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[发明专利]基于飞秒脉冲激光沉积生长微纳米结构薄膜的方法及装置-CN201410719966.0在审
发明人：冯国英;杨先衡;周寿桓 -专利权人：四川大学
申请日： 2014-12-02 - 公布日： 2015-04-01 - 主分类号： C23C14/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于飞秒脉冲激光沉积生长周期性阵列微纳米结构薄膜的方法及其装置。该方法采用传统激光沉积技术，在激光沉积系统中的真空腔内增加掩膜过滤，得周期性阵列结构薄膜，再将薄膜经后期浸泡处理，即得周期性阵列微纳米结构薄膜。本发明实现该方法的装置包括飞秒激光系统、光学快门，衰减器，1/2波片、偏振器，透镜及真空泵，激光沉积系统中真空腔、靶材及基片、掩模，装置外部装浸泡液的容器等。
基于脉冲激光沉积生长纳米结构薄膜方法装置

[实用新型]基于飞秒脉冲激光沉积生长微纳米结构薄膜的方法及装置-CN201120472216.X有效
发明人：冯国英;杨先衡;周寿桓 -专利权人：四川大学
申请日： 2014-12-02 - 公布日： 2012-07-25 - 主分类号： C23C14/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于飞秒脉冲激光沉积生长周期性阵列微纳米结构薄膜的方法及其装置。该方法采用传统激光沉积技术，在激光沉积系统中的真空腔内增加掩膜过滤，得周期性阵列结构薄膜，再将薄膜经后期浸泡处理，即得周期性阵列微纳米结构薄膜。本发明实现该方法的装置包括飞秒激光系统、光学快门，衰减器，1/2波片、偏振器，透镜及真空泵，激光沉积系统中真空腔、靶材及基片、掩模，装置外部装浸泡液的容器等。
基于脉冲激光沉积生长纳米结构薄膜方法装置

[发明专利]一种使用脉冲激光法在内腔表面镀膜的装置与方法-CN201010523120.1有效
发明人：赵栋才;肖更竭;马占吉;武生虎;任妮 -专利权人：中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所
申请日： 2010-10-26 - 公布日： 2011-04-20 - 主分类号： C23C14/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种使用脉冲激光法在内腔表面镀膜的装置，包括激光器、平面镜、凸透镜，真空室、靶材、水冷管，还包括连动装置，工件架，导轨，其中导轨与真空室壁连接，工件架设有可沿导轨运动的滚轮，工件架一端与连动装置相连接本发明还涉及一种使用脉冲激光法在内腔表面镀膜的方法。使用本发明所述装置和方法可以实现脉冲激光内腔镀膜，且能实现多种薄膜沉积。
一种使用脉冲激光在内表面镀膜装置方法

[发明专利]沉积材料的方法-CN200980133621.4有效
发明人： J·A·扬森斯;G·范德艾克尔;J·M·德克斯;J·J·布鲁克玛特;P·特里勒 -专利权人：索尔玛特斯有限责任公司
申请日： 2009-08-24 - 公布日： 2011-07-20 - 主分类号： C23C14/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种沉积靶材料(3)至样品(2)的表面的方法，该方法包括以下步骤：通过用激光束或电子束(7)照射靶表面来生成靶材料粒子的羽焰(9)；放置样品(2)至羽焰附近，以使得靶材料粒子沉积到样品的表面上；绕着垂直于沉积粒子的样品表面的旋转轴线(1)旋转样品；沿着靶表面移动激光束，以使得羽焰相对于旋转轴线沿径向移动；以可变的频率来脉冲调制激光束。
沉积材料方法

[发明专利]用于在激光沉积过程中控制基板中的应力的方法-CN202110581651.4在审
发明人： K·H·韦杰;J·A·霍伊费尔;W·C·L·霍普曼;K·H·A·波姆;J·M·德克斯;J·A·扬森斯 -专利权人：索尔玛特斯有限责任公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： C23C14/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于在激光沉积过程中控制基板上的薄膜中的应力的方法，该方法包括以下步骤：提供激光沉积装置，其包括腔室，腔室有：靶保持器，靶保持器有靶；基板保持器，基板保持器有面对靶的基板；以及窗口；激光沉积装置还包括激光束，激光束通过腔室的窗口被引导至靶处的点上，用于产生靶材料的等离子体羽流，并使得靶材料沉积在基板的表面部分上，以形成靶材料的薄膜；在基板上确定多个离散表面部分；使靶点一个接一个地与各离散表面部分对齐，并产生等离子体羽流，以使靶材料沉积在各离散表面部分上；根据与靶点对齐的离散表面部分来调节沉积处理的至少一个参数，参数包括温度、压力、激光束脉冲持续时间、激光束功率、靶至基板的距离。
用于激光沉积过程控制中的应力方法

[发明专利]一种脉冲激光沉积装置及其方法-CN201810028030.1在审
发明人：彭明娣;卢维尔;夏洋;赵丽莉;李楠 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2018-01-11 - 公布日： 2018-07-31 - 主分类号： C23C14/28 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种脉冲激光沉积装置，所述装置包括：腔室，所述腔室设有两个石英窗口，所述腔室包括；可旋转靶材，所述可旋转靶材设置于所述腔室内部；衬底，所述衬底设置于所述腔室内部，所述衬底与所述可旋转靶材相对设置；第一激光，所述第一激光从所述腔室外部通过所述石英窗口，入射至所述可旋转靶材的上表面；第二激光，所述第二激光从所述腔室外部通过所述石英窗口，入射至所述可旋转靶材的上表面；解决现有脉冲激光沉积系统成膜过程中
可旋转靶材薄膜石英窗口激光衬底腔室脉冲激光沉积装置腔室内部腔室外部杂质颗粒上表面入射脉冲激光沉积系统等离子体成膜过程技术效果结晶性能相对设置影响结晶组分波动大颗粒均匀性制备申请

[发明专利]一种用于嵌入式电容器的铋锌铌薄膜的制备方法-CN200910024398.1无效
发明人：任巍;张效华;王昭;史鹏;陈晓峰;吴小清;姚熹 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2009-10-20 - 公布日： 2010-04-14 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于嵌入式电容器的铋锌铌薄膜的制备方法，按照步骤依次包括配料、球磨、预烧、成型、烧结、沉积薄膜和热处理，本发明的沉积薄膜是采用脉冲激光沉积技术将以上制得的铋锌铌陶瓷靶材在镀Pt基片或聚合物基底的覆铜板上原位沉积厚度为这种采用脉冲激光沉积工艺，在室温下原位沉积的方法制得的薄膜呈现为非晶态的BZN材料，薄膜的表面非常光滑，具有较低的表面粗糙度。本发明制得的BZN薄膜材料的介电常数为60，并且损耗在0.6％左右。
一种用于嵌入式电容器铋锌铌薄膜制备方法

[发明专利]激光腐蚀方法及其装置-CN00134285.1无效
发明人：小出纯 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2000-11-30 - 公布日： 2001-06-06 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种借助于用来自能够依次发射脉冲辐射时间不超过1皮秒的空间上和时间上大能量密度的光脉冲的激光振荡器的激光,辐照无机材料组成的工件而进行光学烧蚀加工的激光腐蚀方法,其中,在借助于用来自具有预定图形和具有预定能量密度的激光振荡器的激光对其辐照的无机材料组成的工件的激光腐蚀过程中,利用了用来防止加工副产品在腐蚀位置周围沉积的装置。
激光腐蚀方法及其装置

[发明专利]光学各向异性可饱和吸收器件、制备方法及基于该器件的脉冲激光器-CN201310139359.2有效
发明人：王枫秋 -专利权人：王枫秋
申请日： 2013-04-19 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： H01S3/081 文献下载
摘要：本发明公开了光学各向异性可饱和吸收器件、制备方法及基于该器件的脉冲激光器，将本身具有取向性的可饱和吸收材料，通过拉制形成薄膜，直接沉积到镀膜的光学衬底上，并将其集成到可旋转支架装置中，形成光学各向异性可饱和吸收器件；或将沉积或转移到镀膜的光学衬底上的一种或多种具有可饱和吸收特性的层状材料，通过电子束光刻形成具有相同取向的纳米线结构，并将其集成到可旋转支架装置中，形成光学各向异性可饱和吸收器件；并提供了将该可饱和吸收器件应用于脉冲激光器中实现调Q或者锁模脉冲的方法，基于这种光学各向异性可饱和吸收器件的脉冲激光器稳定性高、功率高、工作波长范围广、输出偏振态可控。
光学各向异性饱和吸收器件制备方法基于脉冲激光器

[发明专利]一种电学器件用Al掺杂的氧化锌薄膜制备方法-CN201710490722.3有效
发明人：郭禧斌;左明鑫;吴伯彪 -专利权人：郑州科技学院
申请日： 2017-06-15 - 公布日： 2019-06-21 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用脉冲激光沉积法制备电学器件用Al掺杂的氧化锌薄膜的制备方法，该方法所用的设备包括石英管、电炉、真空泵、激光脉冲发生器、第一反射镜、第二反射镜以及透镜。激光脉冲发生器发射的激光脉冲束，依次通过第一反射镜、第二反射镜以及透镜，轰击靶材，通过转动透镜，可以控制激光脉冲束的焦点，分别轰击ZnO靶材和Al₂O₃靶材，并且，本发明可以通过改变激光脉冲束对不同靶材轰击的时间，得到成分和结构不同的AZO薄膜，满足不同电学领域的使用要求。
一种电学器件 al 掺杂氧化锌薄膜制备方法

[发明专利]利用氧等离子体辅助脉冲激光沉积法制备钛铌镁酸铅薄膜-CN201010241301.5有效
发明人：李效民;何邕;高相东;冷雪 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2010-07-30 - 公布日： 2010-11-24 - 主分类号： C30B29/22 文献下载
摘要：本发明提供一种利用氧等离子体辅助的脉冲激光沉积法制备钛铌镁酸铅薄膜的方法，特征在于，通过在脉冲激光沉积方法制备钛铌镁酸铅薄膜过程中引入高活性的氧等离子体，改善其结晶性和形貌，从而获得高质量钛铌镁酸铅薄膜具体过程是将钛铌镁酸铅靶材和衬底一起置于真空室中；将真空室抽真空，并将衬底加热至一定温度；然后通入一定量高纯氧气，通过气体电离系统施加高压将氧气电离，形成高活性氧等离子体；氧等离子体位于钛铌镁酸铅靶材和衬底之间；利用高能脉冲激光轰击钛铌镁酸铅靶材，产生高能等离子体，在衬底上沉积得到钛铌镁酸铅薄膜。
利用等离子体辅助脉冲激光沉积法制备钛铌镁酸铅薄膜

[发明专利]高K介质膜及其制造方法-CN02142437.3有效
发明人： B－Y·尼谷彦;H－W·周;X－P·王 -专利权人：摩托罗拉公司
申请日： 2002-09-19 - 公布日： 2004-03-24 - 主分类号： H01L27/04 文献下载
摘要：此介质层可以通过原子层化学汽相沉积、物理汽相沉积、有机金属化学汽相沉积或者脉冲激光沉积形成。
介质及其制造方法

[发明专利]等离激元颜色的可擦除打印技术-CN202110286988.2在审
发明人：胡耀武;刘胜;何亚丽;黄正 -专利权人：武汉大学
申请日： 2021-03-17 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： B41M5/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离激元颜色的可擦除打印技术，包括以下步骤：在玻片上沉积一定厚度的反射金属层；在金属表面沉积一定厚度的电介质；在电介质表面沉积一定厚度的金属；采用一定功率，灼烧时间的激光扫描金属表面生成鲜明的颜色；在扫描后的样品表面铺设一层涂有石墨的金属箔片，然后盖上透光固体层；采用一定脉冲宽度一定功率的脉冲激光冲击上述结构擦除颜色。本发明的方法操作要求简单，通过激光诱导金属‑电介质‑反射金属三层结构的金属纳米结构发生重塑形变，实现对角度不敏感的生动色彩装饰。通过控制激光功率与曝光时间，该方法能够确定性和可逆地改变这些纳米结构几何尺寸和结晶度，以实现可控的变色能力。
离激元颜色擦除打印技术

[发明专利]核-壳结构的钇锑基复合磁性颗粒光催化剂制备方法-CN201010195782.0有效
发明人：栾景飞;马坤;张玲燕;胡知田 -专利权人：南京大学
申请日： 2010-06-09 - 公布日： 2010-10-06 - 主分类号： B01J23/843 文献下载
摘要：核-壳结构的催化材料磁性颗粒核-Y3-xYbxSbO7和磁性颗粒核-Y3-xGaxSbO7(0.5≤x≤1)的制备方法，采用脉冲激光溅射沉积的方法：a.靶材制备：采用固相烧结的方法制备Y3-xYbxSbO7和Y3-xGaxSbO7(0.5≤x≤1)靶材；b.选取衬底：选用铁磁性颗粒γ-Fe2O3、顺磁性颗粒SiO2或反铁磁性颗粒MnO作为衬底；c.采用脉冲激光溅射沉积，激光主波长为248nm，激光功率密度为2～3J/cm2，以氮气为保护气氛，在γ-Fe2O3、SiO2或MnO衬底上沉积厚度不同的膜，将上述膜分别于氮气或在氩气中在1340±10℃和1340±10℃温度下处理60±10min，使之晶化而得到所需的磁性复合催化材料
结构钇锑基复合磁性颗粒光催化剂制备方法

[发明专利]可调节式可饱和吸收器件、制备方法及在时域输出模式可调的光纤脉冲激光器上的应用-CN201410263698.6在审
发明人：高延祥 -专利权人：南京诺派激光技术有限公司
申请日： 2014-06-13 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： H01S3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种可调节式可饱和吸收器件、其制备方法及时域输出模式可调的光纤脉冲激光器应用。将多种低维碳纳米材料沉积或转移到透明或者具有反射率0.1%-99.9%的光学衬底上，并将该光学衬底设置在可移动或可旋转装置中形成所述吸收器件，并将该吸收器件应用于光纤脉冲激光器中，实现了连续光、调Q和锁模脉冲等激光输出方式间互相切换的方法本发明的吸收器件可实时调控器件的线性、非线性吸收等光学参数，从而实现了光纤脉冲激光器在连续光、调Q和锁模脉冲等激光输出方式间的互相切换，因而能够提供更好的脉冲工作状态；通过该吸收器件引入新的自由度，也提供了一种对脉冲激光输出工作模式实现调控的方式；基于这种可移动式可饱和吸收器件的脉冲激光工作模式可调、稳定性高、功率高、工作波长范围广。
调节饱和吸收器件制备方法时域输出模式可调光纤脉冲激光器应用