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[实用新型]一种晶圆转移系统-CN202122256258.6有效
发明人：吴功;倪萌;郑英杰;国建花;李国勇 -专利权人：上海大族富创得科技有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆转移系统，包括：晶圆盒取放单元，晶圆盒取放单元包括装载台一，装载台一用于接收并承载晶圆盒；开盒单元，开盒单元包括晶圆盒开关器和夹持机构，晶圆盒开关器用于承载和开闭晶圆盒，夹持机构用于夹持并提升位于晶圆盒开关器上的晶圆盒；晶圆盒转移机械手，晶圆盒转移机械手用于在晶圆盒取放单元和开盒单元之间转移晶圆盒。本实用新型通过晶圆盒取放单元、开盒单元和晶圆盒转移机械手的配合，实现对晶圆盒快速开闭作业，确保晶圆盒转移机械手的高效作业，同时也提供了多个晶圆盒缓冲暂存工位，从而避免晶圆盒载入或载出堵塞，提高了系统运行效率。
一种转移系统

[实用新型]晶圆夹具以及晶圆转移机械臂-CN202122263442.3有效
发明人：吴功;倪萌;国建花 -专利权人：上海大族富创得科技有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了晶圆夹具以及晶圆转移机械臂，包括：至少一个托爪盘，托爪盘上设置有至少两个托爪块，以形成用于容纳并承托晶圆的收容空间；限位装置，限位装置包括推杆和驱动机构，驱动机构用于驱动推杆朝向收容空间移动，以使得位于收容空间内的晶圆边缘被夹持于推杆和托爪块之间。本实用新型通过设置限位装置，将位于收容空间内的晶圆进一步夹持限位在推杆和托爪块之间，从而避免晶圆夹具在带动晶圆移动过程中，晶圆因惯性在收容空间内晃动，甚至脱离收容空间，从而提高了晶圆转移的安全性，并且有利于提高晶圆转移速度。
夹具以及转移机械

[实用新型]一种晶圆寻边装置-CN202122263465.4有效
发明人：吴功;国建花 -专利权人：上海大族富创得科技有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆寻边装置，包括：转动驱动机构，转动驱动机构包括主动辊和从动辊，主动辊和从动辊平行且间隔设置，以承载垂直状态的晶圆；阻挡杆，阻挡杆平行设置于主动辊和从动辊之间，且阻挡杆能够升降，以抬升位于主动辊和从动辊上的晶圆；以及，限位机构一，限位机构一包括限位晶圆梳一。本实用新型通过多机构相配合，实现对批量垂直状态的晶圆进行寻边，并且通过从动辊和阻挡杆的配合实现完成寻边的晶圆被承载在从动辊和阻挡杆上，避免晶圆仅依靠其凹槽支撑，进而避免晶圆损坏。
一种晶圆寻边装置

[实用新型]晶圆水平承托装置以及晶圆转移机械臂-CN202122263550.0有效
发明人：吴功;国建花;倪萌 -专利权人：上海大族富创得科技有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了晶圆水平承托装置以及晶圆转移机械臂，包括：至少一个托爪盘，托爪盘上设置有两个托爪组，两托爪组均包括至少一个托爪块，以形成用于容纳并承托晶圆的收容空间；驱动机构，驱动机构与至少一个托爪组连接，用于驱动一托爪组移动，以使收容空间与待收容的晶圆相适配。本实用新型通过驱动机构驱动托爪组从而形成用于容纳并承托晶圆的收容空间，并且能够实现多种收容空间，进而适宜不同状态或尺寸的晶圆；进一步通过设置阶梯状托爪块，从而实现在同一托爪块区分承托不同状态晶圆，提高了空间利用率。
水平承托装置以及转移机械

[实用新型]一种晶圆转移系统-CN202122263608.1有效
发明人：吴功;倪萌;李国勇;刘军峰;李冰野;郑英杰;国建花 -专利权人：上海大族富创得科技有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆转移系统，包括：开盒单元，用于开闭晶圆盒；晶圆翻转单元，用于将晶圆在水平状态和垂直状态之间转换；晶圆转移单元，用于在开盒单元和晶圆翻转单元之间转移水平状态的晶圆。本实用新型通过开盒单元、晶圆转移单元以及晶圆翻转单元相配合，实现将晶圆由晶圆盒内取出，并将水平状态的晶圆翻转为垂直状态，并进一步可实现批量晶圆操作，从而为实现晶圆工艺处理高效运行提供了基础。
一种转移系统

[发明专利]一种晶圆转移系统-CN202111090833.8在审
发明人：吴功;倪萌;李国勇;刘军峰;李冰野;郑英杰;国建花 -专利权人：上海大族富创得科技有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆转移系统，包括：开盒单元，用于开闭晶圆盒；晶圆翻转单元，用于将晶圆在水平状态和垂直状态之间转换；晶圆转移单元，用于在开盒单元和晶圆翻转单元之间转移水平状态的晶圆。本发明通过开盒单元、晶圆转移单元以及晶圆翻转单元相配合，实现将晶圆由晶圆盒内取出，并将水平状态的晶圆翻转为垂直状态，并进一步可实现批量晶圆操作，从而为实现晶圆工艺处理高效运行提供了基础。
一种转移系统

[发明专利]一种晶圆转移系统以及方法-CN202111090673.7在审
发明人：吴功;倪萌;郑英杰;国建花;李国勇 -专利权人：上海大族富创得科技有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆转移系统，包括：晶圆盒取放单元，晶圆盒取放单元包括装载台一，装载台一用于接收并承载晶圆盒；开盒单元，开盒单元包括晶圆盒开关器和夹持机构，晶圆盒开关器用于承载和开闭晶圆盒，夹持机构用于夹持并提升位于晶圆盒开关器上的晶圆盒；晶圆盒转移机械手，晶圆盒转移机械手用于在晶圆盒取放单元和开盒单元之间转移晶圆盒。本发明通过晶圆盒取放单元、开盒单元和晶圆盒转移机械手的配合，实现对晶圆盒快速开闭作业，确保晶圆盒转移机械手的高效作业，同时也提供了多个晶圆盒缓冲暂存工位，从而避免晶圆盒载入或载出堵塞，提高了系统运行效率。
一种转移系统以及方法

[发明专利]晶圆转移机械臂、晶圆水平承托装置以及承托方法-CN202111090674.1在审
发明人：吴功;倪萌;国建花 -专利权人：上海大族富创得科技有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆转移机械臂，包括：机械臂本体；以及设置于机械臂上的晶圆水平承托装置，晶圆水平承托装置包括驱动机构和至少一个托爪盘，托爪盘上设置有两个托爪组，两托爪组均包括至少一个托爪块，驱动机构与至少一个托爪组连接，以驱动一托爪组相对另一托爪组移动，并形成用于容纳并承托晶圆的收容空间。本发明通过机械臂本体和晶圆水平承托装置相配合，实现对水平状态晶圆平稳、高效地取放、转移；进一步地，晶圆水平承托装置通过驱动机构驱动托爪组形成多种用于容纳并承托晶圆的收容空间，进而适宜不同状态或尺寸的晶圆，并且阶梯状托爪块，实现了在同一托爪块区分承托不同状态晶圆，提高了空间利用率。
转移机械水平承托装置以及方法

[发明专利]一种晶圆寻边装置以及寻边方法-CN202111090824.9在审
发明人：吴功;国建花 -专利权人：上海大族富创得科技有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆寻边装置，包括：转动驱动机构，转动驱动机构包括主动辊和从动辊，主动辊和从动辊平行且间隔设置，以承载垂直状态的晶圆；阻挡杆，阻挡杆平行设置于主动辊和从动辊之间，且阻挡杆能够升降，以抬升位于主动辊和从动辊上的晶圆；以及，限位机构一，限位机构一包括限位晶圆梳一。本发明通过多机构相配合，实现对批量垂直状态的晶圆进行寻边，并且通过从动辊和阻挡杆的配合实现完成寻边的晶圆被承载在从动辊和阻挡杆上，避免晶圆仅依靠其凹槽支撑，进而避免晶圆损坏。
一种晶圆寻边装置以及方法

[发明专利]一款加热盘检验及拆装时存放专用车-CN201510202923.X有效
发明人：吕光泉;吴彪;吴凤丽;国建花 -专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
申请日： 2015-04-24 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一款加热盘检验及拆装时存放专用车，包括车体、水晶软垫和万向轮，万向轮固定在车体的下面，车体是由横梁、端横梁和立柱组成的四方体，在上端和中间的横梁上设有支臂，水晶软垫放置在支臂上，水晶软垫上设有开口，开口的宽度小于两个支臂的间距。在加热盘存放后，加热盘检验及拆装时存放专用车整体重心仍位于货架中心偏下处，无偏移存在。货架底部装有辅助移动的脚轮组件，可以实现小车在使用过程中来回移动或停靠，便于实际操作。因为水晶软垫自身富有弹性，无论任何材质，其都不会对加热盘造成任何损伤。
一款加热检验拆装存放专用车

[发明专利]半导体镀膜设备控温系统-CN201510357861.X有效
发明人：吕光泉;吴凤丽;国建花;郑英杰 -专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
申请日： 2015-06-25 - 公布日： 2018-06-26 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：半导体镀膜设备控温系统，包括加热盘，加热盘为一体式结构，加热盘内部并不是普通的加热丝结构，而是设置有媒介管道实现对加热盘温度的控制。上述的加热结构采用将媒介管道以铸造的方式布置在加热盘内部或采用机械加工的方式加工出相应的沟槽，再将媒介管道焊接在加热盘内。上述媒介管道结构按涡旋排布，尽量使媒介管路布局均匀，以更好的实现温度控制。在加热盘中部设有进气通道，将导热介质通入加热盘与晶圆之间，并在其间形成一定的气隙，因传热介质的热传导效果较好，可使加热盘的温度快速、均匀的传导到晶圆，或是将晶圆的温度迅速的传导至加热盘上导出。通过合理的通气结构设计，使得导热介质能够快速、均匀的在空隙中流动，及时实现加热盘及晶圆的热交换。
加热盘媒介管道晶圆半导体镀膜导热介质控温系统传导热交换热传导效果一体式结构传热介质机械加工加热结构进气通道媒介管路通气结构加热丝导出排布气隙涡旋焊接铸造加工流动

[发明专利]控温盘-CN201510359908.6有效
发明人：吕光泉;吴凤丽;国建花;郑英杰 -专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
申请日： 2015-06-25 - 公布日： 2017-08-11 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：一种控温盘，主要解决现有半导体镀膜设备热交换效率及产能较低，晶圆温度不够均匀致使薄膜失败的技术问题。它主要包括三个部件，即加热盘上盘体、加热盘下盘体及加热盘基座。各部件之间采用焊接的方式进行连接。采用媒介和热传导气体对加热盘及晶圆进行温度控制，每个部件上有不同的结构，形成加热盘的媒介通道和热传导气体通道，进而控制加热盘的温度，该控温盘采用媒介质进行冷却和加热，利用媒介的循环，对加热盘进行温度的控制，媒介通道分布在加热盘内部。本控温盘结构合理，其热传导气体进气结构可以使加热盘及晶圆之间快速、均匀的充满导热气体以使得加热盘的温度快速、均匀的传导到晶圆，或是将晶圆的温度迅速的传导至加热盘上导出。可广泛地应用于半导体薄膜沉积技术领域。
控温盘

[发明专利]半导体设备用波纹管密封性能检验工装-CN201510527122.0在审
发明人：方仕彩;国建花;吴凤丽;廉杰;杜广宇 -专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
申请日： 2015-08-25 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： G01M3/02 文献下载
摘要：半导体设备用波纹管密封性能检验工装，它主要包括上法兰盖板、双头螺柱、底部盲板及密封圈等。使用时，在波纹管的法兰孔位中分别穿入双头螺柱，用六角螺母固定使波纹管处于自然长度状态，避免了抽气时波纹管的负压收缩变形，对波纹管本身起到保护作用，再将密封圈安装在波纹管两端的法兰密封槽中，然后压在底部盲板上，再将上法兰盖板压在波纹管的上法兰上，最后在上法兰盖板的接口处连接检漏仪进行抽气检漏操作，记录检漏仪检测的波纹管的真空度结果，最后判定波纹管的密封性能是否合格。本工装适用于焊接圆形、椭圆形、三角形等任意形状法兰的波纹管，具有通用性。有效的提高了检漏的可靠性，减少了检漏时间，同时排除了波纹管存在漏点的可能性，从更深层意义上来说提高了设备的总产能。
半导体备用波纹管密封性能检验工装

[发明专利]一种波纹管实际寿命检测工装-CN201510468341.6在审
发明人： 国建花;吴凤丽 -专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
申请日： 2015-08-03 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： G01M13/00 文献下载
摘要：一种波纹管实际寿命检测工装，包括上盖板、腔体、加热器组件及过渡法兰。上盖板设置在腔体的上端。加热器组件及过渡法兰固定在腔体的下端。加热盘组件包括安装基座、气缸、万向活节、直线滑轨、滑块、加热盘连接件、波纹管和加热盘。厂务端的泵管路连接到过渡法兰的下端法兰上。直线滑轨固定在安装基座上。滑块在直线滑轨上滑动。气缸固定在安装基座的下端。气缸与加热盘连接件连接在一起。加热盘连接件的侧面与滑块固定连接。加热盘上端插入到腔体内，下端与加热盘连接件连接。波纹管上端固定在腔体上，下端固定在加热盘连接件上。本发明结构简单，通过模拟机台的实际使用情况，来测试波纹管真正的使用寿命是否符合设备的需求。
一种波纹管实际寿命检测工装

[实用新型]波纹管实际寿命检测装置-CN201520575581.1有效
发明人： 国建花;吴凤丽 -专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
申请日： 2015-08-03 - 公布日： 2015-12-30 - 主分类号： G01M13/00 文献下载
摘要：波纹管实际寿命检测装置，包括上盖板、腔体、加热器组件及过渡法兰。上盖板设置在腔体的上端。加热器组件及过渡法兰固定在腔体的下端。加热盘组件包括安装基座、气缸、万向活节、直线滑轨、滑块、加热盘连接件、波纹管和加热盘。厂务端的泵管路连接到过渡法兰的下端法兰上。直线滑轨固定在安装基座上。滑块在直线滑轨上滑动。气缸固定在安装基座的下端。气缸与加热盘连接件连接在一起。加热盘连接件的侧面与滑块固定连接。加热盘上端插入到腔体内，下端与加热盘连接件连接。波纹管上端固定在腔体上，下端固定在加热盘连接件上。本实用新型结构简单，通过模拟机台的实际使用情况，来测试波纹管真正的使用寿命是否符合设备的需求。
波纹管实际寿命检测装置

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