂布液-201580010173.4
- 志垣修平;境田康志;坂本力丸 - 日产化学工业株式会社
- 2015-02-03 - 2019-10-11 - G03F7/40
- 本发明的课题是提供代替以往的冲洗液使用的、涂布于抗蚀剂图案的涂布液。本发明的解决方法是一种涂布于抗蚀剂图案的涂布液，含有聚合物和溶剂，所述聚合物具有下述式(1)所示的结构单元，所述溶剂含有水和/或醇类，
(式(1)中，R1表示碳原子数为1～12的有机基团，X表示下述式(2)所示的有机基团。
式(2)中，R2和R3分别独立地表示直链状或支链状的碳原子数为1～3的亚烷基，该R2与前述式(1)中的氧原子结合，R4表示碳原子数为1～4的烷氧基、烯丙氧基或羟基，p表示0、1或2。)。
- 一种方便冷却的烤版机-201822169248.7
- 闫勇 - 山东太平洋印刷包装有限公司
- 2018-12-24 - 2019-08-30 - G03F7/40
- 本实用新型公开了一种方便冷却的烤版机，包括外壳体，所述外壳体前端面两侧均设置有进料口，所述进料口前端设置有拉板，所述拉板表面固定有安装块，所述安装块内部通过滑动连接有固定杆，所述固定杆外壁固定有拉杆，所述安装块表面开设有方形孔，所述拉杆外壁与方形孔内壁通过滑动连接；本实用新型通过设计的固定杆，固定杆可以插在固定凹槽内，从而将拉板固定在外壳体上，通过设计的拉杆，工作人员通过拉动拉杆即可对固定杆的位置进行调整，通过设计的第二弹簧，第二弹簧可以在固定杆处于安装块内的时候，没有外力作用下的时候，向其施加弹力，将其端部弹出安装块。
- 一种用于烘烤光刻胶的烘烤设备、烘烤系统及烘烤方法-201910345715.3
- 孙彬;凌坚 - 厦门通富微电子有限公司
- 2019-04-26 - 2019-08-16 - G03F7/40
- 本申请公开了一种用于烘烤光刻胶的烘烤设备、烘烤系统及烘烤方法，所述烘烤设备包括：腔体，由相对设置的底板、顶板，以及位于所述底板和顶板之间的多个侧板围成，其中，一个所述侧板上设置有开口，所述顶板和非具有开口的所述侧板中的至少部分设置有至少一个第一发热元件；基台，设置于所述腔体内，所述基台内部设置有至少一个第二发热元件，所述基台的表面用于承载待烘烤元件；其中，所述待烘烤元件表面设置有光刻胶，所述第一发热元件和所述第二发热元件配合以烘烤所述光刻胶。通过上述方式，本申请能够在烘烤后使光刻胶的侧壁与待烘烤元件表面保持垂直。
- 精细抗蚀图案形成用组合物以及使用其的图案形成方法-201380051105.3
- 山本和磨;石井雅弘;关藤高志;柳田浩志;中杉茂正;能谷刚 - AZ电子材料（卢森堡）有限公司
- 2013-10-01 - 2019-06-04 - G03F7/40
- 本发明提供一种能够形成干式刻蚀耐性高的图案的精细图案形成用组合物、以及使用了上述精细图案形成用组合物的制造过程中的配管堵塞少的图案形成方法。一种精细图案形成用组合物以及使用了其的图案形成方法，该精细图案形成用组合物用于在使用化学放大型抗蚀剂组合物来形成负型抗蚀图案的方法中，通过使抗蚀图案变粗而使图案精细化，其含有聚合物和有机溶剂，该聚合物含有具有羟基芳基的重复单元，该有机溶剂不使上述负型抗蚀图案溶解。在图案形成方法中，通过利用同一涂布装置对抗蚀剂组合物和其精细图案形成用组合物进行涂布，从而可防止配管堵塞。
- 图案形成方法和各自使用它的电子器件制造方法和电子器件-201380034450.6
- 山中司;井口直也;上羽亮介;山本庆 - 富士胶片株式会社
- 2013-08-19 - 2019-05-28 - G03F7/40
- 图案形成方法按下列顺序包括：(a)使用光化射线敏感或放射线敏感树脂组合物(I)在基板上形成第一膜，所述光化射线敏感或放射线敏感树脂组合物(I)包含在含有有机溶剂的显影液中的溶解度由于酸的作用所致的极性增加而降低的树脂；(b)将所述第一膜曝光；(c)使用含有有机溶剂的显影液将已曝光的第一膜显影以形成第一阴图型图案；(e)使用光化射线敏感或放射线敏感树脂组合物(II)在所述基板上形成第二膜，所述光化射线敏感或放射线敏感树脂组合物(II)包含在含有有机溶剂的显影液中的溶解度由于酸的作用所致的极性增加而降低的树脂；(f)将所述第二膜曝光；以及(g)使用含有有机溶剂的显影液将已曝光的第二膜显影以形成第二阴图型图案。
- 一种固体感光树脂版的热固化装置-201910042200.6
- 黃子祐 - 仓和精密制造（苏州）有限公司;仓和股份有限公司
- 2019-01-17 - 2019-05-03 - G03F7/40
- 本发明公开了一种固体感光树脂版的热固化装置，包括：设于平置固体感光树脂版正下方的平置加热板，设于加热板顶面、且外沿形状与平置固体感光树脂版外沿形状相同的平置铜板，设于铜板顶面、且用于架空支承平置固体感光树脂版边框的平置环形金属管，以及设于加热板顶面、且用于框住平置固体感光树脂版的平置隔热框，该隔热框套装在铜板外周，且隔热框的内沿与铜板的外沿贴靠。本发明固体感光树脂版的热固化装置，其能对固体感光树脂版进行热固化处理。
- 一种支撑销及烘烤机台-201510272831.9
- 易勇;林琅;马晓勇 - 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
- 2015-05-25 - 2019-02-01 - G03F7/40
- 本发明提供一种支撑销及烘烤机台，包括：一中空的主体部、容纳于该主体部的一支撑柱、以及由该支撑柱支撑的支撑球，主体部的中间具有贯通的通孔，所述支撑柱的端部呈弧形，所述支撑球位于该弧形上，所述支撑球与支撑柱从主体部的底部穿入通孔内，且所述支撑球露出所述主体部的上表面。本发明通过支撑球与玻璃面板之间滑动摩擦变为滚动摩擦，减小摩擦阻力，增加本支撑销的使用寿命，同时减少因为磨损导致的工艺问题及玻璃基板破裂问题。
- 抗蚀剂图案被覆用水溶液以及使用了该水溶液的图案形成方法-201780020372.2
- 西田登喜雄;坂本力丸 - 日产化学株式会社
- 2017-03-21 - 2018-12-21 - G03F7/40
- 本发明的课题是提供新的抗蚀剂图案被覆用水溶液。解决手段是一种抗蚀剂图案被覆用水溶液，其包含：A成分：主链具有亚乙基氧单元和碳原子数3的亚烷基氧单元、并且末端具有羟基的共聚物，B成分：水溶性聚合物(其中，上述A成分的共聚物除外)、水溶性单体或水溶性低聚物，和C成分：以水作为主成分的溶剂。上述A成分的共聚物为例如下述式(1)所示的嵌段共聚物。(式中，R1、R2和R3各自独立地表示亚乙基、1,2‑亚丙基或1,3‑亚丙基，x、y和z各自独立地表示5～100的整数。)
- 一种显影烘烤机的冷热盘-201820599604.6
- 薛文卿 - 无锡中微掩模电子有限公司
- 2018-04-25 - 2018-12-14 - G03F7/40
- 本实用新型公开了一种显影烘烤机的冷热盘，包括加热烘烤盘与冷却盘，所述加热烘烤盘的一端外表面设置有顶部加热板，且加热烘烤盘的另一端外表面设置有承接基板装置，所述顶部加热板上设置有碲化铋N型半导体与碲化铋P型半导体，所述承接基板装置的内部安装有基板承接顶针、工艺定位顶针与测温带，且承接基板装置的外表面设置有隔热板，所述加热烘烤盘通过隔热板分割成上半部分与下半部分，且上半部分固定安装在支架上，所述上半部分位置固定不变。本实用新型结构简单，采用碲化铋N型及P型半导体发热、发冷组件作为显影前烘烤和冷却用能量源，既解决了温控不均匀的问题，也节省了辅机的动力维持和维修保养费用。
- 一种光刻胶以及曝光方法-201810386780.6
- 刘宁;周斌;胡迎宾;苏同上 - 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
- 2018-04-26 - 2018-09-28 - G03F7/40
- 本发明涉及曝光技术领域，尤其涉及一种光刻胶以及曝光方法。不需要剥离并重新涂覆光刻胶即可进行多次光刻指标参数确认，能够大幅提升生产效率，从而能够提高生产效益。本发明实施例提供一种光刻胶，该光刻胶中添加有光致变色物质，该光致变色物质用于在对该光刻胶进行曝光后，使曝光区相对于遮光区发生变色，并用于在预处理条件下处理后，使得该曝光区恢复原色，在该预处理条件下该光刻胶不发生化学变化。本发明实施例用于形成光刻图案。
- 表面处理用组合物以及使用其的抗蚀图案的表面处理方法-201780008738.4
- 王晓伟;长原达郎 - AZ电子材料(卢森堡)有限公司
- 2017-01-25 - 2018-09-28 - G03F7/40
- 本发明提供一种涂布性优异的表面处理用组合物，其可提高抗蚀图案的耐热性，且可降低抗蚀图案相对于溶剂的溶解性。另外，本发明提供一种使用该表面处理用组合物的抗蚀图案的表面处理方法、以及使用该表面处理用组合物的抗蚀图案的形成方法。本发明提供一种抗蚀图案的表面处理用组合物，其特征在于，其包含溶剂、以及可溶于前述溶剂的聚硅氧烷化合物，构成前述聚硅氧烷化合物的硅原子与被氮取代的烃基键合，条件是前述硅原子与前述烃基中的碳原子直接结合。本发明还提供一种使用该组合物的表面处理方法，以及一种使用该组合物的抗蚀图案的形成方法。
- 图案形成方法以及各自使用所述图案形成方法的用于制备电子器件的方法和电子器件-201380031179.0
- 杉山真一;山中司;上羽亮介;百田淳 - 富士胶片株式会社
- 2013-07-05 - 2018-09-14 - G03F7/40
- 本发明的图案形成方法包括(i)使用光化射线敏感或辐射敏感树脂组合物在基板上形成第一膜的步骤，所述光化射线敏感或辐射敏感树脂组合物包含能够通过酸的作用增大极性以降低在包含有机溶剂的显影液中的溶解性的树脂(A)；(ii)将所述第一膜曝光的步骤；(iii)使用包含有机溶剂的显影液将经曝光的第一膜显影以形成负型图案的步骤；和(iv)在第二基板上形成第二膜以覆盖所述负型图案的周围的步骤。
- 光刻掩模层-201711123298.5
- R·戈龙海德;A·辛格;W·纳朋 - IMEC非营利协会;鲁汶天主教大学
- 2017-11-14 - 2018-06-29 - G03F7/40
- 一种用于制造掩模层的方法，所述方法包括：a.在基材上提供图案化层，所述图案化层至少包括具有第一特性的有机材料的第一组线，所述线具有线高度，并且通过空隙或具有第二特性的材料分开；b.用金属或陶瓷材料浸润至少第一组线的顶部部分，所述金属或陶瓷材料具有在浸润的第一组线中的实际密度和固有密度；以及c.通过氧化等离子体蚀刻去除有机材料，以在基材上形成金属或陶瓷材料的第二组线；其中，在浸润的线中金属或陶瓷材料的实际密度为固有密度的15‑85％、优选25‑65％。
- 控制基板的表面物性的方法-201710606628.X
- 河野绅一;中川裕介;岛谷聪;浅野贵夫 - 东京应化工业株式会社
- 2017-07-24 - 2018-04-03 - G03F7/40
- 本发明的技术问题在于，提供一种控制基板的表面物性的方法，不依赖于基板的种类而能得到期望的表面物性，并抑制图案的剥落。一种控制基板的表面物性的方法，包括涂布工序，对基板的表面涂布含环氧基树脂，所述表面含有至少两种金属；烘烤工序，对所述基板进行烘烤。
- 用于形成像素界定层的组合物和方法-201680045933.X
- P-W·庄;王德岩;孙纪斌;P·特雷弗纳斯三世;K·M·奥康奈尔 - 罗门哈斯电子材料有限责任公司
- 2016-07-11 - 2018-03-27 - G03F7/40
- 提供一种用于制备聚合物粘合剂的光可成像组合物，所述组合物具有一种或多种单体单元共聚物、光敏性化合物和一种或多种有机金属化合物。所述共聚物包括一个或多个与所述有机金属化合物反应以在固化时形成交联网络的羟基或羧基官能团。所述光可成像组合物可以尤其适用于形成电子装置例如有机发光二极管的像素界定层。具体地说，根据本发明实施例的光可成像组合物在暴露于辐射之前不可溶于显影剂，在辐射暴露之后可溶于所述显影剂中，并且具有相对较高的玻璃化转变温度(Tg)，使得其适用于形成像素界定层。
- 细微抗蚀图案形成用组合物以及使用其的图案形成方法-201280049610.X
- 冈安哲雄;关藤高志;石井雅弘 - 默克专利有限公司
- 2012-10-10 - 2018-03-13 - G03F7/40
- 本发明提供一种组合物以及使用其的图案形成方法，该组合物可形成没有表面皲裂、桥缺陷或者未析像等不良现象的细微的负型光致抗蚀图案。该组合物是一种在使用化学放大型抗蚀组合物而形成负型抗蚀图案的方法中，为了通过使抗蚀图案变粗而将图案细微化而使用的细微图案形成用组合物，该组合物包含溶剂以及在重复单元中含有式(A)、(B)、(C)中任一种结构的聚合物。在由有机溶剂显影液进行显影而获得的负型光致抗蚀图案上涂布该组合物，进行加热，从而形成细微的图案。
- 一种热流PS版烤版机-201720550199.4
- 陆云彪;朱建军 - 浙江云广印业股份有限公司
- 2017-05-17 - 2018-02-27 - G03F7/40
- 本实用新型公开了一种热流PS版烤版机，包括烘干箱、集风板、输风管、鼓风机、加热喷风管、固定柱、热流分散板、PS版固定架、转位电机，所述烘干箱上部设置有集风板，所述集风板与输风管相连，所述输风管与鼓风机相连，所述鼓风机与加热喷风管相连，所述烘干箱底部设置有固定柱，所述固定柱中部设置有热流分散板，所述热流分散板通过转位电机与固定柱相连，所述固定上部设置有PS版固定架。本实用新型能够使PS版经过烤制后印版的硬度，附着力得到显著提升，印版的耐印率大大提升，降低印刷成本，采用热流有效加速了烤制过程，不易产生局部烤制过度的现象，利于推广应用。
- 一种烘烤装置及烘烤方法-201710857275.0
- 沈顺杰;宋江江 - 武汉华星光电技术有限公司
- 2017-09-21 - 2018-01-26 - G03F7/40
- 本发明提供一种烘烤装置及方法，用于对基板的烘烤加工，所述装置包括箱体、设于箱体内的灯源；箱体包括对基板烘烤的烘烤腔，灯源位于烘烤腔顶部，灯源与烘烤腔之间间隔设有透光的隔热板，供灯箱的光源进入烘烤腔。所述灯源和加热器同时工作，使烘烤腔内加热到预设加热温度，并在预设控温时间内保持恒温，灯源达到预设照射强度，并在预设照射时间内保持照射状态。所述烘烤装置同时加热与照射样品能够解决在烘烤过程中提高基板的色阻在显影后的光阻交联程度，并减少基板的加工步骤和工时，从而减少材料及人力的成本投入。
- 一种用于网版的甩干装置-201720752333.9
- 成建文;刘成武;李逢磊;鄢晓姣 - 田菱精密制版（深圳）有限公司
- 2017-06-26 - 2018-01-23 - G03F7/40
- 本实用新型公开了一种用于网版的甩干装置，包括机架，所述机架设有气泵、电机，及与所述电机传动联接的转盘，所述转盘上表面设有治具结构，所述治具结构包括固定底座、及与其可拆式联接的用于固定网版的治具架，所述转盘上方设有对准于网版旋转中心的气嘴，所述气嘴与所述气泵通过气管联接；所述治具架的四边设有凸起。本实用使得网版吹干的效果良好、且不影响网版的品质，此装置操作简单、使用方便，节省了人力，提高了生产效率，降低了生产成本，且降低了环境噪音。
- 电路配线的制造方法、电路配线、输入装置及显示装置-201680029450.0
- 片山晃男;长田崇一郎 - 富士胶片株式会社
- 2016-05-27 - 2018-01-19 - G03F7/40
- 本发明提供一种电路配线的制造方法、电路配线、输入装置及显示装置。所述电路配线的制造方法能够以1次的抗蚀膜形成而形成包含多种图案的导电层的电路配线而制造效率优异，且不需要多种图案的导电层的对位。所述电路配线的制造方法包括工序(a)，对具有基材和第x层至第1层的导电层的电路形成基板，在第1层导电层上形成正型感光性材料；工序(b)，进行图案曝光及显影，而将正型感光性材料设为第1图案；工序(c)，对导电层的第1层至第i层进行蚀刻；工序(d)，对残留正型感光性材料进行图案曝光及显影，从而将正型感光性材料设为第2图案；工序(e)，对导电层的第1层至第j层进行蚀刻；工序(z)，去除正型感光性材料而形成包含2种以上的图案的导电层的电路配线。
- 一种烘干装置、光刻设备-201720466837.4
- 金宰弘;朱杰;石岩;张富强 - 北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司
- 2017-04-28 - 2017-12-15 - G03F7/40
- 本实用新型实施例提供一种烘干装置、光刻设备，涉及显示技术领域，用于降低烘干装置内的气体与外部空气接触的几率。该烘干装置包括具有传送开口的腔室壁、以及可关合所述传送开口的腔室门。烘干装置还包括位于腔室壁与所述腔室门所围成的腔室内的气体循环导向件，气体循环导向件设置于传送开口位置处的上侧和/或下侧；气体循环导向件包括抽风器件，抽风器件用于将由气体循环导向件的气体入口进入的气体抽送至气体循环导向件的气体出口，气体循环导向件用于将传送开口位置处的气体导向至腔室内。烘干装置可用于对光刻胶进行后烘工序。
- 一种PS版烤版机-201720550406.6
- 陆云彪;朱建军 - 浙江云广印业股份有限公司
- 2017-05-17 - 2017-12-08 - G03F7/40
- 本实用新型公开了一种PS版烤版机，包括烘干箱、抽风头、输风管、鼓风机、加热风箱、喷风头、旋转导轨、升降固定座、PS版、旋转电机，所述烘干箱底部设置有旋转电机，所述旋转电机上安装有旋转导轨，所述旋转导轨上安装有升降固定座，所述升降固定座上安装有PS版，所述烘干箱的侧壁上部设置有若干抽风头，所述抽风头通过输风管与鼓风机相连，所述鼓风机设置在烘干箱底部，所述鼓风机机与加热风箱相连，所述加热风箱设置在烘干箱底部，所述加热风箱顶部设置有若干喷风头。本实用新型能够使PS版经过烤制后印版的硬度，附着力得到显著提升，印版的耐印率大大提升，降低印刷成本，利于推广应用。
- 一种自动温控PS版烤版机-201720239658.7
- 洪六满 - 安徽宣城海峰印刷包装有限公司
- 2017-03-13 - 2017-10-24 - G03F7/40
- 本实用新型涉及一种自动温控PS版烤版机,包括机箱，所述机箱的左右两端分别开有进版口、出版口，所述进版口及出版口上分别设有进版平台、出版平台；所述机箱内设有版材传送带，所述版材传送带通过变频电机驱动；所述机箱内设有电热装置，所述电热装置连接有功率调节器；所述电热装置位于所述版材传送带上方，且两者之间留有版材通道；所述进版平台的上方设有涂层测厚仪；所述机箱内还设有温度传感器；所述机箱上设有PLC控制器，所述涂层测厚仪、所述变频电机的变频器、所述功率调节器及所述温度传感器均连接所述PLC控制器。本实用新型通过对版材涂层信息进行采集，PLC控制器计算、控制烤版温度、时间，从而实现全自动温控调节。
- 一种复合箱式烤版机的立式烤版机构-201720170061.1
- 曾哲锋 - 江苏悦达印刷有限公司
- 2017-02-24 - 2017-09-22 - G03F7/40
- 本实用新型提供一种复合箱式烤版机的立式烤版机构，包括设置在烘干箱体上的立式烤版仓和周转架，所述立式烤版仓上设有仓门，所述周转架的底部滑动固定在所述立式烤版仓的轨道上；其中所述周转架上从到下依次设有滑动设置若干个挂版架；每个所述挂版架上设有若干个挂版杆，其中每个所述挂版杆的左右两端滑动设有挡件，所述挡件的前后两端均连接活动球；所述立式烤版仓的顶部卡合连接设有密封用的活动板；所述活动板的每端与第一气缸连接固定，其中第二气缸带动滑块在所述立式烤版仓的顶部滑动，所述滑块的端部连接散热风扇。本实用新型的有益效果是设计合理，能够提高周转率和烤版数量，受热均匀，散热及时，提高工作效率。
- 一种显影机高效烘干装置-201720035558.2
- 刘思娟 - 梅州市裕维电子有限公司
- 2017-01-12 - 2017-09-01 - G03F7/40
- 本实用新型公开了一种显影机高效烘干装置，所述壳体的两个侧壁对称开设有输送口，两个所述输送口之间设置有输送辊，所述输送辊的上方设置有加热装置，所述加热装置的一端设置有温度传感器，所述温度传感器远离加热装置的一端固定连接于壳体的一内侧壁，所述加热装置的另一端设置有温度控制器，所述温度控制器远离加热装置的一端固定连接于壳体的另一内侧壁，所述加热装置的上方设置有顶面板，所述顶面板的表面均匀开设有散热孔，所述输送辊的下方设置有通风槽,所述通风槽内设置导风装置，该实用新型通过加热装置和热风机的同时使用可迅速烘干底片，提高了工作效率，符合使用者的要求。
- 装置的光刻图案化-201580053600.7
- 约翰·安德鲁·德弗兰科;查尔斯·沃伦·赖特;道格拉斯·罗贝特·罗贝洛;弗兰克·沙维尔·伯恩;黛安娜·卡罗尔·弗里曼;特伦斯·罗伯特·欧图尔 - 正交公司
- 2015-07-31 - 2017-08-29 - G03F7/40
- 制造装置的方法包括在具有用于图案化的一个或更多个目标区域的装置基底上提供氟化材料层。通过与包含氟化溶剂的显影剂接触，至少部分地通过使与所述一个或更多个目标区域对准的所述氟化材料层中的一个或更多个开口区域的第一图案显影，形成一个或更多个剥离结构，其中所述显影剂以第一速率溶解所述氟化材料。在图案化后，通过与包含氟化溶剂的剥离剂接触来移除所述一个或更多个剥离结构，其中所述剥离剂以至少为150nm/秒且高于所述第一速率的第二速率溶解所述氟化材料。
- 干燥组件及显影装置-201710078898.8
- 陈建;陆相晚;朱涛;袁慧芳;唐文浩;方群;董安鑫;尹海斌;钟国强;殷瑞;余娅;吉强 - 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
- 2017-02-14 - 2017-08-18 - G03F7/40
- 本发明公开一种干燥组件及显影装置，属于显示基板制造领域。干燥组件包括干燥腔室、喷液件和加热件，喷液件设置在干燥腔室内，加热件设置在干燥腔室外，加热件用于对干燥腔室进行加热，喷液件用于向干燥腔室内的基板喷洒预设液体，预设液体能够与水形成共沸物。本发明解决了空气刀对基板的干燥效果较差的问题，达到了能够较好的干燥基板的效果。本发明用于去除基板的水渍。
- 抗蚀图案处理用组合物以及使用其的图案形成方法-201580056139.0
- 山本和磨;长原达郎 - AZ电子材料（卢森堡）有限公司
- 2015-10-13 - 2017-08-18 - G03F7/40
- 本发明提供一种可改良抗蚀图案的表面粗糙度的组合物与使用了该组合物的图案形成方法。一种组合物，其包含特定的含氮化合物、含有磺酸基的阴离子性表面活性剂以及水；一种图案形成方法，其包含将该组合物适用于显影后的干燥了的抗蚀图案的工序。
- 微影方法-201611037077.1
- 王筱姗;张庆裕 - 台湾积体电路制造股份有限公司
- 2016-11-23 - 2017-08-08 - G03F7/40
- 本公开根据一些实施例提供一种微影方法。该微影方法包括形成图案化光致抗蚀剂于材料层上；提供第一接合材料至图案化光致抗蚀剂的侧面；实行一处理于第一接合材料上，以将第一接合材料接合至图案化光致抗蚀剂的侧面，其中该处理创造一接合位置于第一接合材料上，且接合位置配置以接合至第二接合材料；提供第二接合材料至第一接合材料的侧面；以及通过选择性处理材料层被图案化光致抗蚀剂、第一接合材料及第二接合材料所暴露的一部分，以图案化材料层。
- 专利分类
