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[发明专利]一种等离子体束性能在线诊断系统及方法-CN202210978243.7在审
发明人：曹修全;郭文钰;张洁梅;邓志远;赵明波 -专利权人：四川轻化工大学
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体束性能在线诊断系统及方法，所述系统包括电压信号采集模块、电流信号采集模块、冷却水流量与温度采集模块、气流量采集模块、数据采集卡、LabVIEW程序和计算机，各模块间通过信号线连接；及，所述方法包括：各原始信号采集模块将采集的表征等离子体束性能的原始数据传递给数据采集卡，LabVIEW程序控制数据采集卡按照设定采样频率采集原始数据，并利用LabVIEW程序中设定的逻辑关系对原始数据进行处理，从而获得等离子体束的实时性能，实现对等离子体束性能的在线诊断。本发明的有益效果为：利用该诊断系统及方法能够实现对等离子体束性能的在线诊断，准确获得等离子体束实时的性能，为等离子体束性能在线调控提供数据支撑。
一种等离子体性能在线诊断系统方法

[发明专利]一种用于等离子体密度诊断的天线及其反射数据标定方法-CN202211035764.5在审
发明人：李瑾;陈燕扬;陈敏;尘军;邱长泉;袁延荣;于明星;周勇军;陈轩;孟举;杨凌霄 -专利权人：北京临近空间飞行器系统工程研究所
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H01Q1/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于等离子体密度诊断的天线，双层Vivaldi天线设于双层基板表面，馈电条夹在双层基板之间，Vivaldi天线基板和馈电条垂直于反射器接地板设置。本发明天线可满足小型化要求，适用于微波反射法的在线等离子体诊断。本发明还公开了一种反射数据标定方法，利用无等离子体时的反射数据对等离子体反射数据进行标定，有效排除天线盖板及外部环境等因素的干扰，得到能够准确诊断等离子体密度的真实反射系数。
一种用于等离子体密度诊断天线及其反射数据标定方法

[发明专利]等离子体浸没注入机的注入离子剂量检测控制装置-CN201010255068.6有效
发明人：汪明刚;刘杰;夏洋;李超波;陈瑶;赵丽莉;李勇滔 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2010-08-17 - 公布日： 2012-03-14 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体浸没注入机的注入离子剂量检测控制装置，属于微电子技术领域。所述装置包括用于诊断等离子体离子密度、电子密度、等离子体电势与等离子体电子温度等特性参数的诊断单元；用于获得等离子体中粒子组分和各组分粒子含量的分析单元；用于根据等离子体特性参数以及等离子体中粒子组分和所述各组分粒子含量，计算得出注入工艺参数的计算单元；以及用于根据计算单元的输出信号以及注入工艺参数控制等离子体浸没注入机的注入工艺的控制单元。本发明的等离子体浸没注入机的注入离子剂量检测控制装置可以克服现有的离子注入剂量检测中存在多种带电离子检测的问题；同时还可以用于准确控制离子注入的工艺流程。
等离子体浸没注入离子剂量检测控制装置

[发明专利]一种超高声速二维等离子体鞘套的测试系统及方法-CN201711279106.X有效
发明人：贾洁姝;梁子长;何鸿飞;许勇刚;郭良帅 -专利权人：上海无线电设备研究所
申请日： 2017-12-06 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：本发明提供一种超高声速二维等离子体鞘套的测试系统及方法，用来测量超高声速等离子体鞘套的电磁散射参数。系统包括：等离子体发生器，天线、矢量网络分析仪，程控电源系统和等离子体密度诊断系统；将模拟超高声速等离子体鞘套的等离子体发生器放置在转台上，在发生器一侧放置1‑8GHz天线，利用矢量网络分析仪对天线进行校准利用光谱仪对等离子体发生器内产生的等离子体进行诊断，通过计算从而控制等离子体相关重要参数。本发明弥补了超高声速二维等离子体鞘套参数测量的空白，为研究等离子体鞘套电磁仿真提供实验依据，为探究及解决飞行器的通讯“黑障”问题奠定基础。
一种超高声速二维等离子体测试系统方法

[发明专利]一种工作气体和外部环境气体可控的等离子体射流发生与参数诊断系统-CN201610815761.1在审
发明人：李陈莹;陈杰;刘洋;张若兵;周志成;李爽;韩倩婷 -专利权人：国网江苏省电力公司电力科学研究院;国家电网公司;清华大学深圳研究生院
申请日： 2016-09-09 - 公布日： 2016-12-14 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种工作气体和外部环境气体可控的等离子体射流发生与参数诊断系统，包括等离子体射流发生装置、诊断箱体和气体控制系统，射流发生装置置于诊断箱体内部，通过诊断箱体侧壁上的气体管道接口和电路接口分别与气源和电源相连；诊断箱体具有良好密封性，通过进气口和出气口进行气体调节；侧壁上设计有测量系统接口，用于对等离子体的特性进行诊断。气体控制系统以流量计为主体，控制输入到射流发生装置和诊断箱体中的气体。本发明可根据需要以不同工作气体产生等离子体射流，并控制环境气体成分，结合相应仪器可对等离子体射流的长度、温度、电流、功率和光谱特性进行诊断，以便更好地研究其特性。
一种工作气体外部环境可控等离子体射流发生参数诊断系统

[其他]低温等离子体的化学检测方法-CN86101111无效
发明人：朴东旭;咸文淑;刘静;陈雪芹;胡元洁;黄玉丽 -专利权人：北京化学纤维研究所
申请日： 1986-02-24 - 公布日： 1986-09-10 - 主分类号： G01N31/00 文献下载
摘要：等离子体空间分布的检测方法。借助二苯基苦基酰肼与自由基的定量反应测定出在放电反应管内特定部位上被低温等离子体照射过的固体样品的表面过氧化基量，由此推断等离子体空间分布的均匀度。此法首次提出了利用化学反应进行等离子体诊断的方法，同传统的物理法诊断技术相比，简便、实用，可以将检测数据与等离子体化学反应的最终结果建立联系。
低温等离子体化学检测方法

[发明专利]低温等离子体的化学检测方法-CN86101111.2无效
发明人：朴东旭;咸文淑;刘静;陈雪芹;胡元洁;黄玉丽 -专利权人：北京化学纤维研究所
申请日： 1986-02-24 - 公布日： 1990-10-10 - 主分类号： G01N31/00 文献下载
摘要：等离子体空间分布的检测方法。借助二苯基苦基酰肼与自由基的定量反应测定出在放电反应管内特定部位上被低温等离子体照射过的固体样品的表面过氧化基量，由此推断等离子体空间分布的均匀度。此法首次提出了利用化学反应进行等离子体诊断的方法，同传统的物理法诊断技术相比，简便、实用，可以将检测数据与等离子体化学反应的最终结果建立连系。
低温等离子体化学检测方法

[发明专利]一种应用于聚变堆装置内部部件的综合监测与诊断系统-CN201910781722.8有效
发明人：罗广南;王兴立;陈镇;王万景;李强;谢春意;王纪超;高庆然 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2019-08-23 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： G01B11/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种针对聚变堆装置内部部件的综合监测与诊断系统，包括状态监测系统、等离子体诊断系统、温度监测系统、数据处理系统。其中状态监测系统包括电阻应变片、光纤光栅传感器；温度监测系统包括光纤光栅温度传感器、热电偶；等离子体诊断系统包括主动水冷朗缪尔探针、表面热电偶；数据处理系统接收与处理状态监测系统、温度监测系统、等离子体诊断系统采集的数据本发明覆盖了聚变堆装置内部部件几乎所有关键位置，根据到等离子体的距离，对这些部件形成了多层次、全面的状态（应变、位移、振动等）、温度监测和边界等离子体诊断。
一种应用于聚变装置内部部件综合监测诊断系统

[发明专利]一种基于数据采集卡的多振幅交流偏置探针等离子体诊断方法-CN201610925891.0在审
发明人：陆文琪;白玉静;徐军 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2016-10-31 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明属于等离子体技术领域，一种基于数据采集卡的多振幅交流偏置探针等离子体诊断方法，本发明基于数据采集卡产生交流偏置信号，经功率放大器驱动，再经过取样电阻加在置于等离子体中的探针上，同时，计算机指令的数据采集卡的差分模拟输入端口采集取样电阻上的电压信号送入计算机，并由计算机换算成电流信号；经过频谱分析再进行最小二乘法拟合及进一步计算得到准确的电子温度值和离子密度值。本发明解决了现有的固定振幅交流偏置探针的诊断技术测量电子温度和离子密度不准确的问题，能够诊断等离子体特别是绝缘沉积环境等离子体，并能够自动完成等离子体诊断过程，输出准确的电子温度值和离子密度值。
一种基于数据采集振幅交流偏置探针等离子体诊断方法

[实用新型]一种等离子体喷枪的等离子体强度检测机构-CN202123445785.8有效
发明人：倪国华;李淩豪;胡磊;阮超波;徐少勇;孙坡 -专利权人：中科等离子体科技（合肥）有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： H05H1/26 文献下载
摘要：本实用新型的一种等离子体喷枪的等离子体强度检测机构，包括等离子体喷枪主体，所述等离子体喷枪主体包括壳体，所述壳体为封闭腔体结构，壳体的一端部设置等离子体喷头，等离子体喷头固定在主轴承的主轴上，高压电极与旋气环组件通过法兰与主轴承的主轴相连本实用新型通过在等离子体射流喷枪高压电极中增加石英棒来采集不同状态下等离子体射流的光强变化来间接反映等离子体的强弱，使得设备本身具备等离子体诊断功能，提高了有效诊断手段。
一种等离子体喷枪强度检测机构

[发明专利]一种低温等离子体诊断装置-CN200710011244.X无效
发明人：王庆;巴德纯 -专利权人：东北大学
申请日： 2007-05-10 - 公布日： 2007-10-17 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：一种低温等离子体诊断装置，特别涉及等离子体诊断技术，针对现有同类技术抗干扰能力弱、实时性差而公开一种低温等离子体诊断装置；该装置由朗缪尔探针、电源信号产生电路、信号采集电路及电源组成；朗缪尔探针与信号采集电路相连，信号采集电路和电源信号产生电路相连，电源分别与电源信号产生电路、信号采集电路相连；本装置的优点是对等离子体的干扰小，可以进行实时测量，体积小，使用方便。
一种低温等离子体诊断装置

[发明专利]一种适用于狭小空间焊接及微区等离子体的光谱诊断装置-CN202310115960.1在审
发明人：蔡创;余杰;刘永洪;谢佳;黄嘉森 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：一种适用于狭小空间焊接及微区等离子体的光谱诊断装置，包括等离子体采集装置、三维移动装置和固定支架，等离子体采集装置包括等离子体收集管道，伞端保护罩，布置于等离子体收集管道后端的光谱仪探头固定舱，设置于等离子体收集管道内，用于保护光谱仪探头的保护镜片和向等离子体收集管道输送气体的送气舱；三维移动装置用于安装等离子体采集装置，实现等离子体采集装置在三维空间内的移动；固定支架用于将三维移动装置固定于焊接机器人上，并调整三维移动装置相对于焊接机器人的位置和角度本发明光谱诊断装置可避免焊接烟尘对等离子体采集的影响和焊接飞溅损坏光谱仪探头，实现狭小空间内部以及微区的等离子体检测。
一种适用于狭小空间焊接等离子体光谱诊断装置

[发明专利]一种测量等离子体电子非广延参数的方法-CN201910985875.4有效
发明人：邱慧斌;周振宇;刘三秋 -专利权人：南昌大学
申请日： 2019-10-18 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种测量等离子体电子非广延参数的方法，采用非广延统计力学和电探针测量等离子体非广延参数。本发明将等离子体由非广延统计力学描述，并在此基础上建立非广延电单探针(测量)理论。应用非广延电单探针我们测得了传统电单探针无法测得的电子非广延参数，并且获得了较传统单探针更精确的电子温度、等离子体电位、电子密度和悬浮电位。通过本发明的技术方案，非广延电探针在等离子体诊断中发挥作用，将测量等离子体非广延性，并提高其它等离子体参数的诊断精度。
一种测量等离子体电子非广延参数方法

[发明专利]一种大气压感应耦合等离子体温度场的诊断方法-CN202011588824.7有效
发明人：詹志华;林启富;曾梅花;赵鹏;胡立群 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G01N21/73 文献下载
摘要：本公开了一种大气压感应耦合等离子体温度场的诊断方法，属于等离子体诊断科学与技术领域，该方法通过发射光谱仪、多条单色滤波光路和高速CCD相机，获得等离子体中局部点的辐射强度和整个等离子体辐射光中多条转动谱线的单色灰度图像，利用这些局部点的辐射强度和单色灰度图像中灰度值的一一映射关系，获得灰度值与辐射强度的定量关系式，进而获得等离子体辐射光中多条转动谱线的单色辐射图像，对每个点的多幅单色辐射图像，再利用波尔兹曼斜率法，即可获得该点的分子转动温度即气体温度，对于其他点，以此类推，最终获得等离子体的气体温度场分布。该方法解决了目前的等离子体诊断手段无法获得大气压感应耦合等离子体温度场分布的问题。
一种大气压感应耦合等离子体温度场诊断方法

[发明专利]发射探针及用于等离子体诊断的方法-CN202110784868.5有效
发明人：李建泉;谢新尧;张清和;邢赞扬;李延辉;郭新 -专利权人：山东大学
申请日： 2021-07-12 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种发射探针及用于等离子体诊断的方法，属于等离子体诊断技术领域，包括支架；支架的一端设有电子发射部；支架的外部设有偏置电压加载部，偏置电压加载部位于靠近电子发射部的一端；其中，使用的发射探针进行等离子体诊断时本发明等离子体空间电位由发射探针零发射极限时的伏安特性曲线的拐点电势直接给出，测量过程简单，避免了电子发射电流对特性曲线的影响，降低了发射探针灯丝温度对等离子体的扰动影响，延长了发射探针使用寿命，提高了等离子体的电子密度以及电子能量分布函数等参数的计算准确性，保证对等离子体空间电位测量结果的准确性。
发射探针用于等离子体诊断方法