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[发明专利]靶材的形成方法-CN201310371290.6在审
发明人：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;张亚光 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2013-08-22 - 公布日： 2015-03-18 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种靶材的形成方法，包括：提供具有第一厚度的第一靶材坯体；对所述第一靶材坯体进行至少两次粗车，形成具有第二厚度的第二靶材坯体；对所述第二靶材坯体进行精车，得到靶材。本发明提供的靶材的形成方法有利于得到溅射速率稳定的靶材。
形成方法

[发明专利]一种大尺寸旋转陶瓷靶材制备方法-CN202010333199.5有效
发明人：李庆丰;骆树立;王建堂;骆如河;骆胜华;骆胜磊;骆利军;王壮伟;骆胜凯;骆胜喜 -专利权人：河北恒博新材料科技股份有限公司
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： C04B35/622 文献下载
摘要：本发明公开了一种大尺寸旋转陶瓷靶材制备方法，属于靶材制备技术领域，包括以下步骤1）制作靶材坯体，2）成型模具，3）靶材坯体脱脂，4）预烧结靶材坯体，5）烧结靶材。本发明提供的一种大尺寸旋转陶瓷靶材制备方法，提高了靶材成材率，降低了原材料报废率，降低了生产成本。
一种尺寸旋转陶瓷制备方法

[发明专利]一种高致密低电阻氧化铌旋转靶材及其制备方法-CN201910732234.8在审
发明人：胡强楠;征卫星;马文卫;张帅;赵志勇;刘秉宁;孟将;李正飞;饶晓方 -专利权人：宁夏中色新材料有限公司;西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司
申请日： 2019-08-09 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： C04B35/495 文献下载
摘要：一种高致密低电阻氧化铌旋转靶材及其制备方法，该靶材密度≥4.5g/cm³，电阻率≤1.4×10^‑3Ω·cm，长度≥400mm，壁厚6—14mm。1）粉末混合：将氧化铌粉末与金属铌粉进行机械混合均匀；2）粉末预烧：对步骤1）中混合后粉末进行真空预烧；3）粉末处理：对预烧粉末进行球磨处理；4）冷等静压成型：对处理粉末装入模具中冷等静压预压成型旋转靶材坯体；5）坯体车削加工：对靶材坯体进行车削加工；6）真空热压烧结：对加工坯体置入石墨模具中进行热压真空烧结；7）靶坯加工：对烧结旋转靶材靶坯按尺寸加工，即得到高致密低电阻旋转氧化铌靶材。该靶材导电性较好，具有较好的物理和化学性能，有效提高靶材产品质量。
旋转靶材靶材坯体预烧车削加工低电阻高致密制备冷等静压成型真空热压烧结导电性氧化铌靶材氧化铌粉末粉末处理粉末混合化学性能机械混合加工坯体冷等静压石墨模具预压成型真空烧结烧结电阻率金属铌氧化铌壁厚对靶球磨热压置入模具装入加工

[实用新型]应用于烧结窑内的ITO靶材架设装置-CN201920231117.9有效
发明人：王雪涛;李玉新;宋蕊立 -专利权人：河北惟新科技有限公司
申请日： 2019-02-25 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种应用于烧结窑内的ITO靶材架设装置，包括水平设置在烧结窑内支架上的支撑座，所述支撑座的上端面倾斜设置，倾斜设置的支撑座上端面上放置有用于承载ITO靶材坯体的承烧板，承烧板的上端面上匀布有若干条贯穿承烧板前后、用于流过氧气气流的沟槽；位于较低端的支撑座倾斜上端面端部设置有承托承烧板和ITO靶材坯体的挡块。本实用新型可使氧气通过水平设置的沟槽与靶材坯体接触，提高了透氧率；同时倾斜设置承烧板可将靶材坯体的重力在水平方向上实现分解，降低了坯体与承烧板之间的摩擦力，有利于靶材坯体的收缩，减少了烧结时间，提高了靶材坯体的烧结成品率以及烧结密度
坯体承烧板支撑座靶材倾斜设置烧结窑本实用新型架设装置水平设置烧结上端面上端烧结成品率氧气气流氧气通过内支架透氧率承托挡块匀布收缩应用承载分解贯穿

[发明专利]一种ITO靶材烧结尺寸控制方法-CN202210415504.4在审
发明人：唐安泰 -专利权人：株洲火炬安泰新材料有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： C04B35/457 文献下载
摘要：本发明公开了一种ITO靶材烧结尺寸控制方法，本发明作为一种ITO靶材烧结尺寸控制方法，通过晾坯：将ITO靶材坯体，放置5‑10天；对位：将ITO靶材坯体放置在承烧板上；烧结：将承烧板放置在烧结炉内，盖上炉盖，向烧结炉内通入氧气；缩板：控制承烧板聚拢，烧结完成降温开炉，得到相对密度大于90％的ITO靶材；对ITO靶材坯体烧结过程中的垂直方向收缩偏差做出补偿，使制得ITO靶材更加均匀，从而提高ITO靶材磁控溅射的利用率；其中缩板步骤中使用一种ITO靶材烧结尺寸控制装置，此装置通过转动盘上的弧形槽带动控制杆沿转动盘的径向移动，实现承烧板的收缩自如，从而补偿ITO靶材坯体底部收缩不足的问题。
一种 ito 烧结尺寸控制方法

[发明专利]一种靶材的制备方法-CN201811138751.4有效
发明人：李喜峰;杨祥;姜姝;潘成超;蒋文亚;李阿杰;谈艳阳 -专利权人：上海大学
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2020-03-03 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种靶材的制备方法，其步骤包括依次制备粉末氧化物、球磨料、坯料、靶材坯体、靶材成品；其中靶材原料通过冷等静压成形得到靶材坯体，将靶材坯体放在氧气和空气的混合气氛下进行阶段升温烧结，烧结时混合气氛中的氮气和氧气补充了靶材烧结过程中氧化物的氧化还原过程，能够减少靶材的宏观及微观空隙，减少靶材裂纹和缺陷，减少后期磁控溅射时的靶材结瘤现象。本发明制备的ITO靶材相对致密度为99.7％，电阻率为1.38μΩ·cm，使用该靶材进行磁控溅射时贴合率达到99％，连续溅射100h后靶材表面结瘤率不超过10％。
一种制备方法

[发明专利]一种长效数据存储记录靶材的制备方法及靶材和存储光盘-CN202211503766.2在审
发明人：周自文;罗铁威;陈强旺;叶剑峰;陈小兰;杨秋香 -专利权人：广东紫晶信息存储技术股份有限公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本方案属于存储光盘的记录材料技术领域，具体公开了一种长效数据存储记录靶材的制备方法及记录层，其制备方法包括如下步骤：S1.将50～70份氧化铜(CuO)、10～15份氧化镍(NiO)、10～15份二氧化锗(GeO2)和15～20份三氧化铋(Bi2O3)材料粉末充分混合后，填充于模具进行压缩成型即为靶材坯体；S2.将靶材坯体烧结后，采用压延工艺对所述烧结后靶材坯体进行锻造压延处理，以提高其致密度；S3.将S2锻造压延处理后的靶材坯体，加工成需要的形状，得到靶坯，靶坯再与钼或铬锆铜合金背板进行绑定，形成记录靶材。本发明提供的方法记录靶材，在制作存储光盘过程中，通过溅镀本发明提供的记录靶材所形成的记录层，提高了存储光盘的记录质量、延长了数据存储光盘的寿命。
一种长效数据存储记录制备方法光盘

[发明专利]一种氧化铟锡靶材的烧结工艺-CN202310248397.5在审
发明人：高建成;张莉兰;徐涛;汪强;钟小华 -专利权人：先导薄膜材料（安徽）有限公司
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： C04B35/453 文献下载
摘要：本发明公开了一种氧化铟锡靶材的烧结工艺，属于氧化铟锡靶材制备技术领域，将氧化铟和氧化锡原料制备成坯体后，采用靶材烧结系统进行预脱脂、脱脂和烧结，最终制备出氧化铟锡靶材；坯体首先在氩气的氛围下预脱脂，氩气为惰性气体，不会与坯体中的成分发生反应，使坯体完全固化成型，然后升高温度继续脱脂，使坯体中聚乙烯醇等成分在高温下分解，通过分步脱除水分和有机粘结性物质的方式，能够减小坯体单位时间内气体逸散的量，从而避免坯体出现裂纹；气氛的转换通过靶材烧结系统进行控制，防止炉膛内的压力、温度浮动过大；通过精确的升温和降温调节，有助于控制氧化铟锡靶材晶粒和致密程度达到最佳状态，有助于提高产品质量。
一种氧化铟锡靶材烧结工艺

[发明专利]铝锰合金靶材组件的制造方法-CN201711027521.6有效
发明人：鲁飞;刘树峰;刘小鱼;李静雅;李慧;娄树普;孙良成;辛博;王峰;李德辉 -专利权人：包头稀土研究院;瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种铝锰合金靶材组件的制造方法，包括：准备铝锰成型粉料，化学组分为铝、锰，铝的重量百分比为50～99％，锰的重量百分比为1～50％；准备背板粉末原料，背板粉末原料为Al粉或Cu粉；将铝锰成型粉料和背板粉末原料依次装入模具中，放入真空热压烧结炉，使二者以粉末形式相接触，经热压烧结一次性得到铝锰靶材坯体和背板复合而成的铝锰靶材组件坯体；随炉冷却得到铝锰靶材组件坯体，对所得的铝锰靶材组件坯体进行外形机加工处理得到铝锰靶材靶材组件本发明制作效率高，制取的铝锰靶材组件表面平整度高，弯曲变形小，焊接成品率高。
铝锰靶材组件背板坯体粉末原料重量百分比靶材粉料成型真空热压烧结炉表面平整度机加工处理粉末形式铝锰合金热压烧结随炉冷却弯曲变形成品率化学组一次性放入制取焊接模具装入复合制造制作

[发明专利]一种具有自适应缓冲层的旋转靶材的制备方法-CN201711452388.9有效
发明人：李强;谈耀宏 -专利权人：福州大学
申请日： 2017-12-28 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有自适应缓冲层的旋转靶材的制备方法，该缓冲层内部结构为多孔状，外观结构为圆环状（呈筒形）。先用热喷涂的方法在衬底表面制备一层厚度为靶材坯体厚度的1/5‑1/7、屈服强度髙（大于热等静压压力）、热膨胀系数适中（介于靶材坯体与衬底之间）、传热性良好、孔隙率为30%‑40%的自适应缓冲层，再采用热等静压法（HIP）在自适应缓冲层表面制备靶材坯体。多孔状缓冲层具有机械的自补偿功能，当自适应缓冲层和靶材坯体在热等静压、冷却的过程中，通过多孔结构缓冲层内部平均孔隙直径的变化，有效地吸收了热压和冷却过程中产生在靶材坯体与衬底界面之间的热失配应变，从而起到保护靶材不破裂的效果
一种具有自适应缓冲旋转制备方法

[发明专利]一种制备氧化物陶瓷靶材坯体的方法-CN201711292917.3在审
发明人：曾学云;舒永春;刘洋;孙本双 -专利权人：郑州大学
申请日： 2017-12-08 - 公布日： 2018-05-18 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备氧化物陶瓷靶材坯体的方法，利用真空球磨过程得到氧化物浆料，然后注浆成型，并进行烧结过程，在烧结过程之前还可以进行氧化物靶材坯体的干燥过程；真空球磨过程的真空度在10Pa以下，球磨时间在48‑72小时之间，利用该方法制备的氧化物陶瓷靶材坯体尺寸大，工艺简单，可以制得圆筒形、平板形等不同形状的高密度氧化物靶材坯体。
一种制备氧化物陶瓷靶材坯体方法

[发明专利]一种陶瓷靶材及其制备方法-CN201910536983.3有效
发明人：沈文兴;朱刘;童培云;白平平 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2019-06-20 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： C04B35/547 文献下载
摘要：本发明涉及溅射靶材技术领域，尤其涉及一种陶瓷靶材及其制备方法。所述制备方法包括：A)将所述铜锌锡硒粉体与氟化铷粉体进行均质混合，所述均质混合后的粉体经预压后，得到坯体；B)在真空的条件下，将所述坯体加热至200～400℃，进行保温；C)然后加热至600～700℃，保温后在25～50MPa下进行热压烧结，降温、减压后，得到靶坯；D)对所述靶坯进行机械加工，得到陶瓷靶材。采用本发明提供的制备方法制得的陶瓷靶材的纯度和密度均较高，组分均匀。为制备高性能掺杂靶材提供一定的理论参考。结果表明，本发明制备的陶瓷靶材的纯度99.99％，密度为5.53～5.58g/cm3，相对密度为94～95％。
一种陶瓷及其制备方法

[发明专利]高致密细晶粒的氧化锌掺杂氧化锡基陶瓷靶材及其制备方法-CN202110970900.9有效
发明人：陈杰;淮志远;孙本双;何季麟 -专利权人：郑州大学
申请日： 2021-08-23 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：高致密细晶粒氧化锌掺杂氧化锡基陶瓷靶材的制备方法，包括：(1)氧化锡粉体、氧化锌粉体以质量比60～65:35～40混合，加入聚丙烯酸铵作为分散剂，并加入水，形成原料混合物；(2)原料混合物在球磨机上进行球磨；(3)球磨后的混合浆体在砂磨机上进行砂磨；(4)砂磨后的混合浆体中加入粘结剂，搅拌均匀；(5)搅拌均匀的混合浆体进行喷雾干燥，得到球形混合造粒粉；(6)混合造粒粉进行模压成型，得到原始靶材素坯；(7)原始靶材素坯进行冷等静压成型，得到高强度、高密度的均匀靶材素坯；(8)均匀靶材素坯进行脱脂、烧结一体化无压烧结，得到高致密细晶粒氧化锌掺杂氧化锡陶瓷靶材。
致密晶粒氧化锌掺杂氧化陶瓷及其制备方法

[发明专利]一种提高ITO靶材坯体强度的方法-CN201910125113.7有效
发明人：王雪涛;宋蕊立;李玉新 -专利权人：河北惟新科技有限公司
申请日： 2019-02-20 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种提高ITO靶材坯体强度的方法，其特征在于，在向石膏模中浇注ITO浆料前，首先配置保护液，然后将保护液涂覆于石膏模型腔表面，然后再浇注ITO浆料，在ITO浆料浇注完成后，在石膏模中裸露的ITO浆料表面喷洒保护液，成型后脱模即可得到表面裹附有固化保护膜的ITO浆料坯体。本发明的应用，可在ITO靶材坯体表面形成固化保护膜，从而对ITO靶材坯体起固定作用，大大提高了坯体的强度，避免了ITO靶材坯体生产过程中出现开裂等问题的出现，提高了转移成品率。
一种提高 ito 靶材坯体强度方法

[发明专利]氧化锌靶材的制备方法及氧化锌薄膜的制备方法-CN201510964540.6有效
发明人：许积文;唐浩;宋永生;李文杰;莫方策;韦崇敏 -专利权人：广东风华高新科技股份有限公司
申请日： 2015-12-18 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种氧化锌靶材的制备方法及氧化锌薄膜的制备方法。氧化锌靶材的制备方法，包括如下步骤：提供靶材原料，将所述靶材原料进行第一次球磨处理得到粉体；将所述粉体进行煅烧处理；将煅烧处理后的所述粉体进行第二次球磨处理后造粒得到粒料；将所述粒料进行成型处理得到素坯；在空气气氛下将所述素坯进行脱脂处理得到脱脂后的素坯；及将所述脱脂后的素坯进行缺氧烧结得到氧化锌靶材。这种氧化锌靶材的制备方法，制备的氧化锌靶材的导电性较好。导电靶材采用直流磁控溅射，在氧气气氛镀膜，可以获得高电阻率和透光率的氧化锌薄膜。本发明所制备的靶材可满足直流磁控溅射，以及高阻氧化锌薄膜制备的要求。
氧化锌制备方法薄膜

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