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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种摇摆式晶圆干燥设备及晶圆干燥方法-CN202210713042.4有效
  • 钱诚;李刚;霍召军 - 江苏亚电科技有限公司
  • 2022-06-22 - 2023-10-03 - H01L21/67
  • 本申请涉及一种摇摆式晶圆干燥设备，包括：槽体，盖体和摇摆机构。摇摆机构包括：驱动件、滑动安装块和拱形滑动臂；所述滑动安装块向下方延伸形成延伸部，拱形滑动臂的第一支臂中间具有滑动槽，滑动安装块的延伸部上设置有位于滑动槽内的滑轮。驱动件带动滑动安装块在滑轨上运动，进而通过滑轮作用于滑动槽，进而使容纳座发生摆动。与现有技术相比，滑动安装块向下方延伸形成延伸部，延伸部上设置滑轮，能够使滑轮尽量远离滑动安装块的移动中线，从而使整个滑轮和滑动槽的配合点更低，提高摆动的幅度。
  • 一种摆式干燥设备干燥方法
  • [实用新型]异丙醇与氮气混合罐-CN202321086934.2有效
  • 钱诚;李刚;霍召军 - 无锡亚电智能装备有限公司
  • 2023-05-08 - 2023-09-08 - B01F25/452
  • 本申请涉及一种异丙醇与氮气混合罐，液态异丙醇通过异丙醇通入口注入到罐体内并淹没内罐，氮气从氮气通入通道进入内罐中，并从内罐的气孔处分散流出，气孔处流出的氮气在异丙醇内冒泡上升，在此过程中易挥发的异丙醇被混入氮气内形成混合气体，异丙醇与氮气混合更加均匀，混合气体从混合气体流出口处流出以供后续对晶圆的处理。同时，一体成型的石英材料极大地减少了机构之间的装配，降低了泄露的风险。
  • 异丙醇氮气混合
  • [实用新型]一种流体加热器-CN202321087823.3有效
  • 钱诚;霍召军;王建 - 无锡亚电智能装备有限公司
  • 2023-05-08 - 2023-09-08 - F24H1/20
  • 本申请涉及一种流体加热器，包括：罐体、红外加热器；罐体内具有容纳腔体，由石英材料制成，罐体的两侧分别设置有流体通入口和流体流出口，沿罐体的轴向横向平行设置有横穿整个罐体内部的第一容纳管；红外加热器设置在第一容纳管内，红外加热器发出红外加热光线，以加热流过罐体流过的流体；罐体外包覆有玻璃纤维布。流体通过石英材料制成的罐体，红外加热器起加热作用，罐体不使用金属材料可以防止气体中带有金属成分，提高气体的纯度。玻璃纤维布起到了保护石英材料制成的罐体，还可以防止红外加热器发出的红外加热光线泄漏。红外加热器具有加热速度快，能够顺利通过石英材料制成的第一容纳管，同时红外加热的方式也不会对气体产生杂质。
  • 一种流体加热器
  • [实用新型]一种晶圆理片机构-CN202223119578.8有效
  • 李刚;霍召军;王建 - 江苏亚电科技有限公司
  • 2022-11-23 - 2023-08-29 - H01L21/68
  • 本申请涉及一种晶圆理片机构，包括安装框架、旋转轴、理片块、旋转驱动件和理片驱动件，旋转驱动件驱动旋转轴旋转，理片块能够随着理片驱动件而上升下降，晶圆盒置于工作板前，理片块处于最低端，能够防止晶圆盒置入时部分晶圆撞击理片块导致损失，晶圆盒置于工作板后，理片块在理片驱动件的驱动下缓慢上升顶起晶圆。理片时，通过旋转轴驱动晶圆进行转动，当晶圆上的缺角或者槽口对准理片块时晶圆就不再能够被旋转轴带动而转动，当所有的晶圆的缺角或者槽口对准理片块即完成了晶圆的理片。
  • 一种晶圆理片机构
  • [发明专利]晶圆盒晶圆篮清洗设备-CN202211688793.1在审
  • 霍召军;李涛;吴亚晨 - 无锡亚电智能装备有限公司
  • 2022-12-27 - 2023-05-02 - B08B9/28
  • 本申请涉及一种晶圆盒晶圆篮清洗设备，旋转支撑架可以使容纳架发生公转，方便将相应的容纳架转动到对应内筒体的开口处，同时容纳架本身也可以自转，容纳架固定在开口朝外时，可以方便将晶圆篮和晶圆盒从容纳架上取放，固定到开口朝内时，就可以进行清洗操作。同时，本发明中的电机仅驱动中间轴转动进而带动所述竖直喷管转动，竖直喷管转动转动从而覆盖全部的容纳架，同时转动部件少，结构更加简单。
  • 晶圆盒晶圆篮清洗设备
  • [发明专利]一种晶圆理片方法-CN202211475987.3在审
  • 李刚;霍召军;李文亭 - 江苏亚电科技有限公司
  • 2022-11-23 - 2023-03-28 - H01L21/68
  • 本申请涉及一种晶圆理片方法，理片块能够在理片驱动器带动下而上升下降，晶圆盒置入前，理片块处于最低端，能够防止晶圆盒置入时部分晶圆撞击理片块导致损伤，晶圆盒到达工作位置后，理片块在理片驱动器的驱动下缓慢上升顶起晶圆。理片时，通过旋转轴驱动晶圆进行转动，当晶圆上的缺角或者槽口对准理片块时晶圆就不再能够被旋转轴带动而转动，当所有的晶圆的缺角或者槽口对准理片块即完成了晶圆的理片。
  • 一种晶圆理片方法
  • [发明专利]一种晶圆清洗干燥装置-CN202310107958.X在审
  • 钱诚;霍召军;刘青松;刘川 - 江苏亚电科技有限公司
  • 2023-02-14 - 2023-03-21 - H01L21/67
  • 本发明涉及物体表面干燥的技术领域，本发明具体涉及一种晶圆清洗干燥装置，包括喷淋头，喷淋头设有与外界气源连通的壳体，壳体设有可转动的外环，所述外环转动设有内环，外环设有倾斜设置的第一排气孔，内环设有与第一排气孔倾斜方向相反的第二排气孔，壳体内设有驱动外环、内环相对转动的驱动机构，外环设有第一啮合齿、内环设有第二啮合齿，驱动机构包括与第一啮合齿配合的第一齿轮、与第二啮合齿啮合的第二齿轮，第一齿轮与第二齿轮之间通过连接杆固定连接，连接杆滑动设有滑套，内环设有通过气流驱动旋转的叶片，壳体设有驱动滑套滑动的推拉机构，用以解决蒸发表面气体凝滞而导致蒸发效率降低的技术问题。
  • 一种清洗干燥装置
  • [发明专利]一种晶圆理片装置-CN202211477238.4在审
  • 李刚;霍召军;王建 - 江苏亚电科技有限公司
  • 2022-11-23 - 2023-03-17 - H01L21/68
  • 本申请涉及一种晶圆理片装置，包括工作板和理片机构，本申请中的理片块能够随着理片驱动件而上升下降，晶圆盒置于工作板前，理片块处于最低端，能够防止晶圆盒置入时部分晶圆撞击理片块导致损失，晶圆盒置于工作板后，理片块在理片驱动件的驱动下缓慢上升顶起晶圆。理片时，通过旋转轴驱动晶圆进行转动，当晶圆上的缺角或者槽口对准理片块时晶圆就不再能够被旋转轴带动而转动，当所有的晶圆的缺角或者槽口对准理片块即完成了晶圆的理片。
  • 一种晶圆理片装置
  • [发明专利]弯管机-CN202210963641.1在审
  • 钱诚;李刚;霍召军 - 江苏亚电科技有限公司
  • 2022-08-11 - 2022-11-11 - B21D7/024
  • 本发明公开了弯管机，包括工作台，所述工作台底部固定连接有支腿，所述工作台顶部开设有安装槽和滑槽，所述工作台顶部设置有用于输送钢管的驱动机构和用于配合所述驱动机构对钢管输送的从动调节机构，所述驱动机构上设置有弯管机构，所述工作台顶部后端固定连接有用于支撑钢管的钢管导轨，所述工作台顶部并位于所述从动调节机构和所述钢管导轨之间设置有加热机构。本发明的有益效果如下：本发明通过设置加热机构，在钢管进行折弯前，加热机构对钢管进行加热，使得钢管上的pfa管变软，从而在折弯时使pfa管易于变长，避免pfa管破损，另外通过从动调节机构使其改变离驱动机构的距离，适用于不同直径的钢管，提高适用性。
  • 弯管
  • [发明专利]一种晶圆盒对位翻转转移方法-CN202111244329.9有效
  • 钱诚;童建;霍召军 - 江苏亚电科技有限公司;亚电科技南京有限公司
  • 2021-10-26 - 2022-06-10 - H01L21/68
  • 本申请涉及一种晶圆盒对位翻转转移方法，分别使用第一滑动定位驱动件和第二滑动定位驱动件分别使晶圆盒的侧边固定于第二固定定位块和第四固定定位块上，第二固定定位块和第四固定定位块分别设置于第二发出固定板和第二接收固定板上，且分别与第一滑动定位座和第二滑动定位座垂直，四角定位块设置于第一滑动定位座和第二滑动定位座上；第一滑动定位座和第二滑动定位座分别滑动设置于第一发出固定板和第一接收固定板上；第一旋转座和第二旋转座翻转90度，使位于第一旋转座和第二旋转座上的晶圆盒的开口相对以便于推动总成将晶圆推动至新的晶圆盒内。上述方法通过定位和固定，保障了晶圆盒翻转的安全，实现了晶圆转移的自动化操作。
  • 一种晶圆盒对位翻转转移方法
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