|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 1899469个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]槽式清洗装置-CN202210308464.3在审
-
苏建生
-
西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
-
2022-03-28
-
2022-04-29
-
H01L21/677
- 本发明涉及一种槽式清洗装置，包括上料单元、清洗单元和下料单元，上料单元包括：第一传送结构，包括第一传送部、第一承载区和至少一个第一缓存区，第一传送部用于将上料台上的承载晶圆的晶圆盒传送至第一承载区，或第一缓存区，或将缓存的晶圆盒传送至第一承载区；第二传送结构，包括第二传送部，用于将放置于第一承载区的晶圆盒内的晶圆传送至清洗单元；下料单元包括：第三传送结构，包括第三传送部，用于将清洗结束后的晶圆传送至第四传送结构的第二承载区放置的空晶圆盒内；第四传送结构，包括第四传送部，第二承载区和至少一个第二缓存区，第四传送部用于将空晶圆盒传送至第二承载区，或第二缓存区缓存，或将缓存的晶圆盒传送至第二承载区。
- 清洗装置
- [实用新型]用于晶圆盒的气体传递装置-CN201520778228.3有效
-
杨丰文
-
杨丰文
-
2015-10-09
-
2016-03-30
-
H01L21/673
- 本实用新型涉及一种用于晶圆盒的气体传递装置。在一实施例中，该气体传递装置包括一多孔性管壁、一气体输入口及一晶圆侧。该多孔性管壁具有一中空通道。该气体输入口连通该中空通道，以输入气体至该中空通道。该晶圆侧设置于该多孔性管壁的一外侧面，朝向该晶圆盒内的晶圆，该晶圆侧的该多孔性管壁的管壁厚度小于该多孔性管壁的其他管壁的厚度。利用本实用新型的气体传递装置，该晶圆侧输出的气体大于该多孔性管壁的其他外侧面，使得较多的气体能传递至晶圆，有效地将该晶圆盒内的杂质或微粒排出该晶圆盒外。且在相同的输入气体条件下，能使较多的气体由该晶圆侧传递至晶圆，可提高气体的使用效率。
- 用于晶圆盒气体传递装置
- [实用新型]密闭式晶圆盒-CN201420801753.8有效
-
江枝茂;邱铭隆;简克誌
-
中勤实业股份有限公司
-
2014-12-17
-
2015-06-03
-
H01L21/673
- 一种密闭式晶圆盒，包括：一中空盒体、一盖体及至少一扣合机构；其中，该盒体的一端设一开口，供至少一片晶圆框架经由该开口置入该盒体中；该盖体设于该盒体的开口处，其与该开口相对应，并盖合于该开口；各该扣合机构设于该盖体上，其于该盖体中央处枢设一转盘，该转盘内面上、下的二对称偏心滑道上，设有一上活动臂及一下活动臂，该上、下活动臂的末端分别设有一卡扣；借此，当该盖体盖合于该盒体的开口上时，可转动该转盘使该上、下活动臂因上、下直线移动，而其卡扣卡合于该开口上、下边缘上，借以令该盖体密闭固定于该盒体的开口上。本实用新型能保护具有晶圆的晶圆框架在搬运中不易滑出晶圆盒，并缓冲及固定晶圆框架，避免晶圆破片。
- 密闭式晶圆盒
- [实用新型]晶舟盒转换装置-CN201921718802.0有效
-
刘方军
-
京隆科技(苏州)有限公司
-
2019-10-14
-
2020-05-05
-
H01L21/677
- 本实用新型揭示了一种晶舟盒转换装置，包括：机台，机台设有底座，底座上安装着依序并排第一置换模组、第二置换模组及推放机构；所述第一置换模组包括第一升降平台、第一升降机构、第一滑移平台及第一滑移机构，第一升降平台供空的第一晶舟盒放置；所述第二置换模组包括第二升降平台、第二升降机构、第二滑移平台及第二滑移机构，第二升降平台已承载晶圆的第二晶舟盒放置；所述推放机构包括推动臂及驱动机构，驱动机构能带动推动臂往所述第二置换模组方向移动，用以将第二晶舟盒内的晶圆推至第一晶舟盒内，借此装置让第一晶舟盒与第二晶舟盒能分离升降且平移对接，以利后续晶圆转换作业。
- 晶舟盒转换装置
- [实用新型]一种晶圆盒自动输送装置-CN202121263108.1有效
-
周志刚;王静强;徐福兴;黄锡钦;陈亮
-
昆山基侑电子科技有限公司
-
2021-06-07
-
2021-12-21
-
B65G35/00
- 本实用新型公开了一种晶圆盒自动输送装置，包括底板、X轴平移驱动组件、Z轴升降驱动组件和晶圆盒装夹组件，X轴平移驱动组件沿着底板上表面长度方向设置，Z轴升降驱动组件连接设置在X轴平移驱动组件上，Z轴升降驱动组件上连接设置有水平升降台，晶圆盒装夹组件包括托盒、两个电动推杆、两个吸盘组件和两L形支架，托盒通过数个锁紧件固定在水平升降台的前部，两个L形支架设置在托盒的相对两侧表面，两个电动推杆配合设置在两个L形支架上，每个电动推杆的伸缩端均穿过托盒与一吸盘组件固接，本实用新型公可便于提取多种位置的晶圆盒，其可有利于更准确地对位接收空晶圆盒，实用性较强，相较于现有技术，具有较高的使用价值。
- 一种晶圆盒自动输送装置
|
