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[实用新型]具有动态定位结构的晶片传送盒-CN201520558407.6有效
发明人： 简克誌;邱铭隆;陈延方 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2015-07-29 - 公布日： 2015-11-18 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种具有动态定位结构的晶片传送盒，包括有：一中空盒体、一盖体及一定位片；其中，该盒体的一端设一开口，以供至少一晶片框架进出该盒体的容置空间，该盒体的一底板的一侧上设一第一定位销；而该定位片于其二侧分别设一第二定位销及一第三定位销，该定位片以可拆卸的方式设于该盒体的底板的另一侧上，且其二端嵌接于该盒体的二侧板下缘；当晶片传送盒的定位销对准于机台的定位凸部时，经由设于该底板的定位片以分散机台的定位凸部直接施压于底板上定位销的向上反作用力，而避免造成底板向上翘曲。
具有动态定位结构晶片传送

[实用新型]密闭式晶圆盒-CN201420801753.8有效
发明人：江枝茂;邱铭隆;简克誌 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2014-12-17 - 公布日： 2015-06-03 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种密闭式晶圆盒，包括：一中空盒体、一盖体及至少一扣合机构；其中，该盒体的一端设一开口，供至少一片晶圆框架经由该开口置入该盒体中；该盖体设于该盒体的开口处，其与该开口相对应，并盖合于该开口；各该扣合机构设于该盖体上，其于该盖体中央处枢设一转盘，该转盘内面上、下的二对称偏心滑道上，设有一上活动臂及一下活动臂，该上、下活动臂的末端分别设有一卡扣；借此，当该盖体盖合于该盒体的开口上时，可转动该转盘使该上、下活动臂因上、下直线移动，而其卡扣卡合于该开口上、下边缘上，借以令该盖体密闭固定于该盒体的开口上。本实用新型能保护具有晶圆的晶圆框架在搬运中不易滑出晶圆盒，并缓冲及固定晶圆框架，避免晶圆破片。
密闭式晶圆盒