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- [实用新型]一种错位式多排等离子喷枪-CN202320755528.4有效
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万良庆;卞杰
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南京珀斯佩特电子科技有限公司
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2023-04-07
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2023-10-20
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H05H1/26
- 本实用新型公开了一种错位式多排等离子喷枪，应用在等离子设备技术领域，其技术方案要点是：包括喷枪体与阵列交错设置在喷枪体上的五组喷枪组件，喷枪组件包括连通在喷枪体背面上的高压接头，高压接头用于供高压线穿过，高压接头贯穿喷枪体内的一端连通有输线管，输线管远离高压喷头的一侧连通有喷筒，且喷筒远离输线管的一端安装有凸出喷枪体的喷嘴，若干个个喷嘴之间间隙交错分布，喷筒内设有与高压线电性连接的放电组件，喷枪体靠近高压喷头处连通有两个气管接头，气管接头与喷筒之间通过管道相连通；具有的技术效果是：若干个个喷嘴朝向金属材料喷射等离子射流，增大喷射范围，提高等离子处理效率。
- 一种错位式多排等离子喷枪
- [发明专利]通过等离子体进行气体消减-CN202180088839.3在审
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S·马格尼;N·康登;E·瓦格纳尔斯
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爱德华兹有限公司
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2021-11-01
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2023-08-29
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H05H1/26
- 本发明公开了用于处理来自半导体加工工具的排出物流的设备和方法。等离子体消减设备用于处理来自半导体加工工具的排出物流，等离子体消减设备包括：等离子体装置，其配置成由等离子体气体产生等离子体物流；排出物流孔口，其配置成将所述排出物流输送到所述等离子体物流中以通过所述等离子体物流处理；第一孔口，其定位成将还原反应物递送到所述等离子体物流的第一区域；以及第二孔口，其定位成将氧化反应物递送到所述等离子体物流的第二区域，其中第二区域位于等离子体物流的相比于第一区域温度较低的位置处。以这种方式，将还原试剂引入到等离子体物流的较高温度区域中，将氧化试剂引入到等离子体物流的较低温度区域中。这使得还原反应更有效，因为还原反应物存在于较高温度区域，并且在该较高温度区域中不存在氧化反应物减少了不期望的热生成的氧化物的存在。类似地，氧化反应物的引入有助于去除由还原反应产生的副产物，并且因为将氧化反应物引入到等离子体物流的较低温度区域，所以减少了不期望的热生成的氧化物的量。
- 通过等离子体进行气体消减
- [实用新型]一种低温等离子喷枪结构-CN202320596411.6有效
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李志强
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深圳市方瑞科技有限公司
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2023-03-24
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2023-07-25
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H05H1/26
- 本实用新型涉及等离子喷枪技术领域，特指一种低温等离子喷枪结构，包括不锈钢喷嘴、不锈钢直喷杆、黄铜铜芯、陶瓷绝缘件、不锈钢连接件、管套、不锈钢六角转接螺母、不锈钢弹簧杆以及不锈钢弹簧螺母，不锈钢直喷杆的第一端与不锈钢喷嘴固定，不锈钢直喷杆第二端与不锈钢连接件第一端固定，不锈钢喷嘴、不锈钢直喷杆以及不锈钢连接件之间形成有放电腔体，黄铜铜芯与陶瓷绝缘件设于放电腔体内，陶瓷绝缘件第一端与黄铜铜芯固定，陶瓷绝缘件第二端与不锈钢连接件第一端固定，管套设于不锈钢连接件内，不锈钢连接件第二端与不锈钢六角转接螺母固定，不锈钢弹簧杆的第一端与不锈钢六角转接螺母固定，不锈钢弹簧杆的第二端与不锈钢弹簧螺母固定。
- 一种低温等离子喷枪结构
- [实用新型]一种便于装卸的等离子清洗机火炬-CN202320270290.6有效
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胡大海;周育呈;谢海;黄泓豪
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合肥钛米半导体有限公司
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2023-02-21
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2023-07-25
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H05H1/26
- 本实用新型属于半导体尾气处理技术领域，尤其为一种便于装卸的等离子清洗机火炬，包括阴极以及设置在所述阴极下方的阳极，所述阴极的外侧壁螺纹连接有阴极壳体，所述阳极的外侧壁固定有阳极壳体，所述阴极壳体的底侧为凸台结构，所述阴极壳体通过螺套和所述阳极壳体固定连接；本实用新型安装拆卸时，将阳极壳体插入卡槽A处，卡耳通过卡槽A和卡槽B卡在固定座的表面，用户转动阳极壳体整体，卡耳带动卡环发生转动，使销孔B和销孔A对齐，然后将销钉插入销孔A和销孔B中，实现火炬的安装固定，当需要拆卸时，拔出销钉，转动阳极壳体使卡槽B和卡槽A对齐，即可将阳极壳体从卡环中拔出，本实用新型安装拆卸方便快捷，便于用户清理燃烧室。
- 一种便于装卸等离子清洗火炬
- [实用新型]一种等离子零电势喷嘴-CN202320000046.8有效
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蔡卫
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深圳市诚峰智造有限公司
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2023-01-01
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2023-07-21
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H05H1/26
- 一种等离子零电势喷嘴，包括喷嘴本体，所述喷嘴本体为柱状结构，其第一端设有进口，所述喷嘴的第二端底面的一侧位置设有喷嘴口，所述进口与所述喷嘴口之间经由离子通道连通，所述离子通道包括有进口向所述喷嘴本体第二端延伸的第一通道和由第一通道侧面向喷嘴主体底面的喷嘴口延伸的第二通道，所述进口尺寸大于所述喷嘴口尺寸；所述第一通道为锥形通道，所述锥形通道的底部设有螺钉孔，所述螺钉孔内固定有螺钉，所述螺钉突出所述第二通道底部内侧表面一设定的降电势距离。本实用新型的等离子零电势喷嘴能够使得喷嘴口喷出的等离子为零电势，使其能够用来处理电子元器件等敏感的表面。
- 一种等离子电势喷嘴
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