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[发明专利]等离子体处理装置、腔室内部件以及腔室内部件的寿命检测方法-CN200910009403.1有效
发明人：中山博之;守屋刚 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2009-02-23 - 公布日： 2009-09-30 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明提供一种能够精确地检测腔室内部件的寿命，并能够防止由交换没有达到寿命的部件而引起的浪费、以及由于继续使用已经过寿命的部件而引起故障的发生的腔室内部件。用于等离子体处理装置的聚焦环(26)等的腔室内部件，使用组装有该腔室内部件的基板处理装置(10)对晶片(W)进行RIE处理，其中，该腔室内部件由与构成材料不同的元素、例如钪(Sc)构成的寿命检测元素层(51、52)，利用等离子体发光分光器(46)对处理气体中的发光光谱进行监视，通过检测由寿命检测元素层(51、52)引起的光谱来检测聚焦环(26)等的腔室内部件的寿命。
等离子体处理装置室内部件以及寿命检测方法

[发明专利]拉幅机用腔室内部清洁装置-CN202210137649.2在审
发明人：金栽永 -专利权人：日星机械工业株式会社
申请日： 2022-02-15 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： B08B9/023 文献下载
摘要：本发明涉及一种通过区分平常状态与拉幅机的停止运行状态而选择性地对形成于风扇外壳的连通孔进行开闭动作，在将风扇外壳内部的热风通过连通孔排出到腔室内部之后，向上侧排出的热风将于腔室的内部上侧面或导向板发生碰撞并以形成乱流的形态传递到上部喷嘴一侧，从而将风扇外壳内部的热风通过连通孔排出到腔室内部且轻易地去除沉积在上部喷嘴的上侧的如粉尘等异物并借此降低发生火灾的危险，而且可以防止在拉幅机停止运行的状态下在停止移送的纤维布料上形成停机痕，还可以通过平开方式的开闭装置对配备于多个腔室中的各个连通孔同时进行开闭的结构得到改良的拉幅机用内部清洁装置
拉幅机用腔室内部清洁装置

[发明专利]扩散腔室内部的气流的设计-CN201780042800.1有效
发明人：维希瓦·库马尔·帕迪;卡尔蒂克·萨哈;埃德里克·唐;普拉沙司·瓦苏戴瓦 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-01-25 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本文描述的实施方式通常关于一种处理腔室，其具有位于处理腔室的底部处的一个或多个进气端口。经由一个或多个进气端口进入处理腔室的气体通过位于一个或多个进气端口的每一个上方的板或通过一个或多个进气端口的每一个的成角度的开口而沿着处理腔室的下侧壁引导。一个或多个进气端口和板可位于处理腔室的一端，且气流通过板或成角度的开口而被引导朝向位于处理腔室的相对端处的排气端口。因此，更多的气体可流入处理腔室而不会从处理腔室的盖子上逐出颗粒。
扩散内部气流设计

[实用新型]灭菌器腔室内部安全装置-CN201520831427.6有效
发明人：王兵;李振华;杨海鹏;吴永广;于钊 -专利权人：山东新华医疗器械股份有限公司
申请日： 2015-10-26 - 公布日： 2016-04-13 - 主分类号： A61L2/26 文献下载
摘要：灭菌器腔室内部安全装置，属于大型灭菌器腔室安全设备技术领域。该装置能耐受高温高湿环境而保持工作性能，一旦人员被困在灭菌器内部，受困人员能够在设备运行之前操作该装置进行呼救，使设备急停，同时使外部人员觉察到人员被困，采取急救措施。
灭菌器腔室内部安全装置

[实用新型]腔室内部开门装置及灭菌柜-CN201921489051.X有效
发明人：万剑锋;刘志伟;朱毅 -专利权人：楚天科技股份有限公司
申请日： 2019-09-06 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： A61L2/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种腔室内部开门装置，包括穿设于腔体侧壁的手柄组件，腔体外与手柄组件对应的位置上设有触发件，腔体内设有用于拉动手柄组件的拉线，拉线沿腔体的长度方向布置、且与手柄组件连接。还公开了一种灭菌柜，包括腔体，还包括腔室内部开门装置。该腔室内部开门装置及灭菌柜结构简单、可控性高且能够消除腔室内部人员被锁的安全隐患。
内部开门装置灭菌

[发明专利]腔室内部处理方法及基板处理方法-CN202111541188.7在审
发明人：黄雅英;张源准;金周燮;朴坰;金镇瑞;安元植;李大成;金昶熏 -专利权人：圆益IPS股份有限公司
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及腔室内部处理方法及基板处理方法，更详细地说，涉及对腔室及腔室内部结构执行处理的腔室内部处理方法及基板处理方法。本发明公开了一种腔室内部处理方法，处理执行基板处理的腔室内部，其特征在于，包括：增压步骤(S100)，利用增压气体将所述腔室内的压力上升至大于大气压的第一压力(P1)；降压步骤(S200)，在所述增压步骤(S100)之后将所述腔室内的压力从所述第一压力(P1)降低至第二压力(P2)；其中，所述增压步骤(S100)及所述降压步骤(S200)在所述腔室内部清除处理对象基板的状态下执行。
内部处理方法

[发明专利]基板处理设备和清洁腔室内部的方法-CN202010460156.3在审
发明人：美山辽 -专利权人： ASMIP私人控股有限公司
申请日： 2020-05-27 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： C23C16/509 文献下载
摘要：一种基板处理设备的示例包括：腔室；基座，其设置在腔室内并在其中具有电极；金属板，其面向基座；多个阻抗调节器，其具有不同阻抗；以及选择装置，其配置为将多个阻抗调节器之一连接到电极。
处理设备清洁内部方法

[发明专利]一种反应腔室内部工艺状态监控方法-CN200610165462.4无效
发明人：胡立琼 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2006-12-20 - 公布日： 2008-06-25 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明所述的一种反应腔室内部工艺状态监控方法，通过检测反应腔室内部工艺气体的光谱参数，并根据预定的工艺气体的光谱参数与反应腔室内部的工艺参数对应关系得出对应的反应腔室内部的工艺参数。并可在得到的反应腔室内部的工艺参数超出设定的标准时，产生报警信息。在测试与监控过程中不会扰动反应腔室内部，影响测试结果与工艺结果、可实时监控等离子体微观状态，及时阻止由等离子体状态发生变化引起的工艺结果的漂移。
一种反应内部工艺状态监控方法

[实用新型]室内腔室-CN201520083171.5有效
发明人：台德艳 -专利权人：安徽师范大学
申请日： 2015-02-05 - 公布日： 2015-07-22 - 主分类号： E04H9/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种室内腔室，该室内腔室包括室体(2)和镭射膜(1)，所述镭射膜(1)设置于所述室体(2)的内表面，该室内腔室克服了现有技术中的房屋容易受电磁辐射的影响的问题，实现了屏蔽室外的电磁辐射。
室内

[实用新型]可控环境的居住系统-CN202022074358.2有效
发明人：吕昊 -专利权人：北京哨特技术有限公司
申请日： 2020-09-21 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： E04H1/12 文献下载
摘要：本申请公开了一种可控环境的居住系统，包括：支撑结构，固定在支撑面上；隔热层，位于支撑结构上，以隔离腔室内部与外部的环境；温度控制装置，位于腔室内部，用于将腔室内部的温度维持在预设范围；通风装置，位于腔室内部，并连通腔室内部与外部，用于交换腔室内部与外部的气体；以及供电装置，分别与温度控制装置以及通风装置相连，用于向温度控制装置以及通风装置供电。该可控环境的居住系统通过腔室内的温度控制装置将腔室内部温度维持在预设范围内，并通过通风装置保证腔室内二氧化碳等废气的排放。
可控环境居住系统

[发明专利]用于分子和组织诊断的多腔室组织保持系统-CN200880120031.3有效
发明人： B·M·威尔金森;C·M·纽比;C·A·哈伊内斯;R·G·斯塔特斯三世 -专利权人：贝克顿·迪金森公司
申请日： 2008-10-23 - 公布日： 2010-11-24 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：容器(1)包括第一腔室(6)，其具有在敞开端部(9)与封闭端部(10)之间延伸的侧壁，限定第一腔室内部，该第一腔室内部适于接纳样本保持器(11)。容器还包括第二腔室(7)，其具有在敞开端部(9)与封闭端部(10)之间延伸的侧壁，限定第二腔室内部，该第二腔室内部适于随后接纳样本保持器(11)。第二腔室内部与第一腔室内部流体隔离。在样本保持器布置在第一腔室内部和第二腔室内部中的一个之内的同时，可除去外罩(14)封闭第一腔室(6)的敞开端部(9)和第二腔室(7)的敞开端部(9)的至少一个。第一流体可布置在第一腔室内部，不同的第二流体可布置在第二腔室内部。
用于分子组织诊断多腔室保持系统

[发明专利]果蔬制冷保鲜装置以及果蔬保鲜方法-CN202310753651.7在审
发明人：韩鹏;卫广穹;刘华;谢斌斌;苗志强;刘畅;齐方成;肖福佳;刘家豪;李冠铖;苑永光;刘枫;陈晨;何荣森 -专利权人：珠海格力电器股份有限公司
申请日： 2023-06-21 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： F25D13/00 文献下载
摘要：果蔬制冷保鲜装置包括腔室、制冷组件、第一加湿组件、第二加湿组件以及新风加湿组件。腔室被构造为存储；制冷组件安装于腔室内部，且被构造为对腔室内部进行制冷；第一加湿组件安装于腔室内部，以对腔室内部进行加湿；第二加湿组件安装于腔室内部，以对腔室内部进行加湿；其中，第一加湿组件和第二加湿组件的加湿原理有差异；新风加湿组件设置于腔室内部，且被构造为向腔室内输送新风，以对腔室内部进行加湿。
制冷保鲜装置以及方法

[实用新型]一种妇产科临床护理用换药托盘-CN202120328877.9有效
发明人：肖丽;钱慧 -专利权人：肖丽
申请日： 2021-02-05 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： A61G12/00 文献下载
摘要：本实用新型属于妇产科临床护理技术领域，涉及一种妇产科临床护理用换药托盘，其中，包括托盘本体，所述托盘本体内部设置有固定板，所述托盘本体内部设置有第一腔室和第二腔室，所述第二腔室内部设置有活动板，所述活动板侧面与第二腔室内壁和固定板侧面搭接，所述第一腔室内部设置有放置板，所述放置板内部开设有放置孔，所述放置板侧面与第一腔室内壁和固定板侧面搭接，所述第二腔室内部底端开设有导流槽。其有益效果是，该妇产科临床护理用换药托盘，通过设置活动板能对第二腔室内部的空间进行分割，便于使用的时候充分对第二腔室内部空间进行利用，也方便后期将第二腔室内部进行清洗。
一种妇产科临床护理换药托盘

[发明专利]一种原位清洁MOCVD反应腔室的方法-CN201210364956.0有效
发明人：尹志尧;杜志游;孟双;汪洋;张颖 -专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2012-09-26 - 公布日： 2013-01-30 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种原位清洁MOCVD反应腔室的方法，所述方法包括：向所述反应腔室内部通入第一清洁气体，并将所述第一清洁气体在所述反应腔室内部转化为第一清洁等离子体，并将所述反应腔室内部的压力保持在第一预定压力范围内第一时间段以去除所述反应腔室内部的含碳有机物；向所述反应腔室内部通入第二清洁气体，并将所述第二清洁气体在所述反应腔室内部转化为第二清洁等离子体，并将所述反应腔室内部的压力保持在第二预定压力范围内第二时间段以去除所述反应腔室内部的金属及其化合物。本发明实施例提供的原位清洁MOCVD反应腔室的方法对于反应腔室内部温度相对较低表面的沉积物具有良好的清洁效果。
一种原位清洁 mocvd 反应方法

[实用新型]用于处理静电卡盘的装置-CN202222327347.X有效
发明人： C·派迪;N·里查德;S·唐奈;S·梅尔切拉;C·明斯基;C·穆诺茨;刘研 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：描述一种用于处理静电卡盘的装置，其特征在于所述装置包括：腔室，其在腔室内部含有腔室氛围，腔室吹扫气体源，其适于向所述腔室内部供应腔室吹扫气体，温度控制流体源，其适于向所述腔室内部供应温度控制流体，及温度传感器，其用于测量所述腔室内部的温度。
用于处理静电卡盘装置

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