“气体供给管路”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果1378371个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]用于半导体制造设备的气体管路控制装置-CN201910560512.6有效
发明人：霍冬冬;蔡学权 -专利权人：英特尔半导体（大连）有限公司;英特尔公司
申请日： 2019-06-26 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开提供了一种用于半导体制造设备的气体管路控制装置，半导体制造设备包括处理气体供给管路、处理气体排出管路和保护气体供给管路，所述气体管路控制装置包括：保护气体供给阀，设置在保护气体供给管路中，被配置为在保护气体供给阀处于打开状态时，使得保护气体供给管路与处理气体排出管路处于连通状态，以向处理气体排出管路供给保护气体，以及在保护气体供给阀处于关断状态时，使得保护气体供给管路与处理气体排出管路处于非连通状态，以禁止向处理气体排出管路供给保护气体；以及第一控制开关，被配置为在接收到保护气体供给信号时，使保护气体供给阀处于打开状态，并且在未接收到保护气体供给信号时，使保护气体供给阀处于关断状态。
用于半导体制造设备气体管路控制装置

[发明专利]一种船用柴油机机载SCR的尿素喷射系统及船用柴油机-CN201910860168.2在审
发明人：李登科 -专利权人：中船动力研究院有限公司
申请日： 2019-09-11 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： F01N3/20 文献下载
摘要：该尿素喷射系统包括尿素喷枪、尿素供给支路、压缩气体供给支路和控制器，尿素供给支路包括尿素供给管路，压缩气体供给支路包括气体管路。通过在尿素供给管路和气体管路上均设置压力测量元件和压力调控元件，能够调控尿素供给管路和气体管路内的压力。且通过在尿素供给管路和气体管路上均设置流量调控元件和流量测量元件，能够调控尿素供给管路和气体管路内的压力。该船用柴油机机载SCR的尿素喷射系统不仅结构简单、成本较低，且能够精确控制尿素供给支路和压缩气体供给支路的压力和流量，提高了尿素喷枪喷射尿素溶液的稳定性。
尿素供给支路船用柴油机供给管路尿素喷射系统气体管路压缩气体尿素喷枪气体管流量测量元件流量调控元件压力测量元件节能减排尿素溶液压力调控控制器柴油机调控喷射

[实用新型]一种船用柴油机机载SCR的尿素喷射系统及船用柴油机-CN201921516657.8有效
发明人：李登科 -专利权人：中船动力研究院有限公司
申请日： 2019-09-11 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： F01N3/20 文献下载
摘要：该尿素喷射系统包括尿素喷枪、尿素供给支路、压缩气体供给支路和控制器，尿素供给支路包括尿素供给管路，压缩气体供给支路包括气体管路。通过在尿素供给管路和气体管路上均设置压力测量元件和压力调控元件，能够调控尿素供给管路和气体管路内的压力。且通过在尿素供给管路和气体管路上均设置流量调控元件和流量测量元件，能够调控尿素供给管路和气体管路内的压力。该船用柴油机机载SCR的尿素喷射系统不仅结构简单、成本较低，且能够精确控制尿素供给支路和压缩气体供给支路的压力和流量，提高了尿素喷枪喷射尿素溶液的稳定性。
一种柴油机机载 scr 尿素喷射系统

[发明专利]液化气运输船用燃料气体供给系统-CN201680020243.9有效
发明人：汤浅伸哉;渡边贵士;林弘能;辻康之 -专利权人：三井易艾斯造船有限公司
申请日： 2016-04-04 - 公布日： 2020-01-03 - 主分类号： F02M21/02 文献下载
摘要：设置第1燃料气体供给管路(14)，所述第1燃料气体供给管路(14)将液货舱(11)内的蒸发气体(BOG)作为燃料气体经由高压气体压缩机(13)向主发动机(12)供给。设置第2燃料气体供给管路(21)，所述第2燃料气体供给管路(21)通过泵(22)吸取液货舱(11)内的液化气，并使用高压液泵(24)、气体加热器(25)生成高压气体。在液化气装载时的航行中，当燃料气体仅凭BOG就足够时，仅使用第1燃料气体供给管路(14)，当燃料气体仅凭BOG而不够时，则组合使用第2燃料气体供给管路(21)。在液化气空载时的航行中，当不进行喷淋作业时，仅使用第2燃料气体供给管路(21)。
液化气运输船燃料气体供给系统

[发明专利]气液混合冲洗系统-CN201810667653.3在审
发明人：周大君;邹建祥;张小中 -专利权人：联合汽车电子有限公司
申请日： 2018-06-26 - 公布日： 2020-01-03 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种气液混合冲洗系统，其包括液体供给管路、气体供给管路及输出管路；液体介质供给管路输出的液体介质同气体供给管路输出气体混合后形成的含有气泡的液体介质经输出管路输出，作为工件冲洗液；液体供给管路输出的液体介质的压力大于1.5bar；气体供给管路输出的气体的压力大于1.5bar。
液体介质气体供给管路输出液体供给管路冲洗系统输出管路残留颗粒供给管路气液混合输出气体冲洗液去除

[发明专利]检查气体供给系统的方法-CN201810636615.1有效
发明人：实吉梨沙子 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-06-20 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种检查气体供给系统的方法。一实施方式中，在基板处理装置的腔室经由气体供给管路及气体导入口连接有气化器。在气体供给管路连接有排气装置。基板处理装置具备获取气体供给管路的压力的测定值的压力传感器。一实施方式的方法包括：从气化器经由气体供给管路向腔室供给处理气体的工序；及在已停止向气体供给管路供给处理气体的状态下，对通过压力传感器获取的测定值的变化进行监控的工序。
检查气体供给系统方法

[实用新型]气体稀释装置-CN201822059186.4有效
发明人：徐科;阚保国;刘家桦;叶日铨 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-12-10 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： B01F3/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种气体稀释装置，气体稀释装置设置于间歇性排放待稀释气体的生产设备上；生产设备设有排放待稀释气体的排气管路；气体稀释装置包括：稀释气体供给源；用于向排气管路供给稀释气体的供气管路，连接稀释气体供给源和排气管路；用于监测生产设备中待稀释气体的排放状态并在生产设备排放待稀释气体时控制供气管路向排气管路供给稀释气体的供气控制模块，连接生产设备和供气管路。本实用新型通过引入稀释气体供给源、供气管路和供气控制模块，根据生产设备排放状态，实时控制稀释气体供给，降低了生产成本；通过引入联锁模块，实现了对稀释气体供给状态的实时监控，在供给状态异常时及时停机报警，
稀释气体生产设备供气管路排气管路气体稀释供给源本实用新型供给状态供气控制排放状态排放联锁模块连接生产确保安全实时监控实时控制装置设置间歇性引入停机生产成本报警监测生产

[实用新型]一种研磨液供给系统-CN201921910666.5有效
发明人：任少军 -专利权人：西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请日： 2019-11-07 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种研磨液供给系统，包括：主管路，所述主管路的第一端连接研磨液供给端，所述主管路的第二端连接研磨液输出端；设置于所述主管路上用于控制所述主管路通断的气动阀；气体供给管路，所述气体供给管路的第一端与供气端连接，所述气体供给管路的第二端与所述气动阀的进气端连接，用于向所述气动阀提供压缩空气；设置于所述气体供给管路上用于控制所述气体供给管路通断的电磁阀；液体泄漏检测装置，设置于所述气动阀和所述电磁阀之间且与所述气体供给管路连接根据本实用新型实施例的研磨液供给系统，可以自动检测气动阀是否发生泄漏，避免研磨液损坏电磁阀、污染气体供给管路。
一种研磨供给系统

[发明专利]液化气运输船用燃料气体供给系统-CN201480054568.X有效
发明人：渡边贵士;柴田繁志 -专利权人：三井造船株式会社
申请日： 2014-09-30 - 公布日： 2018-07-27 - 主分类号： B63H21/38 文献下载
摘要：设置第1燃料气体供给管路(14)，其通过高压气体压缩机(13)将液货舱(11)内的蒸发气体(BOG)作为燃料气体向主发动机(12)提供。设置第2燃料气体供给管路(26)，其通过泵(27)来吸取舱(11)内的液化气，并使用高压液泵(29)、气体加热器(30)来生成高压气体。在液化气装载时的航行中，当仅凭BOG燃料气体就足够时仅使用第1燃料气体供给管路(14)，当不足时则组合使用第1燃料气体供给管路(14)和第2燃料气体供给管路(26)。在液化气空载时的航行中，当进行喷淋作业时仅使用第1燃料气体供给管路(14)，当不进行喷淋作业时仅使用第2燃料气体供给管路(26)。
液化气运输船燃料气体供给系统

[发明专利]气体供给装置-CN201280047669.5有效
发明人：广濑隆;山路道雄 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2012-09-26 - 公布日： 2014-05-28 - 主分类号： F16K27/00 文献下载
摘要：本发明的气体供给装置谋求气体供给管路和气体装置的进一步小型化，并且更容易进行各仪器类的维修管理。本发明在由气体入口侧块、气体出口侧块和多个流体控制仪器形成有供给管路是供给装置中，在前述气体供给装置上形成有至少两个气体供给管路，各气体供给管路的前述流体控制仪器包含至少一个流量控制器，一方的气体供给管路的流量控制器的入口侧块与另一方的气体供给管路的流量控制器的入口侧块以对向状相对于前述入口侧块连接，一方的流量控制器的出口侧块与另一方的流量控制器的出口侧块以对向状相对于前述气体出口侧块连接。
气体供给装置

[发明专利]燃烧装置、燃料处理装置及燃料电池发电系统-CN200780028339.0有效
发明人：小原英夫;尾关正高 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2007-08-22 - 公布日： 2009-08-05 - 主分类号： F23M11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种燃烧装置，其即使在从气体阻断阀等向气体供给管路的外部发生了气体泄漏的情况下，也能够确保安全性。该燃烧装置具备：用于供给可燃性气体的气体供给管路(1)、用于使由气体供给管路(1)供给的可燃性气体燃烧的燃烧器主体(4)、设置成遮盖燃烧器主体(4)的框体(8)、设于燃烧器主体(4)的上游侧的气体供给管路(1)上且配置于框体(8)外部的气体阻断阀(2)。燃烧器主体(4)与气体阻断阀(2)在空间上被隔离。
燃烧装置燃料处理燃料电池发电系统

[实用新型]一种单晶炉气体供给系统-CN201320074396.5有效
发明人：白剑铭;孙二凯 -专利权人：英利能源（中国）有限公司
申请日： 2013-02-17 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶炉气体供给系统，包括用于向单晶炉内通入氩气的氩气供给管路和用于向单晶炉内通入压缩空气的空气供给管路，还包括：将氩气供给管路和空气供给管路连通的切换管路；设置于切换管路上的第一开关阀；设置于空气供给管路上的第二开关阀，第二开关阀位于空气供给管路的进气口与切换管路与空气供给管路的相接点之间；用于检测空气供给管路内部气压的压力表。本实用新型提供的单晶炉气体供给系统，在压缩空气出现供给异常时，可以利用氩气代替压缩气体继续对单晶炉内的气动球阀进行控制，避免由于气动球阀自动关闭而影响硅棒成品率。
一种单晶炉气体供给系统

[发明专利]一种燃料电池交叉加湿控制系统及其工作方法-CN201810007312.3在审
发明人：刘永峰;白世杰;裴普成;姚圣卓;秦建军 -专利权人：北京建筑大学
申请日： 2018-01-04 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： H01M8/04119 文献下载
摘要：本发明公开了一种燃料电池交叉加湿控制系统，包括分别与燃料电池堆连通的阳极气体供给通道和阴极气体供给通道；所述阳极气体供给通道和所述阴极气体供给通道上均有一段岔分成两条相互并联的支管路，且所述阳极气体供给通道的其中一条支管路和所述阴极气体供给通道的其中一条支管路上均设有加湿机构和第一闸阀，所述阳极气体供给通道的另一条支管路和所述阴极气体供给通道的另一条支管路上均设有第二闸阀。本发明通过对阴阳极气体交叉加湿，实现阴阳极气体在各自设定的其他变量相同的环境下，测出阴阳极气体的相对湿度的交叉变换对质子交换膜燃料电池的性能所产生的影响。
阳极气体供给通道供给通道阴极气体支管路加湿控制系统燃料电池闸阀支管质子交换膜燃料电池燃料电池堆加湿机构气体交叉并联加湿连通

[发明专利]用于在车床中安装转动基管的转动导通件、CVD车床和使用CVD车床的相应方法-CN201680026850.6有效
发明人： I·米莉瑟维克;R·汉斯;J·A·哈特苏克;G·克拉比希斯;M·J·N·范·斯特劳伦 -专利权人：德拉克通信科技公司
申请日： 2016-03-22 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： C03B37/018 文献下载
摘要：一种用于在车床中安装转动基管并向所述管内提供处理气体流的转动导通件，所述转动导通件包括：处理气体供给管路，其用于向所述基管内提供处理气体；可转动的保持件，其被配置成以使所述基管相对于所述处理气体供给管路转动的方式接收和保持所述基管；转动接头，其设置在所述可转动的保持件和所述处理气体供给管路之间，所述转动接头使所述可转动的保持件与所述处理气体供给管路可转动地连接；固定壳体，其连接至所述处理气体供给管路和所述可转动的保持件，从而形成包围所述转动接头的封闭的腔，其中所述固定壳体还包括用于向所述封闭的腔提供辅助气体的辅助气体供给管路。
用于车床安装转动导通件 cvd 使用相应方法

[发明专利]氟气发生装置-CN200310119692.3无效
发明人：东城哲朗;吉本修;平岩次郎 -专利权人：东洋炭素株式会社
申请日： 2003-11-20 - 公布日： 2004-06-09 - 主分类号： C01B7/20 文献下载
摘要：目的在于即使在氟气发生装置的HF的供给停止或异常时，也不会使电解液腐蚀上游管路，且管路内不会残留HF。是用来电解由含有氟化氢的混合熔融盐构成的电解液而产生氟气的氟气发生装置，具有：向前述电解液中提供氟化氢气体的氟化氢气体供给管路；配置在前述氟化氢气体供给管路上且在前述氟化氢气体的供给停止时关闭的第1自动阀；在前述氟化氢气体的供给停止时，排出残存在前述氟化氢气体供给管路的比前述第1自动阀更下游侧的管路内的氟化氢气体并置换为惰性气体的惰性气体置换机构。
氟气发生装置

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条