专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体结构的制备方法及半导体结构-CN202310962831.6在审
  • 朱惠薇;郭歆;庞微 - 长鑫科技集团股份有限公司
  • 2023-07-31 - 2023-10-13 - H01L21/768
  • 该制备方法包括如下步骤:提供衬底,衬底包括隔离层以及位于隔离层中的金属接触;在衬底上制备低介电常数层,低介电常数层包括沿远离衬底的方向依次层叠的第一低介电常数子层、第二低介电常数子层和第三低介电常数子层,其中第二低介电常数子层的介电常数小于第一低介电常数子层的介电常数以及第三低介电常数子层的介电常数;刻蚀低介电常数层和隔离层,形成贯穿低介电常数层、且底部位于隔离层中的沟槽,自第一子低介电常数子层起,沿靠近衬底的方向
  • 半导体结构制备方法
  • [发明专利]半导体器件的制造方法-CN201110075856.1有效
  • 米仓和贤;富田和朗 - 瑞萨电子株式会社
  • 2011-03-23 - 2011-10-05 - H01L21/768
  • 在扩散阻止膜之上依次叠置第二低介电常数膜、第三低介电常数膜和用作掩膜层的膜。蚀刻用作掩膜层的膜,并且形成其底部由第三低介电常数膜的表面制成的布线沟槽图案。通过灰化去除第一抗蚀剂掩膜。使用掩膜层的布线沟槽图案形成布线沟槽,从而使沟槽的底部由第二低介电常数膜构成。通过CMP方法去除从铜金属的顶部表面到第三低介电常数膜的层。每一个低介电常数膜的介电常数都低于FSG的介电常数,并且第二低介电常数膜的介电常数低于第三低介电常数膜的介电常数
  • 半导体器件制造方法
  • [实用新型]一种便携式液体介电常数测量笔-CN201520141499.8有效
  • 千承辉;王天资;宋继斌;秦佳男 - 吉林大学
  • 2015-03-13 - 2015-07-15 - G01R27/26
  • 本实用新型属于电子测量技术领域,特别涉及一种便携式液体介电常数测量笔。包括:壳体、液体介电常数测量探头、介电常数分析电路及显示电路;壳体为铝制壳体,用于连接、支撑、保护与屏蔽;液体介电常数测量探头安装在所述壳体顶端,具有同轴线结构,可探入液体内部用于介电常数测量;介电常数分析电路安装在所述壳体内部,与液体介电常数测量探头的输出端连接可用于接收和分析所述液体介电常数测量探头的测量数据;显示电路与所述介电常数分析电路连接,用于显示所述介电常数分析电路输出的介电常数数值。本实用新型具有便携,成本低,准确度高等优点,便于现场快速检测液体介电常数
  • 一种便携式液体介电常数测量
  • [发明专利]改善多孔低介电常数材料垂直均匀性的方法-CN201410403327.3有效
  • 雷通 - 上海华力微电子有限公司
  • 2014-08-15 - 2017-04-12 - H01L21/02
  • 本发明提供了一种改善多孔低介电常数材料垂直均匀性的方法,包括第一步骤,进行第一次低介电常数材料沉积以形成第一低介电常数材料层;第二步骤,对第一低介电常数材料层执行等离子体固化以对第一低介电常数材料层的致孔剂进行驱除,由此形成等离子体固化后的低介电常数材料层;第三步骤,在等离子体固化后的低介电常数材料层上进行第二次低介电常数材料沉积以形成第二低介电常数材料层;第四步骤,对第二低介电常数材料层进行紫外光固化处理以形成多孔低介电常数材料
  • 改善多孔介电常数材料垂直均匀方法
  • [发明专利]一种介电常数感测装置、系统及方法-CN202010354582.9有效
  • 曹新亮;董军堂;杨红霞;任新成;杨鹏举;赵娜;骆守宇 - 延安大学
  • 2020-04-29 - 2022-04-22 - G01R27/26
  • 本发明涉及一种介电常数感测装置、系统及方法。介电常数感测系统包括介电常数感测装置、调理部分和数据处理部分。先将被测物质放入介电常数感测装置中,用于将被测物质的介电常数转换为电容值,调理部分对电容值做放大和去噪处理后,将电容值转换为频率值。数据处理部分对频率值执行测量校准:以分段线性化的数据处理方法建立频率与介电常数的对应关系,通过频率到介电常数的转换实现被测物质介电常数的测量,得到经测量校准后的被测物质的介电常数。本发明能够实现纯的或含杂质的固体、液体及粉末颗粒的介电常数的快速准确测量。
  • 一种介电常数装置系统方法

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