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[发明专利]靶材组件的制造方法-CN201610685451.2有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;段高林 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2016-08-18 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：一种靶材组件的制造方法，包括：提供碳化硅靶坯和背板，所述碳化硅靶坯具有用于与所述背板相连接的第一面，所述背板具有用于与所述碳化硅靶坯相连的第二面；提供铟焊料；采用铟焊料，通过钎焊的方式使所述第一面和所述第二面焊接相连本发明技术方案采用铟焊料使所述碳化硅靶坯和所述背板焊接相连，形成靶材组件。与现有技术中采用的焊料相比，铟焊料在冷却固化后，硬度较小，较容易产生塑性形变，在所述碳化硅靶坯和所述背板之间具有一定的缓冲作用，有利于减少碳化硅靶坯碎裂现象的出现，提高制造碳化硅靶材组件的良率，使所述碳化硅靶坯和所述背板之间的焊接结合率大于
组件制造方法

[发明专利]靶材制备方法和靶材-CN202010755982.0在审
发明人：雷雨;许积文;周志宏;肖世洪;周昭宇;杨永添 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2020-07-31 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：本发明提供了一种靶材制备方法和靶材，其中，靶材制备方法包括：将氧化铟基材和氧化钨材料通过球磨研磨，获取一段研磨浆料；对一段研磨浆料进行砂磨研磨，获取二段研磨浆料；对二段研磨浆料进行造粒，获取粒料；对粒料进行冷等静压，获取素坯；对素坯进行烧结，冷却后获取靶材；其中，冷等静压的压力为280Mpa至320Mpa，对素坯进行烧结的烧结温度为1460℃至1565℃。靶材采用上述的靶材制备方法制备而成，该靶材致密度高，且成分分布均匀性好，使得使用该靶材制备的导电氧化物薄膜性能得到提高。
制备方法

[发明专利]靶材组件的制造方法-CN201610268036.7在审
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;廖培君 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2016-04-25 - 公布日： 2017-10-31 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种靶材组件的制造方法，包括提供靶坯和背板，靶坯的待焊接面为第一焊接面，背板的待焊接面为第二焊接面，其中，与第一焊接面相对的为靶坯背面，位于第一焊接面和靶坯背面之间的为靶坯侧面，与第二焊接面相对的为背板背面，位于第二焊接面和背板背面之间的为背板侧面，且靶坯和背板中的易挥发金属含量不相等；将第一焊接面和第二焊接面相对设置并贴合；采用电子束对靶坯和背板的接触面边缘进行第一电子束扫描，形成靶材组件；第一电子束扫描后，移动电子束或靶材组件，使电子束投射至易挥发金属含量较低的靶坯侧面或背板侧面。本发明在第一电子束扫描后，使电子束投射至易挥发金属含量较低的靶坯侧面或背板侧面，提高了焊接强度。
组件制造方法

[发明专利]碲化锌靶材、制备方法及其薄膜太阳能电池-CN202111335493.0有效
发明人：周贤界;熊汉青;黄勇彪;卢晓鹏;徐红星 -专利权人：深圳市众诚达应用材料科技有限公司
申请日： 2021-11-11 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： C04B35/547 文献下载
摘要：本发明公开了一种碲化锌靶材、制备方法及其薄膜太阳能电池，制备方法包括：碲化锌单质粉碎，在600‑10000目不同孔径的筛网过筛，选取由四段不同粒径范围的粉末，按照体积比(4.5‑3.5):(2.5‑3.5):(2.5‑1.5):(1.5‑0.5)进行混合；再进行2‑5h混合后，混合颗粒料进行100‑130℃的保温干燥，保温时间为1‑3h；在200～300MPa下将干燥后的粉末冷压制坯，保压10～30分钟，获得冷压坯体；将冷压坯体放置于密封罐体内，坯体表面及四周填充一层超细碲化锌粉末后密封；进行四段烧结，冷却得碲化锌靶材；薄膜太阳能电池中的背接触层由碲化锌靶材制备。本发明克服靶材形状限制，无需耗用惰性气体，节省了时间成本，操作简单方便，靶材高纯度、高致密度，薄膜太阳能电池的导电性好、更高迁移率、总体性能稳定。
碲化锌靶材制备方法及其薄膜太阳能电池

[发明专利]一种两步分段烧结法制备高致密ITO靶材的方法-CN201710224509.8有效
发明人：许亚利;方宏;刘冠鹏;崔晓芳 -专利权人：中国船舶重工集团公司第七二五研究所
申请日： 2017-04-07 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：一种两步分段烧结法制备高致密ITO靶材的方法，先将原料制成素坯后在空气气氛下保温脱脂，脱脂之后直接在空气气氛下升温至800—1300℃保温5—30小时进行第一步预烧，预烧后的坯体放置于承烧板上，在氧气气氛下升温至1500—1600℃保温5—30小时进行第二步烧结，烧结结束前1—5小时停止通入氧气，之后随炉冷却得到ITO靶材烧结体。脱脂与预烧工序合为一体，节约烧结总时间，预烧使得坯体中的颗粒进一步实现均匀化，避免了异常晶粒长大，提高靶材的微观均匀性，有利于提高强度和抗热震性能，制成的ITO靶材密度达到7.128g/cm³以上。
一种分段烧结法制致密 ito 方法

[发明专利]钛铝合金靶材的制备方法-CN202010425088.7在审
发明人：刘春轩;张扬;伍小波;蒋兆汝;李清洲;戴满生;陈杰;吴云;曹柳絮;梁啟文;苏新 -专利权人：湖南金天铝业高科技股份有限公司
申请日： 2020-05-19 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本申请涉及钛铝合金靶材的制备方法，包括以下步骤：提供钛铝合金靶材原料粉末；将钛铝合金靶材原料粉末按比例混合均匀，得到坯粉；在保护性气体氛围中，对坯粉进行粉碎处理，得到粉料；将粉料和粘结包覆剂混合后造粒，压制成型，得到型坯；将型坯在还原性气氛中脱胶，热压烧结，得到钛铝合金靶材。上述方法无需用到热等静压烧结炉这种昂贵设备，也可有效提高钛铝合金靶材的致密度和纯度，制备方法简单，生产成本低，有利于工业推广。
铝合金制备方法

[发明专利]一种氧含量可控的NiOx-CN202211203425.3有效
发明人：周贤界;卢晓鹏;徐红星;黄勇彪 -专利权人：深圳市众诚达应用材料科技有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：本发明提供一种氧含量可控的NiOX靶材制备方法及由上述方法制得的氧含量可控的NiOX靶材，属于太阳能电池技术领域。>X1粉体的混合物添加水、分散剂和粘结剂混合、球磨，经造粒形成NiOX2造粒粉，进一步经冷等静压成型获得素坯；将所述素坯进行烧结获得NiOX靶材烧结体，最后经机械处理获得所述氧含量可控的NiOX靶材。通过在NiOX靶材制备过程中用不同气氛煅烧和烧结，可以灵活地控制靶材中的氧含量，进而既能够具有良好的电性能，又可以针对不同电池结构的产品需求提供不同氧含量的NiOX靶材。
一种含量可控 nio base sub

[发明专利]一种铝硅靶材及其制备方法与应用-CN202310837030.7在审
发明人：姚力军;潘杰;周敏;陈勇军;周友平 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-07-10 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C22F1/043 文献下载
摘要：本发明涉及一种铝硅靶材及其制备方法与应用，所述制备方法包括如下步骤：(1)对铝硅靶坯进行预热再锻造，得到热锻靶坯；(2)对所得热锻靶坯依次进行第一热处理、第二热处理和第三热处理，得到轧制靶坯；所述第一热处理和第二热处理之间还包括第一压制；所述第二热处理和第三热处理之间还包括第二压制；(3)对所得轧制靶坯进行机加工，得到所述铝硅靶材。本发明设计了一种铝硅靶材的制备工艺，通过三次热处理并在间隙进行两次轧制，对靶材的内部结构的晶向占优进行了调控，优化了内部的组织结构，从而确保了薄膜质量及成品率。
一种铝硅靶材及其制备方法应用

[实用新型]一种靶材切割固定装置-CN202222152996.0有效
发明人：王永超;居炎鹏;李心然;赵泽良;王留土;范振清;史豪杰;郑海强;杨志刚 -专利权人：河南东微电子材料有限公司
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： B23Q3/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种靶材切割固定装置，包括底座、外框架、托料板、上侧夹持机构、侧部夹持机构，外框架包括两相对设置的竖板以及连接两竖板顶部的顶板，两托料板相对的上边沿用于托置靶坯下端；上侧夹持机构设置于顶板上，包括上压板、上活塞缸，上活塞缸的活塞杆用于驱动上压板对靶坯上端进行顶压；侧部夹持机构设有两个、用于分别设置在靶坯的水平两侧，包括侧活塞缸、侧夹板，侧夹板用于受到侧活塞缸推动作用相对托料板转动、夹紧靶坯侧部本靶材切割固定装置能够解决目前靶材切割装置夹持机构拆装速度慢、费时费力的技术问题，具有靶坯拆卸省时省力，靶材切割效率高的特点。
一种切割固定装置

[发明专利]ITO靶材或其他陶瓷靶材的绑定方法-CN201811068915.0在审
发明人：余芳;朱刘;童培云 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2018-09-13 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种ITO靶材或其他陶瓷靶材的绑定方法，其包括如下步骤：S1、靶坯表面金属化；S2、背板表面金属化；S3、绑定铟层的处理；S4、靶材绑定；S5、降温。本方法利用铟来绑定ITO的靶坯和背板，所得到的ITO靶材或其他陶瓷靶材的冷却及电接触性能良好、导热性能良好，其焊合率大于98%，高于现有技术，且在实际应用中，所制备得到的ITO靶材或其他陶瓷靶材在溅射中未出现溅射不均匀和靶材开裂问题
绑定陶瓷靶材靶材溅射表面金属化电接触性能背板表面导热性能金属化背板焊合制备铟层冷却应用

[发明专利]一种恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法-CN201810652754.3在审
发明人：柯尚文;彭寿;马立云;那嘉;向光;张玲莉;余永强;李隽;范家伟;董永亮 -专利权人：广东凯盛光伏技术研究院有限公司
申请日： 2018-06-22 - 公布日： 2018-10-12 - 主分类号： C04B35/457 文献下载
摘要：本发明公开了一种恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法，步骤如下：1)将注浆成型得到的ITO靶材坯体放在恒温恒湿房内的垫板上，控制温度为25～35℃、相对湿度为86％～96％、干燥介质流速为0.5～2m/本发明具有干燥时间短、干燥温度低、能耗低等特点，提高了生产效率，且可以有效避免ITO靶材坯体出现干燥缺陷。
坯体干燥介质恒温恒湿快速干燥干燥缺陷生产效率注浆成型垫板能耗

[发明专利]一种凝胶注模成型ITO靶材坯体的方法及ITO靶材坯体-CN201910889265.4在审
发明人：张力文;孙剑伟;王博华;李信言;宋继萍 -专利权人：西安航空职业技术学院
申请日： 2019-09-19 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： C04B35/634 文献下载
摘要：本发明公开了一种凝胶注模成型ITO靶材坯体的方法及ITO靶材坯体，包括以下步骤：步骤一、将有机单体、交联剂和蒸馏水混合得到预混液；步骤二、将步骤一中得到的预混液的pH值调节为10；步骤三、将步骤二中得到的预混液与ITO粉末在球磨仪中球磨，并加入分散剂、引发剂和催化剂，混合均匀后制得浆料；步骤四、将步骤三中得到的浆料注入模具中，干燥，得到坯体；其中，有机单体的质量占ITO粉末质量的1％～4％，有机单体的质量与交联剂的质量比为本发明能解决凝胶注模成型ITO靶材坯体易出现严重开裂的问题。
坯体有机单体预混液浆料凝胶注模成型交联剂球磨蒸馏水混合分散剂引发剂质量比催化剂模具

[发明专利]靶坯及其加工方法-CN201710219935.2有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;徐礼升 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2017-04-06 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种靶坯及其加工方法，加工方法包括：提供靶坯，所述靶坯包括待加工面；对所述待加工面进行机械加工，在所述靶坯内形成凹槽和凸台，机械加工后的所述凹槽表面和凸台表面作为溅射面。通过所述凹槽和凸台，可以根据靶坯在溅射过程中的实际材料消耗量，使所述靶坯在不同区域具有不同厚度，即溅射材料较多的区域所对应靶坯的厚度较大，从而可以有效延长靶材组件的使用寿命、减少更换靶材组件的频率，有利于工艺效率的提高
及其加工方法

[发明专利]一种铝及铝合金靶材坯料的制作方法-CN202011001765.9在审
发明人：高奇峰;徐东起;常艳超;周振坤;尤小磊 -专利权人：爱发科电子材料（苏州）有限公司
申请日： 2020-09-22 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种铝及铝合金靶材坯料的制作方法，包括如下步骤：（1）配制金属料件，金属料件为铝或铝合金；（2）将金属料件投入熔炼炉中，控制熔炼温度在750℃‑780℃，并利用高纯氩气进行除气，得到料件熔体；（3）以高纯氮气作为雾化气体，将熔炼后的料件熔体喷射至沉积基板上，喷射完成后将沉积基板取出并进行快速冷却，得到高纯锭坯；（4）将高纯锭坯加热至150℃‑350℃，并在该温度下进行保温2h‑5h后，使用轧机对高纯锭坯进行轧制，得到轧制锭板；（5）对轧制锭板进行热处理，即得到靶材坯料。本发明的制作方法能制作出内部无缺陷、组织均匀、成分均一的靶材坯料，有效减少活泼金属靶材坯料制作时的安全问题。
一种铝合金坯料制作方法

[发明专利]LaBiO3-CN201911181712.7有效
发明人：翟晓芳;刘其鑫;张静娴;陆勤雯;赵爱迪 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2019-11-27 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： C04B35/453 文献下载
摘要：本发明提供了LaBiO3陶瓷靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将La2O3和base:Sub>3混合后球磨，分级处理后得到初始混合物；B)将所述初始混合物放置于氧化铝垫片上后进行预烧结，冷却后得到初始烧结粉末；C)将所述初始烧结粉末与粘合剂混合后烘干进行制坯，得到陶瓷坯体；D)将所述陶瓷坯体放置于氧化铝垫片上再次烧结，冷却后得到LaBiO3陶瓷靶材。本申请还提供了LaBiO3陶瓷靶材及其应用。本发明LaBiO3陶瓷靶材的制备简单，纯度高，致密度高，成分均匀，表面平整，具有较好的稳定性。
labio base sub