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- [发明专利]介电材料、有机晶体管及其制备方法-CN202111072887.1有效
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孙佳;刘婉蓉;阳军亮
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中南大学
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2021-09-14
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2022-08-30
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C23C14/35
- 本发明公开了一种介电材料、有机晶体管及其制备方法;介电材料由以下制备方法制成:以金属单质或金属混合物作为靶材,采用磁控溅射工艺对所述靶材进行处理,并在处理过程中通入反应气体和溅射气体,处理设定时间后即得到所述介电材料;有机晶体管包括自下至上依次设置的基底、介电层、有机半导体层和电极,其中介电层的材料为上述方法制得的介电材料。本发明大大简化了高K介电材料的制备工艺流程、降低了生产要求和成本,有利于高绝缘性能介电材料的产业化生产,制得的介电材料具有良好的绝缘性能,采用本发明制备的介电材料生产的有机晶体管工作电压仅3V,电流开关比可达到
- 材料有机晶体管及其制备方法
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